EN
Прецизна контрола температуре за динамичку обраду полупроводника
Стабилност под-0,02\u00b0C при обради напредних чворова < 5nm
Да би се спречило појављивање дефеката на нано-масежи, напредна обработка полупроводника под 5 нм захтева топлотну стабилност мању од 0,02\u00b0C. Екстремна ултраљубичаста (ЕУВ) литографија и процес депозиције атомског слоја (АЛД) узрокују локализовано грејање које, када се не контролише, узрокује деформацију плочица и доводи до дефекта и губитка приноса преко 40% критичних слојева. Полупроводнички хладилници за температуру су дизајнирани да се баве овим са вишестепеним хлађивањем, сензорима квалитета миликелвина и микроканалним разменницима топлоте. Ово може обезбедити равномерно хлађење преко 300 мм вафера, док издрже екстремне топлотне транзијенте (до 100 °C / с) плазменог еча када се хладилници користе за ублажавање термички индукованих прелаза на напрезању.
Продиктивни алгоритми топлотне контроле са повратном информацијом сензора у реалном времену
Критично је за ову прецизну топлотну контролу да се време мери са великом прецизношћу. "Снажног капацитета" (SN) је "укупна вредност" (%) од "неоптерећеног" (%) у укупном броју (%) од "неоптерећеног" (%) укупног капацитета (%) у укупном броју (%) од "неоптерећеног" (%) укупног капаците Унос за контролу система топлотне управљање такође укључује синхронизоване адаптивне контролне одговоре на прогнозе топлотних поремећаја за кратке временске периоде у поређењу са конвенционалним системима од мање од 0,5 секунди (500 мс) на основу комбинације историјских података о процесу и других релевантних фактора животне На пример, гасне фоне одлагања камери су хладне изнад егзотермичке реакције док се фаза промена не деси. Комбиновани алгоритми уграђеног машинског учења обезбеђују употребу енергије која се подразумева током контроле процеса најмање контроле и најстабилнији систем са најмање доприносе прекорачењу, мање екскурзија горње и доње границе.
Дизајн система топлотне управљања у хлађивању полупроводничке опреме
Времена одговора мање од 5 секунди са двоканалним разменом топлоте и компресорима променљиве брзине
Технологија променљивих брзина омогућила је модулацију проток хладњака у реалном времену, што елиминише циклус укључивања и искључивања компресора и, што је најважније, смањило је превишавање температуре за 70% током процесних прелаза. Када се комбинују са двоканалним разменом топлоте који имају одвојене кола за процесну течност и хладњак, ови хладњаци могу постићи температурну стабилност од ± 0,1 °C у року од 5 секунди након промене оптерећења. Ова реакција на промену оптерећења је критична за процесоре са високом брзином, осјетљиве на топлотну кашњење као што су реактори Ецх и АЛД који могу деформисати плоче и искривити обрасце. Дизајн такође спречава крстовано контаминацију, док се одржава ефикасност преноса топлоте > 99,9% у целокупном опсегу рада: -80 °C до 200 °C.
Редудантне и модуларне конфигурације хладилника за отпорност на транзиторне оптерећења
Н+1 компресорски системи у комбинацији са двоструком циркулацијом циркулације пружају сигурно топлотну континуитет током флуктуација снаге или аномалија процеса. Модуларни системи двоструке петље су бољи од традиционалних система једне петље, који могу трајати више од 30 секунди да се опораве и дозволе одступање од ± 2 °C. Наши модуларни системи двоструке петље постижу време одговора мање од 5 секунди са температурним одступањем ≤±0,15 °C, омогућавајући утицај на принос да буде мањи од 1%. Проектирање омогућава одржавање компресорских модула без прекида процеса. Пољски подаци из објеката за брзу топлотну обраду (РТП) показују смањење инцидента топлотне безизлатности за 92%.
Адаптивни алгоритми за контролу за супротстављање варијабилности окружења и процеса
Процесни хладнилаци у полупроводничким фабрикама морају одржавати одговор на нанометрима, док се услови околне температуре мењају и стално мењају производне оптерећења. Адаптивни алгоритми контроле омогућавају комбинацију дизајна и контроле софтвера како би се одржала конзистенција у природној варијабилности процеса контроле температуре.
Оптимизација поставне тачке на основу топлотних података
Скенерски системи за топлотну адаптивну контролу (ТАЦС) користе податке у току да прилагоде постављене тачке и поремећаје влажности (± 15% РХ), температуре ваздуха и варијабилности топлотне оптерећења процеса (УВ, ецх и депозиција). TACS има предвиђачко топлотно моделирање и може прилагодити отзивне топлотне одступања за 92% у односу на системе које раде на блокирање и скрап. TACS прогнозни превишавање одговор, када прелазак и одржавање само-налагођивање у оквиру обавезног (0,02%) температурне стабилности, помага у дефектни ниво перформанси и стабилност прибора излаз (под 5 нм ниво).
Опоравак на поремећај напајања: током потенцијалног поремећаја напајања
Упорна кола за хлађење и уграђени материјали за промену фазе обезбеђују потребну топлотну инерцију да би се, након губитка енергије и прекида проток хладило, задржала максимална одржива топлотна равнотежа у систему 812 секунди. Ово је од суштинског значаја да би се осигурало да фоторезистентни слојеви остану без преране кристализације и да би се осигурало да су силицијумске супстрате без микрокрка током потребне укључивања резервних система. За производњу у подручјима нестабилне мреже (неагилне мреже) где падање напона узрокује 37% термалних догађаја у полупроводнику, хладилницима, неопходна је топлотна инерција система како би се осигурала непрестаност производње високих приноса.
Често постављана питања
Која је температурна стабилност потребна за процесе који се односе на производњу полупроводника на чворима испод 5nm?
За процесе који се односе на производњу полупроводника на чворима испод 5nm, топлотна стабилност у распону од ±0,02°C је од суштинског значаја за елиминисање дефеката на нано-уреду.
Како топлотне транзијенте током производње вафера хладнице за полупроводничку индустрију?
Многостепени хладњаци, сензори мили-келвина и микроканални разменници топлоте се користе у полупроводничкој индустрији за производњу вафера како би се осигурало једноставно хлађење и елиминисале транзиције током производње.
Какав значај има сензирање у реалном времену у топлотном управљању полупроводничким процесима?
Сензирање у реалном времену има огромно значење јер уграђени сензори са термопилским масивом прате диференцијалне топлотне профиле, што је од кључне важности у адаптивним системом контролера за предвиђање померања топлотних оптерећења и прилагођавање крива одговора контроле.
На који начин се адаптивни хардверски дизајн може подржати интеграцијом компресора са променљивом брзином?
Компресори са променљивом брзином имају способност да модулишу проток хладњака у реалном времену што резултира смањењем температурног превишавања за 70% током прелаза, што је кључни фактор у производњи полупроводника.
Које карактеристике полупроводничког хладњака подржавају стабилност у случају прекида струје или хладњака?
Комбинација редуктивних ладиних кола и уграђених материјала за промену фазе пружа топлотну инерцију током поремећаја и одржава стабилна стања довољно дуго да омогући активирање напајања батерије.