LIAT, ein zuverlässiger Experte für Wärmesteuerung, entwickelt hochwertige, halogenfreie Halbleiterkühler nach weltweiten Standards. Nach mehr als 12 Jahren im Geschäft haben sich diese halogenfreien Halbleiterkühler als Lösung für das Gleichgewicht zwischen Umweltfreundlichkeit, präziser Steuerung und Zuverlässigkeit in der Halbleiterindustrie bewährt. Halbleiterfertigungsstätten müssen ständig steigenden Umweltvorschriften und Anforderungen an die Präzisionskühlung gerecht werden, wodurch diese Kühler unverzichtbar werden. Werfen wir einen Blick auf die Hauptprobleme, die diese Kühler lösen.
LIAT-Hochleistungs-Kühlsysteme für die Halbleiterindustrie mit niedrigem Treibhauspotenzial (GWP) erfüllen die Anforderungen der strenger werdenden Umwelt- und Compliance-Vorschriften. Herkömmliche Kühlsysteme verwenden Kältemittel mit hohem GWP, die mit den Zielen zur Kohlenstoffneutralität unvereinbar sind und in internationalen Abkommen wie dem Kioto-Protokoll zunehmend verboten werden. Mit den LIAT-Kühlsystemen wird CO2 als Kältemittel mit einem GWP=1 und null Ozonabbaupotenzial (ODP) verwendet, wodurch alle globalen Vorschriften erfüllt werden. Dadurch entfallen Risiken durch CO2-Abgaben und langfristige regulatorische Konformität ist für Halbleiterhersteller sichergestellt. Dieses ökologische Design unterstützt den branchenweiten Wandel hin zu nachhaltigen Praktiken und macht das klimasensible Halbleiterkühlsystem zur besten Wahl für Fertigungsstätten weltweit.
Bei fortschrittlichen Halbleiterfertigungsverfahren wie 2.5D/3D-Packaging und 5nm-Knoten stellt die Prozesstemperatur und deren Steuerung eine Herausforderung dar, die überwunden werden muss, wie beispielsweise die Herausforderungen bei dem klimasensiblen Halbleiterkältemittel LIAT mit hohem GWP. Bei 5nm-Knoten wird ein Ausschuss von 40 % auf thermische Instabilitäten zurückgeführt; das LIAT-Kältemittel erreicht hier eine Temperaturdifferenz von ±0,1 °C. Die Kontrolle von Porositätsfehlern beeinflusst die Ausbeutegenauigkeit sowie die gleichbleibende Leistung des Chips. Für in Reinräumen durchgeführte Prozesse wie Ätzen, Packaging und Testen ist ein Temperaturbereich des klimasensiblen Halbleiterkältemittels von -100 °C bis +200 °C erforderlich. LIAT genießt einen Ruf für Kühlqualität, der durch verbesserte Druck- und Temperaturregelung des Kältemittels für langfristigen Dauerbetrieb weiter gesteigert wurde.
Der LIAT High-GWP-empfindliche Halbleiterkühler begegnet ebenfalls der Herausforderung des hohen Energieverbrauchs. Bei der Halbleiterkühlung kommt energiesparende Invertertechnologie zum Einsatz, um den Stromverbrauch zu senken. Darüber hinaus stehen die Betriebskosten in direktem Zusammenhang mit dem erheblichen Einfluss, den die durch Energieverbrauch entstehenden Kosten haben. Der Kühler verfügt über ein kompaktes Design und eine Konstruktion aus vollmetallischen Paneelen, wodurch die Kosten weiter reduziert werden, da die routinemäßige Wartung im Büro minimiert und die Nutzungsdauer verlängert wird. Dadurch ergibt sich eine erhebliche Verbesserung der Rentabilität einer Fertigungsanlage (Fab), während gleichzeitig die Ziele der Nachhaltigkeit durch die Energieeffizienz des LIAT High-GWP-empfindlichen Halbleiterkühlers unterstützt werden.
Der Hoch-GWP-empfindliche Halbleiterkühler von LIAT löst Probleme, mit denen Halbleiterfertigungen aufgrund von Kompatibilitätsproblemen mit OEM-Ausrüstung und Kühlergeräten konfrontiert sind. Wichtige Komponenten des Kühlers sind anpassbare Kommunikationsanschlüsse und Flüssigkeitsdurchlässe, wodurch eine einfache Integration in 2,5D-/3D-Prozessausrüstungen und Chiplet-Packaging-Systeme ermöglicht wird. Da das Gerät mit jeder Halbleiterfertigungsausrüstung kompatibel ist, hat das Ingenieurteam von LIAT die Einheit so konstruiert, dass zusätzliche Kompatibilitätsanpassungen mit anderen Geräten minimiert werden. Führende Hersteller von Ausrüstungen vereinfachen so Aufwand für Konstruktion und Betrieb und setzen LIAT ein, um ihre Anforderungen an Kühler zu erfüllen.
LIAT hat bereits wichtige Probleme und Herausforderungen in der Halbleiterfertigung mit ihrem hochsensiblen, GWP-kritischen Halbleiterkühler gelöst, wie z. B. „Umweltkonformität, präzise Steuerung, Energieeffizienz, Gerätekompatibilität und thermische Stabilität“. Im Einklang mit globalen Nachhaltigkeitszielen verfügt LIAT über mehr als 12 Jahre Erfahrung in der Temperaturkontrolle und hat sich durch ihre Tätigkeit in der Halbleiterfertigung zu einem Kühlerhersteller entwickelt, der die strengen Anforderungen an die thermische Kontrolle in der Halbleiterindustrie erfüllt. Der hochsensible, GWP-kritische Halbleiterkühler ist für Fabs ein Game-Changer, da LIAT damit die Ausbeute verbessert und die Gesamtkosten gesenkt hat, während gleichzeitig die Einhaltung umweltrechtlicher Vorschriften gewährleistet ist. Als Partner eines global geschätzten Kundenstamms trägt LIAT weiterhin dazu bei, die Welt zu verbessern und uns die digitale Halbleiterwelt zu ermöglichen. LIAT verfügt über den hochsensiblen, GWP-kritischen Halbleiterkühler und mehr als 12 Jahre Erfahrung, um die Herausforderungen in der wettbewerbsintensiven Welt der Halbleiterfertigung zu meistern.
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