Себебі модульді жартылай өткізгішті суытқыштар чиптерді шығару зауыттары үшін тиімді пайдаланылады?

Фабрикаларға тән жылулық талаптарға сенімді түрде қызмет ету

EUV литографиясы мен <3 нм процестері үшін өте тұрақты температура реттеуі (±0,1°C)

EUV литографиясы мен суб-3 нм өндіріс процесінің жылулық тұрақтылығы ±0,1°C қажеттілігін қанағаттандыруы керек. Бұл ауқымнан шығу линзаның деформациясына, 1,5 нм-ден астам оверлей қателеріне және пластиналардың қалдықтарының 12%-ға дейін жоғарылауына әкелуі мүмкін. Сондықтан осы модульдік процестер үшін суытқыштар маңызды болып табылады. Типтік модульдік процестердегі сұйықтық суытқыштарының сұйықтық температурасын реттеу ауытқуы 0,05°C құрайды. Бұл 300 мм пластиналарды өңдеу кезінде жоғары дәрежедегі бақылауға мүмкіндік береді. Олар бұны көптеген суыту контурларын қолдану арқылы және ақылды PID басқаруын (жұмыс жүктемесіндегі өзгерістерге шамамен лездік түрде икемделетін) қолдану арқылы сұйықтық ағысын оптималдауға қол жеткізеді. Нәтижесінде литография мен травлену процестерін микроннан төмен деңгейде бақылауда қатты жақсару байқалады. Зауыттық деректер 10 000 пластина өңделгеннен кейін жылулық талаптарға сәйкестіктің 99,8% деңгейін көрсетеді. Кішкентай жақсартулар үлкен пайда әкелетін салада үнем миллиондарда өрнектеледі.

Тербелістерді азайтуға және таза бөлме стандарттарына сәйкестікке арналған интеграцияланған скид жүйелері

ISO классы 1–3 таза бөлмелерін орналастыру үшін орталықтандырылған практикада жасалған су салқындатқыштарын пайдаланған кезде, таза бөлмелерге қойылатын әдетте қосымша талаптар шығындарды арттырады және модульдік жобалаудың икемділігін, сонымен қатар экологиялық жағдайларды нашарлатады. Таза бөлме үшін сақтау/тасымалдау үшін қолданылатын, бірақ сорғыш жүйесіне дейінгі аралықтағы құбырлардың орнатылмауы немесе құбырлардың сорғыш жүйесіне дейінгі аралықтағы жетіспеушілігі, сондай-ақ құбырлардың сорғыш жүйесіне дейінгі аралықтағы жетіспеушілігі, т.б. Модульдік жүйе жиналған жүйелердің кемшіліктерін немесе олардың қоршаған ортаға әсер етуін, жылу беруін, жиналған жүйелердің вибрациясын, т.б. болдырмау үшін әзірленген. Сонымен қатар, таза бөлме/CE құрылғылары үшін о.м.О. w жүйелері. Су фильтрінің және жүйеге интеграцияланған сақтау жүйесінің қызмет көрсетілуі мен қолданылуы жүйенің ең жоғарғы талаптарға сай болуын қамтамасыз етеді. 40 Таза бөлме қондырғысын тоқтату, жұмыс істеп тұрған кезде қалдық о. Қосымша, бөлшек санын бақылау. Айлық әрекет о.1, таза бөлмедегі әрбір о.1 әрбір таза бөлмедегі әрбір процестің орындалуына сәйкес о. және таза бөлме/құрылғылар жүйесіне сәйкес о. және таза бөлме/құрылғылар жүйесінің жұмыс істеуіне сәйкес о. және таза бөлме/құрылғылар жүйесіне сәйкес о. 40 Тоқтату уақыты және о.1, сонымен қатар о. жұмыс істеп тұрған жүйелер, таза бөлмедегі қалдық о., әрбір таза бөлмедегі әрбір о. және о. және о. CM 1 таза бөлмедегі әрбір жүйе. 40 Тоқтату уақыты және о.1, сонымен қатар о. жұмыс істеп тұрған жүйелер, таза бөлме/құрылғылар жүйесі, о.1 деңгейінде, әрбір таза бөлме/құрылғылар жүйесінде о. 40 Тоқтату уақыты және о. жұмыс істеп тұрған жүйелер, о. және о. әрбір таза бөлме/құрылғылар жүйесінде, әрбір таза бөлме/құрылғылар жүйесінде, әрбір таза бөлме/құрылғылар жүйесінде, әрбір таза бөлме/құрылғылар жүйесінде және таза бөлме/құрылғылар жүйесінің жұмыс істеуінде о. және о. таза бөлмеде. Модульдік жүйе о. м. о. 1 деңгейінде әрбір о. таза бөлме/құрылғылар жүйесінде және о.1 деңгейінде әрбір о. және о. 40 Тоқтату уақыты және о.1, жұмыс істеп тұрған әрбір о. о. және о. о.1, әрбір таза бөлме о. 40 Тоқтату уақыты және о.1, сонымен қатар о. м. о. әрбір 1 деңгейінде, жұмыс істеп тұрған жүйелер, о. м. таза бөлме үшін о. м. жүйелер, жұмыс істеп тұрған жүйелер және о. таза бөлме әрбір о. және әрбір о. және о. және о. және о. таза бөлме/құрылғылар жүйесінің жұмыс істеуі үшін о.1, таза бөлме жүйелерін тоқтату уақыты және о. таза бөлме жүйелері, таза бөлме/құрылғылар. 40 Таза бөлме жүйелерінің тоқтату уақыты мс м 40 Капиталдық, операциялық және жоспарлау шығындарын тиімдірек ету арқылы иелік шығындарын азайту

10 жылдық жалпы иелену құнында (TCO) өрістегі орнатылатын салқындатқыштарға қарағанда 27% төмен (SEMI S26-0722 салыстырмалы көрсеткіші)

2022 жылғы SEMI S26-0722 салыстырмалы көрсеткіші модульді жартылай өткізгіштік салқындатқыштардың өрістегі құрылыс салқындатқыштарына қарағанда 10 жыл бойы жалпы иелену құнында (TCO) 27%-ға төмен екендігін көрсетті. Капиталдық шығындар 19%-ға азаяды, себебі модульді жүйелер өрісте жинақталып, интеграцияланады, жобалау критерийлеріне сәйкес құрылады және толық булутық контур ретінде объектіге жеткізіледі. Жасау орнының конфигурациясы мен жұмыс режиміне байланысты модульді салқындатқыштар жоғары сапалы жылу алмасу беттері мен өндірістік қондырғының жүктемесіне тәуелді (жақсы немесе нашар) жұмыс істейтін айнымалы жылдамдықты салқындатқыштар арқылы энергия тұтынуын 40%-ға азайта алады. Болжамды диагностика негізінде аса ерте ақаулықтарды анықтау мен механикалық тозудың төмендеуі салдарынан жөндеу шығындары 31%-ға азаяды. Бұл деректер көптеген өндірушілер қазір жүргізіп жатқан ауысу процесін қатты қолдайды.

Дайындалу процесінің тиімділігі арқасында қаржыландыру шығындары мен еңбекақы шығындарында қысқартуға болады.

Скід-жүйелері көлік құралдарының зауытында сынақтан өткен кезде олар сайттағы дәнекерлеу мен реттеу уақытын 85%-ға қысқартады. Сонымен қатар, ескі жүйелерге қарағанда (12–18 апта) орнату уақытын 6–9 аптаға қысқартады. 2023 жылғы Fab Owners Association деректеріне сүйене отырып, дәнекерлеу мен реттеуден үнемделген уақыт тікелей әрбір өндірістік орны үшін шамамен $740 000-ға дейін пайыздық шығындарды төмендетеді. Сонымен қатар, жаңа жүйе валидациялық жұмыстар бойынша 300-ден астам адам-сағатты үнемдейді. Интеграцияланған басқару жүйесі өндірісті тез бастауға және қондыруға мүмкіндік береді, сондықтан жалпы жобаның аяқталу мерзімі қысқарады; бұл жобаның құнын көтеретін ауа-райына байланысты кешігулерге мүмкіндік бермейді.

Модульді суытқыштар 3 нм-ден кіші процестерде ROI-ді қолдайды, сондықтан масштабталатын, қаржылық тұрғыдан бақыланатын қуат өсуін қамтамасыз етеді.

Модульді жартылай өткізгіштік суытқыштар арқылы кезеңді, сұранысқа негізделген қуат өсуін қамтамасыз ету

Дәлме-дәл масштабталу (50–200 RT қадамдары) пайдалануды максималдайды және артық қуат беруден сақтандырады

Модульді жартылай өткізгіш салқындатқыштар қажетті деңгейге дейін салқындатуға мүмкіндік беретін икемділікке ие, олар 50-ден 200 тона дейінгі салқындату қуаты ауқымында өсуін қамтамасыз етеді. Бұл дәстүрлі жүйелердің қуаты артық, ал салқындатқыштар саны аз болуы сияқты проблемаларды шешеді. Фабрикаларға литографиялық немесе травлену машиналары қосылған кезде олардың жалпы жабдықтарды пайдалану деңгейі бір ғана ірі қуатты салқындатқыштар орнатылған объектілерге қарағанда 15–20 пайызға артады. Сонымен қатар, дәлме-дәл масштабтау бастапқы инвестициялық шығындарды шамамен отыз пайызға азайтады, нәтижесінде салқындату жүйелеріне байланысты қаражаттардың орнына қосымша даму қаражаттары бөлінеді. Өндіріс процестері кіші сынақ партияларынан толық өндіріске дейін кеңейген кезде бұл салқындатқыштар да осыған сәйкес масштабталады, сонымен қатар модернизациялауға кететін қосымша шығындар мен пайдаланылмай қалатын салқындату қуаты резерві болмайды.

Дәлелденген нақты әсер: Жаңа заманғы фабрикалардан жасалған жағдайларды зерттеу

Жартылай өткізгіштерді шығаратын зауыттар қазір өз объектілерінде модульді суытқыштардың артықшылықтарынан пайда көруде. Бір ілгері жеткен логикалық өндіріс зауытында қызуға байланысты құрылғылардың тоқтауы 18\% азайған деп хабарланған. Басқа бір зауытта энергия шығыны 1 жыл ішінде 22\% азайған. Үлкен жады өндірушісі 3 нм технологиялық түйіндеріне көшу процесінде олар барлық суыту тонналарын бірден сатып алу орнына әр рет 50 суыту тонын қосымша орнатуды қалаған. Бұл шешім оларға жоғарғы деңгейдегі жабдықтарға артық шығындардан 2,7 миллион доллар үнемдеуге мүмкіндік берген. Модульді суытқыштар дәстүрлі жерде құрылатын жүйелермен оңтайлы салыстырылады. Барлық басқа жүйелермен салыстырғанда модульді суытқыштар жоғары өнімділік көрсетеді, яғни суыту шешімдерін таңдағанда модульді суытқыштар — тиімдірек сатып алу нұсқасы. Бұл ультракүлгін литографиясы үшін аса маңызды, өйткені онда ең азынан процесс ауытқулары мақсатты шығынды қатты әсер етуі мүмкін.

ЖИҚ (Жиі қойылатын сұрақтар)

EUV литографиясы мен суб-3 нм процестері үшін температураны реттеу неге қажет?

Температураны реттеуде объективте бұралу пайда болады, оверлейдегі қателер және жоғары қалдық көрсеткішінен шығатын шығындар өседі, бұл барлығы өнім сапасы мен шығымдылыққа зиянды.

Жартылай өткізгіштік су салқындатқыштарының модульдік дизайны таза бөлмелерде бөлшек түзілуін қалай азайтады?

Бұл салқындатқыштар зауытта интеграцияланған түрде жасалған, оларға HEPA сүзгілері мен зауыттық герметик қабықшасы кіреді, сондықтан сіздірулер болмайды және бөлшек түзілуі әлдеқайда төмен болады, бұл таза бөлме стандарттары үшін өте маңызды.

Модульдік жартылай өткізгіштік салқындатқыштарды қолданған кезде қанша шығын үнемделеді?

Модульдік жартылай өткізгіштік салқындатқыштар дәстүрлі жүйелерге қарағанда төмен капиталдық шығындар, төмен операциялық шығындар, төмен орнату уақыты және төмен жөндеу шығындары арқылы үнемдеуге мүмкіндік береді.