Неге модулдук жарык-электр чиллерлери чиптерди өндүрүүчү зааводдор үчүн арзан турат?

Чиптерди өндүрүүчү зааводдордун өзгөчөлүктөрүнө ылайыктуу жылуулук талаптарын надёждуу каршылоо

EUV литографиясы жана <3 нм процесстер үчүн өтө туруктуу температура башкаруу (±0,1°C)

EUV литографиясы жана суб-3 нм чыгаруу процесси термалдык туруктуулук талабын ±0,1°C түзөт. Бул диапазондон чыгып кетүү линзанын бүркүлүшүнө, 1,5 нмдан ашык оверлей (башка үстүнө коюу) катасына жана пластиналардын (ваферлердин) чыгарылган өнүмдүн 12% чейин чыгарылбаганына алып келет. Натыйжада, бул модулдуу процесс үчүн суутуну суутуучу машиналар (чиллерлер) зарыл болуп калды. Типтик модулдуу процесс үчүн суутуну суутуучу машиналардын суу температурасын тегеректөөсү 0,05°C түзөт. Бул 300 мм пластиналарды иштеткендээ жогорку даражада тактыкты камсыз кылат. Алар бул натыйжаны көп сандаган суутуну суутуучу тармактарды жана акылдуу PID башкаруу системасын (иштетүү жүктөмүндөгү өзгөрүштөргө убакыттын татаалыгында ылдам жооп берет) колдонуу аркылуу жетишет, бул суу агымын оптималдуу түрдө тегеректөөгө мүмкүндүк берет. Бул литография жана травле (пластиналарды химиялык иштетүү) процесстеринин микрондон кичине деңгээлде так башкаруусунда маанилүү жакшыртууларга алып келет. Заводдун маалыматы боюнча, 10 000 пластина иштетилгендэн кийин термалдык талаптарга 99,8% ылдамдыкта ылайык келет. Кичинекей жакшыртуулар чоң кирешелерге алып келген бул салада, экономия миллиондордо.

Вибрацияны азайтуу жана таза бөлмөгө ыңгайлуулук үчүн долбоорлонгон интегралдуу скит системалары

ISO классы 1–3 таза бөлмөлөрүнүн ортосунда иштеген чиллерлерди иштеткендээ, таза бөлмөлөрдүн көпчилүк учурда талаптары өзүнчө болуп калат, бул чыгымдарды көтөрөт жана модулдуу иштетүүнүн эсептөөсүнө таасир этет. Таза бөлмөлөрдүн сактоо/ташып жеткирүү үчүн пайдаланылган тескери токтотуу системасы же компрессор системасына кошулган тескери токтотуу түтүктөрүнүн жоктугу, ж.б. Модулдуу система толугу менен жыйнагылган системаларды жок кылуу үчүн долбоорлонгон, аларга таасир этип, жылуулук, вибрация, экспозиция жана башка таасирлерге каршы чара көрүлгөн. Бардык клиенттер үчүн таза бөлмө/CE стандарттарына ылайык иштетүүгө мүмкүндүк берет. Системага интеграцияланган фильтрлерди тазалоо жана тутумдун талаптарына ылайык калтыруу үчүн тутумдун бардык бөлүктөрүнө ылайык келген талаптардын аткарылышын камсыз кылат. Таза бөлмө бирдигинин токтотулушу — иштетүүдөн кийинки калдык о-тун толугу менен жоготулуусу. Кошумча, бөлүкчөлөрдүн концентрациясын баалоо үчүн айлык активдүүлүк о-1, таза бөлмөнүн ар бир бөлүгүнө о-1 деңгээлине жетишүү үчүн жана процесстерге ылайык келүү үчүн таза бөлмө/түзүлүш, таза бөлмө/CE системаларына ылайык келүү үчүн таза бөлмөнүн иштетүүсү жана таза бөлмө/CE системаларына ылайык келүү үчүн. 40% токтотулуш узактыгы жана о-1 деңгээлине жетишүү үчүн, иштетүүдөн кийинки калдык таза бөлмөнүн ар бир бөлүгүнө о-1 деңгээлине жетишүү үчүн жана CM 1 таза бөлмөнүн ар бир бөлүгүнө о-1 деңгээлине жетишүү үчүн. 40% токтотулуш узактыгы жана о-1 деңгээлине жетишүү үчүн, иштетүүдөн кийинки калдык таза бөлмө/CE системаларынын ар бир бөлүгүнө о-1 деңгээлине жетишүү үчүн. 40% токтотулуш узактыгы жана иштетүүдөн кийинки калдык таза бөлмө/CE системаларынын ар бир бөлүгүнө о-1 деңгээлине жетишүү үчүн. Модулдуу система таза бөлмө/CE системаларында 1 бөлүгүнөн баштап, таза бөлмө/CE таза бөлмөлөрүнүн ар бир бөлүгүнө жана о-1 деңгээлине жетишүү үчүн. 40% токтотулуш узактыгы жана о-1 деңгээлине жетишүү үчүн, иштетүүдөн кийинки калдык таза бөлмөнүн ар бир бөлүгүнө о-1 деңгээлине жетишүү үчүн жана 40% токтотулуш узактыгы жана о-1 деңгээлине жетишүү үчүн, таза бөлмөнүн ар бир бөлүгүнө о-1 деңгээлине жетишүү үчүн жана иштетүүдөн кийинки калдык таза бөлмө/CE системаларынын ар бир бөлүгүнө о-1 деңгээлине жетишүү үчүн. Таза бөлмө системаларынын 40% токтотулуш узактыгы жана таза бөлмө/түзүлүштүн 40% токтотулуш узактыгы. Төбөлүк чыгымдарды төбөлүк капиталдын, иштетүүнүн жана расписаниянын тириштигин арттыруу аркылуу азайтуу.

модулдуу чиллерлердин жалпы ээлөө чыгымдары (ТОС) 10 жыл ичинде талаада курулган чиллерлерге караганда 27% төмөн (SEMI S26-0722 эталоны)

2022-жылдын SEMI S26-0722 эталоны модулдуу полупроводниктик чиллерлердин жалпы ээлөө чыгымдары (ТОС) талаада курулган чиллерлерге караганда 10 жыл ичинде 27% төмөн экенин көрсөткөн. Капиталдык чыгымдардын экономиясы 19% түзөт, анткени модулдуу системалар талаада жыйранат, интеграцияланат, дизайн критерийлери боюнча курулат жана толук бузгуч заттардын контуру менен сайтка жеткирилет. Чыгаруу ордунун конфигурациясына жана иштөө деңгээлине жараша модулдуу чиллерлер жогорку сапаттагы жылуулук алмашуу беттери жана объекттин жүктөмүнө жараша (жараксыз же жакшы) иштеген ылдамдыгын өзгөртүүчү чиллерлер аркылуу энергиянын чыгымын 40% төмөндөтүшү мүмкүн. Прогностикада ирте аныкталган ақаалар жана механикалык износунун төмөн болушу аркылуу техникалык кызмат көрсөтүү чыгымдары 31% төмөндөтүшү мүмкүн. Бул маалымат бир нече өндүрүшчүлөр тарабынан азыркы учурда жүргүзүлүп жаткан өтүштү ныгытат.

Топтогон чыгымдардын жана эмгек чыгымдарынын төмөндөшү тиешелүүлүк менен ишке ашырылган жабдуулар аркылуу күтүлүүдө.

Скит-системалардын автозаводдо сыноо өткөрүлгөндө, алар сайтта докунуу жана калибрлео убактысын 85% га азайтат. Алар башкача айтканда, эски системалар менен салыштырганда, ишке киргизүү убактысын 12–18 апта ордуна 6–9 апта га азайтат. 2023-жылдагы Fab Owners Association (Фабрикалардын иштеп чыгаруучулары ассоциациясы) маалыматына ылайык, докунуу жана калибрлео үчүн убактынын экономиясы түзөлгөн фабрика үчүн жылына жакында $740 000 го барабар пайда табууга мүмкүндүк берет. Башкача айтканда, жаңы система 300-дөн ашык адам-сааттык валидациялык иштерди экономиялайт. Интегралдуу башкаруу системасы ишке киргизүү жана өндүрүштү баштоону тездетет, ошондой эле жалпы долбоордун аяктар убактысын кыскартат; демек, долбоордун чыгымдарын көтөрө турган шарттарга байланыштуу кечигүүлөрдүн болушу ыктымалдыгын азайтат.

Модулдуу чиллерлер 3 нм ден аз процесстерде ROI (инвестициядан кайтарылган пайда) тиешелүүлүгүн камсыз кылат, ошондой эле масштабдалуучу, финансылык жагынан дисциплиналуу кубаттуулук өсүшүнү колдойт.

Модулдуу жарым өткөрүүчү чиллерлер аркылуу фазалуу, талапка негизделген кубаттуулук өсүшүнү камсыз кылуу

Талчыкчыл (50–200 RT интервалдарында) масштабдалуу кубаттуулуктун пайдаланылышын максималдуу деңгээлде камсыз кылат жана ашыкча ресурстарды бөлүүнүн алдын алат.

Модулдуу жарым өткүргүчтүү суутуучулар талап кылынган деңгээлге чейин суутуу үчүн иштеп, 50–200 тона суутуу капаситети диапазонунда өсүшкө мүмкүндүк берет. Бул традициялык системалардын ашыкча капаситети жана аз санда суутуучулар болушу сыяктуу кыйынчылыктарды чечет. Фабрикаларга литография же травлене машиналары кошулганда, алардын жалпы жабдуулардын колдонулуу деңгээли бир гана ири капаситеттүү суутуучулары бар объекттерге караганда 15–20 процентке жогорулатылат. Ошондой эле, чакмакчалуу масштабдоо баштапкы инвестициялык чыгымдарды жакында отуз процентке азайтат, ошондой эле суутуу системаларына байланыштырылбаган, башка өнүктүрүү иштерине багытталган каражаттардын көлөмүн кеңейтет. Өндүрүш процесстеринин кичинекей сыноо партиясынан туурасында өндүрүшкө чейинки масштабдоосу менен бирге, бул суутуучулар да өсүп, модернизациялоо чыгымдарын жана иштебей турган ашыкча суутуу капаситетин талап кылбайт.

Далилденген чындыктағы таасир: Илгерилеген фабрикалардан иштеген учурлар

Жарым өткүргүч өндүрүшчүлөр чыбыртма чиллерлердин артыкчылыктарын өз ишканаларында пайдаланууда. Бир илгерилеген логикалык чыгаруу заводунда, жылуулуктан улам кургактардын токтоолору 18\% га азайган деп кабарланган. Башка бир заводдо энергиянын баасын бир жыл ичинде 22\% га төмөндөтүшкөн. Ири эс-түзүлүш өндүрүшчүсү 3 нм технологиялык түйүндөрүнө өтүп жатканда, алар бардык хладон тонналарын бирден сатып алуу ордуна, ар бир жолу 50 хладон тоннасын постепенно кошуп отурууну тандаган. Бул чечим аларга жогорку деңгээлдеги жабдуулар үчүн ашыкча чыгымдардын $2,7 миллионго жетиштиришинен сактаган. Чыбыртма чиллерлер традициондук жерде курулган системалар менен оңой салыштырылат. Бардык башка системалар менен салыштырғанда чыбыртма чиллерлер жакшы иштейт, бул ошондой эле чыбыртма чиллерлердин суутуу чечимдери үчүн жакшы сатып алуу варианты экенин билдирет. Бул айрыкча ультра-фиолеттик литография үчүн туура, анткени айрым процесс өзгөрүштөрү да максаттуу чыгымдарга күчтүү таасир этет.

ККБ

Неге EUV литографиясы жана 3 нмден төмөн процессдор үчүн температураны туташтыруу керек?

Температураны туташтырууда линзанын бүркүлүшү, оверлейдеги ката, жогорку чыгарылган өнүмдүн артыкчылыгынан чыгындардын көбөйүшү пайда болот, булардын баары өнүмдүн сапатына жана чыгымына зыян тийгизет.

Жарым өткүргүчтүн суутуучу қондурулмаларынын модулдук конструкциясы таза бөлмөлөрдө бөлүкчөлөрдүн пайда болушун кандай азайтат?

Бул суутуучу қондурулмалар заводдо бирге иштелип чыгылат, аларга HEPA сүзгүчтөрү жана заводдук герметик төмөнкүлүк киргизилген, натыйжада бөлүкчөлөрдүн пайда болушу көпкө чейин төмөндөйт, бул таза бөлмөлөрдүн стандарттары үчүн өтө маанилүү.

Модулдук жарым өткүргүчтүн суутуучу қондурулмаларын колдонуу менен канча чыгым утуп алууга болот?

Модулдук жарым өткүргүчтүн суутуучу қондурулмалары тургузуу чыгымын, иштетүү чыгымын, ишке киргизүү убактысын жана техникалык кызмат көрсөтүү чыгымын традициялык системаларга салыштырғанда төмөндөтүп, утуп алууга мүмкүндүк берет.