EN
Динамикалык жартылай өткүргүч иштетүү үчүн так температура контролю
5 нмден кичине болгон алдыңкы түйүндөрдү иштетүүдө 0,02°Cдан төмөн стабилдүүлүк
Наномасштабда кемчиликтердин пайда болушунун алдын алуу үчүн 5 нмден кичине болгон жаңы жартылай өткүргүч иштетүүсүнүн термалдык стабилдүүлүгү 0,02°Cдан төмөн болушу талап кылынат. Экстремалдуу ультракызгылт (EUV) литографиясы жана атомдук катмардык чөкмөлөш (ALD) процесстеринде локалдуу жылытуу пайда болот; бул жылытуу баалуу катмарларда пластинкалардын бүркүлүшүнө, кемчиликтерге жана 40%дан ашык чыгарылган өнүмдүн жоголушуна алып келет. Жартылай өткүргүч температура чиллерлери бул маселени чечүү үчүн көп сатылуу бузуу системасы, милли-кельвин деңгээлиндеги сенсорлор жана микроканалдуу жылуулук алмаштыргычтар менен долбоорлонгон. Бул 300 ммдики пластинкаларга бирдей суутуу берет, ошондой эле чиллерлер термалдык индукцияланган градиенттүү чатлактарды жоюу үчүн плазма этиштеги экстремалдуу термалдык өтүштөрдү (100°C/сек чейин) чыдай алат.
Болжолдогон жылуулук башкаруу алгоритмдери реалдык убакытта сенсордун кері байланышы менен
Бул так термалык башкаруу үчүн убакытты чоң тактык менен өлчөө өтө маанилүү. Бул 200дөн ашык өлчөө нүктөлөрү үчүн 200 Гцден жогору жылдамдыкта 5 мКдан төмөн зоналык орточо маанилер менен ички термопил массивдерин киргизет. Термалык башкаруу системасын башкарууга киргизилген маалыматтарга тарыхый технологиялык маалыматтардын жана башка релеванттуу сырткы шарт факторлорду, технологиялык камера ичиндеги ылгызчылык жана газ агымынын маалымат агымдарынын айкалышына негизделген, конвенциялык системаларга салыштырмалуу 0,5 секунддан (500 мс) кыска убакытка жараша термалык тоскоолдуктардын болжолдоруна синхрондоолуу адаптивдүү башкаруу жообу да кирет. Мисалы, газ фазасындагы чөкмөлөнүү камералары экзотермиялык реакциядан жогору температурага чейин суутат, андан кийин фазалык өзгөрүш болот. Ички машинелүү үйрөнүүнүн бириктирилген алгоритмдери технологиялык башкаруу убактысында пайдаланылган энергияны, эң аз башкаруу жана эң туруктуу системаны, ашыкча чыгыштардын, жогорку жана төмөнкү чектердин ашып кетишинин минималдуу деңгээлин камсыз кылат.
Полупроводниктик жабдыктарды суутуу үчүн жылуулук башкаруу системасынын долбоорлоосу
Эки каналдуу жылуулук алмаштыргычтар жана өзгөрмө тездиктеги компрессорлор менен 5 секунддан аз убакытта жооп берүү
Өзгөрмө тездиктеги технология реалдуу убакытта жылуулук тасмасын модуляциялоого мүмкүндүк берет, бул компрессорлордун кайра-кайра иштеп туруусун (включать/выключать) болтурат жана, эң маанилүүсү, процесс өтүшүнөн кийин температуранын чыбыгууну 70% га азайтат. Эки каналдуу жылуулук алмаштыргычтар менен бирге колдонулганда, алардын процесс суюгулугунун жана жылуулук тасмасынын тармагы бөлүнгөн, бул чиллерлер жүктүн өзгөрүшүнөн кийин 5 секунд ичинде ±0,1°C температура тургундугун камсыз кылат. Бул жүктүн өзгөрүшүнө жооп берүү ылдам иштеген, жылуулук кечигүүсүнө сезгич процесстер үчүн өтө маанилүү — мисалы, пластиналарды бүгүп, үлгүлөрдү бузууга алып келген этч жана ALD реакторлору. Долбоордун башка бир артыгы — чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыгышында чыг...... көчүрүлгөн жылуулук тасмасынын эффективдүүлүгү 99,9% дан жогору болуп сакталат: -80°C дан 200°C га чейинки иштөө диапазонунда.
Жүктөмдүн өзгөрүштөрүнө каршы төзүмдүүлүк үчүн избыточтуу жана модулдуу чиллер конфигурациялары
N+1 компрессордук системалары жана эки контурдук циркуляциялык дизайн бирге колдонулганда, электр энергиясынын тайгактануусу же технологиялык аномалиялар учурунда жылуулуктун үзүлбөс токтобууну камсыз кылат. Модулдуу эки контурдук системалар традициондук бир контурдук системаларга караганда жакшы иштейт: алардын калыбына келүүсү 30 секунддан көп убакытты талап кылат жана ±2°C температура айырымдыгын камсыз кылат. Биздин модулдуу эки контурдук системаларыбыздын реакция убактысы 5 секунддан аз, температуранын айырымдыгы ≤±0.15°C, ошондуктан чыгымдагы таасир 1% ден аз болот. Бул дизайн компрессордун модулдарын технологиялык процесс үзүлбөстөн түзөтүүгө мүмкүндүк берет. Тез термалдык иштетүү (RTP) объекттеринен жыйналган талаа маалыматтары жылуулуктун чыгышынан пайда болгон инциденттердин санын 92% га азайтканын көрсөтөт.
Айланадагы жана технологиялык өзгөрүштөрдү компенсациялоо үчүн адаптивдүү башкаруу алгоритмдери
Полупроводниктеги фабрикалардагы технологиялык суу салынган чиллерлер айлана-чөйрө температурасынын өзгөрүшү жана өндүрүштүн жүктөмүнүн үзгүлтүсүз өзгөрүшү шарттарында нанометр деңгээлинде жооп берүүнү сактап туршу керек. Адаптивдүү башкаруу алгоритмдери температураны башкаруу процессинин табигый озгоноорунун ичинде туруктуулукту камсыз кылуу үчүн дизайн менен программалык башкарууну бириктиргенге мүмкүндүк берет.
Жаш термалдык маалыматтарга негизделген тургун чекиттердин оптималдаштырылыши
Термалдык адаптивдүү башкаруу системалары (TACS) жаш маалыматтарды колдонуп, тургун чекиттерди, ылгыктыкты (±15% RH), абанын температурасын жана технологиялык жылуулук жүктөмүнүн өзгөрүшүн (УФ, травление жана чөкүртүү) түзөтөт. TACS прогностик термалдык моделдеөнү камтыйт жана «лок» жана «снап» режимдеринде иштеген системаларга салыштырмалуу термалдык айырымдарды 92% га чейин түзөтө алат. TACS тарабынан ишке ашырылган прогностик тайпышык реакциясы, температуранын туруктуулугу (0.02%) талап кылынган деңгээлде өзүн-өзү түзөтүп, өтүштөрдү жүзөгө ашырарда, кемчиликтердин деңгээлин жана куралдардын чыгымынын туруктуулугун (5 нм ден ашык эмес деңгээлде) жакшыртат.
Куат үзүлүшүнүн айыбынын режимине чыдамдуулук: Мүмкүн болгон куат үзүлүшү учурунда
Туруктуу суутуу тармактары жана ичке фаза өзгөртүүчү материалдар (PCM) куаттын жоголушу жана суутуу агымынын токтотулушуна карабастан, системада 8–12 секундга чейин максималдуу туруктуу жылуулук балансын сактоо үчүн талап кылынган жылуулук инерциясын камсыз кылат. Бул фотосопуттук катмарлардын иркектенбей калышын жана резервдик системалардын ишке ашырылышы мөөнөтүндө кремний подложкаларын микро-чатлаңдардан бошотуу үчүн зарыл. Железнин тургузулган (агилдик эмес желек) аймактарында өндүрүштүн жүрүшүнө кедергилер түзгөн кернеэ төмөндөшүнүн натыйжасында жарым өткүргүчтөрдө жылуулуктун чыгышы окуяларынын 37% түзүлөт; ошондуктан чиллерлер жана системанын жылуулук инерциясы юкка чыкпаган жогорку чыгымдуу өндүрүштү камсыз кылуу үчүн зарыл.
Жи frequently берилген суроолор
5 нмден кичине түйнөктөрдө жарым өткүргүчтөрдү өндүрүүгө байланышкан процесстер үчүн кандай температура туруктуулугу талап кылынат?
5 нмден төмөнкү түйүндөрдө жарым өткүргүчтөрдү өндүрүүгө байланыштуу процесстер үчүн ±0,02°C диапазонундагы жылуулук туруктуулугу наномасштабдагы кемчиликтерди жоюу үчүн маанилүү.
Жарым өткүргүч өнөрпосундагы пластиналарды чыбыктоо үчүн колдонулган сууттагычтарда жылуулук тез өзгөрүштөрү (транзиенттер) кандай болот?
Пластиналарды чыбыктоо үчүн жарым өткүргүч өнөрпосунда бирдей сууттуруу камсыз кылуу жана чыбыктоо убактысында транзиенттерди жоюу үчүн көп баскычтуу сууттуруу, милли-кельвин сенсорлору жана микроканалдуу жылуулук алмашуучулары колдонулат.
Жарым өткүргүчтөрдүн процесстеринин жылуулук башкаруусунда чыныгы убакытта сезүү (реалдык убакытта сезүү) кандай мааниге ээ?
Чыныгы убакытта сезүү өтө маанилүү, анткени термопилалардын массивдери менен жабдылган орнотулган сенсорлор дифференциалдык жылуулук профилдерин көзөмөлдөйт; бул адаптивдүү контроллер системаларында жылуулук жүктөмүнүн ылдам өзгөрүшүн баа кылуу жана контрольдун реакциясынын киселерин тактоо үчүн маанилүү.
Адаптивдүү аппараттык дизайнды өзгөрүлмөлүү айлануу жыштыгындагы компрессорлорду интеграциялоо аркылуу кандай жолдор менен колдогон болот?
Айнымалы жылдамдыктагы компрессорлор реалдуу убакытта түзөтүлгөн температуранын өтүшүн 70% га азайтууга мүмкүндүк берген рефрижерант агымын модуляциялоо ыкчамдыгына ээ. Бул жарым өткүргүчтөрдүн чыгарылышында негизги фактор болуп саналат.
Жарым өткүргүчтөрдүн суутунуу үчүн колдонулган суутунуучу куралдардын кандай өзгөчөлүктөрү электр энергиясы же суу менен суутунуу токтогон учурда туруктуулукту камсыз кылат?
Көп катарлуу суутунуу тармактарынын жана ичке орнотулган фазалык өзгөрүштүн материалдарынын бирикмеси тоскоолдуктардын убактысында термалдык инерцияны камсыз кылат жана аккумулятордун энергиясын иштетүүгө жетиштүү узактыкка туруктуу шарттарды сактайт.