Динамикалык жарык диоддун иштетиши үчүн так температура башкаруу. 5 нмден кичине болгон алдыңкы түйүндөрдү иштеткендеги 0,02°Cдан кичине температуранын туруктуулугу. Наномасштабдагы кемчиликтердин пайда болушун болтуроо үчүн 5 нмден кичине жарык диоддун иштетиши термалдык ...
Топтуруу көрүнүш
Так температуралык башкаруу: Литография жана тереңдөтүлгөн иштетүүдө микродефекттерди жоюу. Неге ±0,1°C стабилдүүлүгү 7 нмден кичине литография үчүн жана бийик аспекттүү тереңдөтүлгөн иштетүү үчүн чечимдүү мааниге ээ. 7 нмден кичине технологиялык түйнөктөрдө &p...
Топтуруу көрүнүш
Тесттин тактыгы жана чыгымдылыгы үчүн термалдык туруктуулук негизги мааниге ээ. Термалдык өзгөрүштөрдүн 1 градустан төмөн болушу жалган кемчиликтерди жана өлчөөлөрдүн айланышын тудурат. Жартылай өткүргүчтүн пластинасы үчүн бир тест циклында 1 градустан төмөн термалдык өзгөрүштөр көп сандаган кыйынчылыктарга алып келет. ...
Топтуруу көрүнүш
Термалдык тургансыз болгондуктан, 5 нмден аз түйүндөрдө чыгымдар түзөлөт. Чыгымдардын өсүшү: ±0,3 °C айлануу – EUV литографиясы учурунда кемчиликтердин 12–18% га көбөйүшү. 5 нанометрден аз жарым өткүргүч түйүндөрүндө, экстремалдуу ультрафиолеттук (EUV...
Топтуруу көрүнүш
3D интегралдуу схемалардын вертикалдык чогултуу боюнча эң жакынкы жаңылыктар 3D интегралдуу схемаларда катуу жылуулук маселелерин туудурду. Аба менен суу менен оорутуу сыяктуу традициялык ыкмалар жетишсиз. Микросуулуу оорутуу...
Топтуруу көрүнүш
Негизги функция: Бир каналдуу чиллерлер термалдык жоготулушту жана энергиянын чачырандысын кандай азайтат? Эксклюзивдүү башкарылган агымдын жолдору аркылуу термалдык кескин чачырандысынын азайтышы. Традициялык системалардан айырмаланып, бир каналдуу чиллерлер ар бир суутун таргытатуу процессине у...
Топтуруу көрүнүш
Жарым өткөргүчтөрдүн температурасын төмөндөтүү: Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү. Ошондуктан бул процесстерди жүргүзүү керек...
Топтуруу көрүнүш
Fab-specific жылуулук талаптарына ишенимдүү кам көрүү EUV литографиясы үчүн өтө туруктуу температураны контролдоо (± 0,1°C) жана...
Топтуруу көрүнүш
7 нмден кичине фотолитография жана EUV-циркеттери үчүн термалдык туруктуулуктун тонкотолору. 7 нмден кичине жарым өткүргүчтүн структураларын түзүү үчүн, алып жүрүүгө мүмкүн болбогондой жылуулуктун өзгөрүшүн башкаруу жана башкаруу керек. Ашыкча ...
Топтуруу көрүнүш
Бир баскычтагы аммиак системаларынын негизги термодинамикалык артыкчылыктары Аммиакты суутек сыйымдуулугу жогору болгондуктан, өнөрпосундагы бир каналдуу суутек түзүлүштөрү аммиакты суутек катары колдонот жана жылуулукту жогору сиңирүү касиеттерине негизделген...
Топтуруу көрүнүш
Модулдук конструкциясы менен чиллер бир нече башка, өз алдынча компрессорлорду пайдаланып, айрым суутек-талаа тармагы үчүн токтогон цикл системасын курууга мүмкүндүк берет, ошондуктан бир гана борбордук компрессорго таянып калбайт. Башкарылган жана башкарылбаган...
Топтуруу көрүнүш
Температураны татаал түрдө башкаруу — чыгышты жогорулатуу, туруктуу өндүрүштү камсыз кылуу жана конкуренциялык рынокто иштеген фабрикалардын рентабелдүүлүгүн сактоо үчүн маанилүү. Жарым өткүргүч процессинин чиллерынын негизги инженердик концепциялары: токтогон контурдагы термо...
Топтуруу көрүнүш
EN