Прецизна контрола температуре за динамичку полупроводничку обраду Стабилност под 0,02\u00b0C при обради напредних чворова < 5nm Да би се спречило појављивање дефеката на нано-масе, напредна обработка полупроводника под 5nm захтева топлотну...
Видети више
Прецизна контрола температуре: елиминисање микро-дефекта у литографији и ецхинг Зашто је стабилност ± 0,1 °C неразговарана за литографију испод 7nm и ецхинг са високим односом аспекта У уздовима процеса испод 7nm, топлотне варијације веће од &p...
Видети више
Зашто је топлотна стабилност од суштинског значаја за тачност и износ тестирања Како топлотне промене под степени изазивају лажне грешке и дрифт мерења У једном циклусу тестирања полупроводничког вафера, топлотне промене испод 1 степени изазивају значајне проблеме....
Видети више
Тхермална нестабилност директно покреће губитак приноса на нодовима испод 5 нм. Емпиријски губитак приноса: ±0.3 °C дрјфт 12 до 18% повећање дефеката током EUV литографије На полупроводничким чворима испод 5 нанометра, током екстрем
Видети више
Најновије иновације у вертикалном спајању 3Д интегрисаних кола довеле су до озбиљних топлотних изазова у 3Д интегрисаним колама. Традиционални методи хлађења ваздухом или раствори за хлађење течности нису довољни. Микрофлуидни хлађење у...
Видети више
Основна функција: Како једноканални хладилници смањују скупе топлотне губитке и губитак енергије смањење топлотне кросо-тако преко искључиво контролисаних путева протока За разлику од традиционалних система, једноканални хладилници пружају сваком процесу хлађења...
Видети више
Кључни покретачи хлађења полупроводника: Трпелна контрола производње полупроводника у фотолитографији и ецирању Током фотолитографије и ецирања процеса, креирају се дизајне чипова. Због тога, ови процеси морају бити спроведени...
Видети више
Поуздано задовољавање термичких захтева за фабрику Ултра-стабилна контрола температуре (± 0,1 °C) за EUV литографију и...
Видети више
Трпелитет топлотне стабилности за фотолитографију под 7nm и EUV уређаје. Да би се изградиле полупроводничке структуре мање од 7 нм, неопходно је моћи да се контролише и управља нивоом топлотне варијабилности који је скоро недостижан. Екстремно...
Видети више
Примарне термодинамичке предности једностепених система аммонија Једноканални системи хлађења присутни у индустрији користе аммонијум као хладњач и односе се на аммонијумске велике термодинамичке особине укључујући високу апсорпцију топлоте у...
Видети више
У модуларном дизајну, хладничке јединице имају могућност да конструишу систем затвореног циклуса користећи одвојене, независне компресорске јединице за сваки хладњи кола, и као такви, не ослањају се на један централни компресор. За управљане и непланиране...
Видети више
Контрола температуре је од суштинског значаја за побољшање производње, гаранцију конзистентне продуктивности и одржавање профитабилних фабричких постројења на конкурентном тржишту. Кључни инжењерски концепти полупроводничког процеса хладника затвореног кола Те...
Видети више
EN