EN
Rialú Ceartaithe Teochta do Phróiseáil Shamhlachán Dhinimiciúil
Stabhlacht níos lú ná 0.02°C ag próiseáil nódanna casta < 5nm
Chun an leathnú a sheachaint ar phointí míshásta ar an scála nanaméadar, tá stabhlacht teochta níos lú ná 0.02°C de dhíth ar phróiseáil shamhlachán níos lú ná 5nm. Tugann litografáil an réigiún ultraviolet iontaofa (EUV) agus an próiseas díolúcháin airgead (ALD) teas áitiúil a, má chuirtear faoi bhráid, cuirfidh sé an t-uaireadóir i mbogadh agus leanfaidh sé le pointí míshásta agus caillteanas i bhfíordhealbhaí thar 40%. Dearadh na chillers teochta samhlachán chun an fhadhb seo a réiteach le frigoríficáil i dtreithní, le sensóirí ar scála milli-kelvin agus le himbhlianaí teas micreochanail. Is féidir leis an gceann seo fuarú cothromach thar uaireadóir 300mm, agus is féidir leis an gceann seo an t-athrú teochta an-troma (go dtí 100°C/soicind) a sheachaint i rith an etching plasma nuair a úsáidtear chillers chun an t-athrú teochta a shaothrú a laghdú.
Aglóirí Rialaithe Teochta Réamhaisnéiseach le Tabhairt Dhíreach na nGnéithe Sensóra
Tá tomhas an ama le cruinneas mór thar a bheith tábhachtach don rialú teochta cruinn seo. Áirítear sa tomhas seo eagarraí teirmopile leabaithe le meánlucht zonadóchta níos lú ná 5mK ag minicíocht níos mó ná 200Hz i mbun de thuilleadh ná 200 pointe tomhais. Tá an ionchur chun an córas bainistíochta teochta a rialú ina measc freisin freagraí rialaithe cothromaithe a shyncronaítear le réamhaisnéis ar dhíshreangúcháin theochta do thréimhsí gearra i gcomparáid le córais traidisiúnta, níos lú ná 0.5 soicind (500ms), bunaithe ar chomhthábhacht an dáta próisis stairiúil agus ar fhachtóirí timpeallachta eile cuí, ar shreanganna sonraí faoi bhuaic an adhmaid agus faoi rith an gháis sa seomra próisis. Mar shampla, fuarófar seomraí dí-ghabhála na gásanna go dtí teocht os cionn an fhrithghníomha eacstearmaigh go dtí go dtarlaíonn an t-athrú stáide. Soláthraíonn na halgartaimí comhcheangailte foghlama leabaithe an úsáid fuinnimh atá i gceist le rialú an phróisis, an rialú is lú agus an córas is stábla leis an mbuailleadh os cionn is lú, agus leis na dturasanna is lú taobh thuas agus taobh íos, ón bhfuinnimh is airde agus is íseal.
Dearadh Córas Bainistíochta Teas i nGearrthóga Leictreonaice
Amanna Freagairt Níos Lú ná 5 Soicind le hEasnamhanna Teasa Dá Chainéal agus Comhbhrúchóirí a bhfuil Luas Athraitheach acu
Ceadaigh an teicneolaíocht luais athraitheach modhnú sruth na ré-ghas i rith an ama, rud a bhaineann leis an gcicliú ar agus as na comhbhrúchóirí a mhalairt go hiomlán, agus, is tábhachtaí, a laghdaigh an t-imeallú teochta faoi 70% le linn trasnúcháin an phróisis. Nuair a chombhaintear le heasnamhanna teasa dá chainéal a bhfuil ciorcuit idirshuíochta le haghaidh leithéidí an fhuaidh agus an ré-ghas ar leith, is féidir leis na fuaraitheoirí seo a bheith ina n-ullmhaíocht teochta ±0,1°C laistigh de 5 soicind tar éis athrú ar an bhfórsa. Is criticiúil an freagarthacht seo dona próiseáirí a oibríonn ag ráta ard agus a bhfuil siad íogair don laghad teochta, mar shampla reacraí eitseála agus ALD, a d’fhéadfadh a bheith ina ndroch-mhúnla ar na scannáin agus a mbunphatrúin a dhíscaoileadh. Tá an dearadh seo freisin curtha chun cinn chun truaillithe idirshuíochta a sheachaint agus é ag coimeád éifeachtacht aistriú teochta > 99,9% ar fud an raon oibriú iomláin: ó -80°C go 200°C.
Cumraíochtaí Tuisceana agus Modúlaí do Chillers chun Táirgeacht a Léiriú i gcoinne Athruithe Ar an nGabháil
Cuireann córais comhbhrúchóir N+1 le dearadh dúbailte fhuaraithe ar chumas an leanúint ar aghaidh leis an teocht go slán i rith athruithe sa ghnáthsholáthar nó i rith earráidí i mbunaitheacht. Is fearr i gcórais modúlaí le dhá chiorcal ná córais traidisiúnta le ciorcal amháin, a d’fhéadfadh níos mó ná 30 soicind a thógáil chun a athbhuanú agus a ligean do dheimhniú ±2°C. Bhaintear am freagartha níos lú ná 5 soicind agus díbirt teochta ≤±0,15°C amach as ár gcórais modúlaí le dhá chiorcal, rud a chuireann isteach go bhfuil tionchar ar an bpróiseas níos lú ná 1%. Ceadaíonn an dearadh cothabháil a dhéanamh ar mhodúil na gcomhbhrúchóir gan an próiseas a stopadh. Taispeánann sonraí ó ionaid Próiseála Teochta Luath (RTP) laghdú ar tharcais teochta de 92%.
Algortaimí Rialú Cothromaithe chun Athraithe sa Chomhthéacs agus sa Phróiseas a Choinneáil
Ní mór chillers fuaraithe próiseas i bhfabhracaí semiconductors an freagra a choimeád ar leibhéal nanóiméadar agus an teocht timpeallach ag athrú go leanúnach agus an lucht táirgeachta ag athrú go leanúnach. Ceadaíonn algoritmeanna smachtadh cothromach comhcheangal idir dearadh agus smachtadh bogearraí chun consaint a chaomhnú laistigh den athrú nádúrtha ar phróiseas smachtadh teochta.
Roghanna Láithreach na Teochta
Úsáideann córas smachtadh cothromach teochta scannála (TACS) sonraí láithreach chun roghanna, iargúlacht (±15% RH), teocht aerach, agus athrú ar lucht teochta próiseas (UV, etch, agus deposition) a oiriúnú. Tá modhailithe teochta réamhaisnéiseach ag TACS, agus is féidir leis athruithe teochta freastalaí a oiriúnú faoi 92% i gcomparáid le córais a oibríonn ar bhealach ‘lock and snap’. Cabhraíonn freagra réamhaisnéiseach TACS ar thuartharluithe teochta, nuair a aistriúnnar agus a chaomhnófar an córas féin-oiriúnaithe laistigh den staidireacht teochta riachtanach (0.02%), le feabhas a chur ar fheidhmíocht an chórais ó thaobh míbhuan agus caomhnú torthaí an ghléas (níos lú ná leibhéal 5 nm).
Modh Mí-Earcaíochta Earcachta Cumhachta: Le linn Earcaíocht Dhíth Cumhachta Potanúil
Tairgíonn ciarcóin fuaraithe cothromacha agus ábhair le athrú fáis inbhuanaithe an t-innertacht théirmhe riachtanach chun fanacht sa chúinsí seo, tar éis caillteanas cumhachta agus cur isteach ar shreabhadh an fhuaraithe, ar feadh uasmhéid 8–12 soicind chun cothromais théirmí a chaomhnú. Is é seo ríthábhachtach chun a chinntiú go mbíonn sraitheanna na bhfotaimhreascóir saor ó chríostailiú réamhaimsireach agus go mbíonn foirgnimh an tsiliciúim saor ó bhriseanna micreo i rith an ghníomhaíochta riachtanach ar chóras cúltaca. Don mhonarchas laistigh de cheantair ina bhfuil an gréidh neamhshlán (gréidh nach bhfuil ina dhiaidh sin comhtháthaithe), áit a mbeannann titim an phianra 37% de thorthaí an riththeasa téirmigh laistigh de sheamhchiorcuit, is gá innertacht théirmigh an chórais chun monarcaíocht ar tháirgeadh ard-ghabhála gan aon bhriseadh.
Ceisteanna coitianta
Cá bhfuil an staidireacht téimhriúcháin riachtanach do phróisis a bhaineann le monarcaíocht sheamhchiorcuit ag nódanna faoi 5nm?
Donar le haghaidh próiseasanna a bhaineann le tógáil semiconductors ag nódanna faoi 5nm, tá stádhlacht théirmheach laistigh den raon ±0,02°C de dhíth chun míbhuaiteacht ar an scála nanaméadar a bhaint amach.
Conas a thagann athruithe téimhre i dtimpeallacht an chillearaí folcadáin le haghaidh tógála na mbuailíní sa tionscail semiconductors?
Úsáidtear fuaireadh i n-éagsúla stáit, teimhreoirí milli-kelvin, agus malartóirí teas micreachanáil sa tionscail semiconductors le haghaidh tógála na mbuailíní chun fuarú cothrom a chinntiú agus athruithe téimhre a bhaint amach i rith an tógála.
Cén tábhacht atá le heagrú i rith an ama i bainistiú téimhre próiseasanna semiconductors?
Tá tábhacht mór le heagrú i rith an ama mar gheall ar na teimhreoirí leabaithe le eagarraí thermopile a mheasann próifíl téimhre difriúil, rud atá riachtanach i gcóras rialaithe comhshóisearacha chun athruithe i lucht an téimhre a réamhaisiú agus cur síos ar chur i bhfeidhm na gcóras rialaithe.
Ar aghaidh cé acu is féidir le dearadh inmheánach comhshóisearach tacú le comhtháthú cumhachtaí athraitheacha?
Tá cumas ar chomhbhrúcháin leis an luas athraitheach an réimse reoite a mhodhlú i rith amharc, agus mar sin, tá 70% laghdú sa thar-chuairte teochta le linn na trasnúchán, rud atá thar a bheith tábhachtach i bhforgáil na gceannraí leictreonacha.
Cén gnéithe den chillier leictreonach a thacaíonn le staideachas i gcás turgnamh le haghaidh cumhachta nó le haghaidh tuaslagóir?
Tugann an comhcheangal idir chiorcuit reoite dúblacha agus ábhair athrú fáis inbhurtha (PCM) mionnacht teochta le during turgnamh agus coimeádann sé coinníollacha staideacha go dtí go n-ullmhaítear an chumhacht bataireach.