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UPW-Heater
Temperaturstabilität : ±0,1 °C
Temperaturbereich : -20˚C～+80˚C
Heizleistung ：48KW-192KW
Ultrapures Wasser (UPW) Heizmodul , Konzipiert für präzise Temperaturregelung in kritischen Halbleiterfertigungsprozessen, nutzt dieses fortschrittliche Heizsystem hochreine, mit Quarz umhüllte Halogenlampen für berührungsloses Heizen und gewährleistet somit keinerlei metallische Kontamination.
- Überblick
- Empfohlene Produkte
Anwendungsbereich
Halbleiterfertigung : Reinigung von Silizium-Wafern oder Verbundmaterialien
Lithium-Batterie- und Solar-PV-Industrie : Reinigungssysteme für Produktionslinien
Display-Panel-Industrie : Reinigung von LCD-Glas-Substraten
Umweltfreundliche Alternative : Ersetzt die Freon-basierte Reinigung durch Ultrapurreinwasser-Lösungen
Hauptmerkmale
Hochwertige Materialkonstruktion
Hochreine Quarz-Heizelemente
Fluorkunststoff-Rohrleitungssysteme
Nicht-kontaktbeheizte Halogenlampen-Heiztechnologie
Raumsparendes Design
Ultradünnes Profil minimiert den Platzbedarf
Intelligente Temperaturkontrolle
Leistungsstarke Halogenlampen ermöglichen eine schnelle Beheizung
Automatische Temperaturregelung basierend auf Echtzeit-Durchflussveränderungen
Leistung & Sicherheit
≥95,8 % Heizwirkungsgrad
Umfassende Sicherheitsvorkehrungen mit Warnungen bei:
Durchflussstörungen
Übertemperaturzuständen
Trockenlaufschutz
Lecksuche
Sensormangel
Heizkreisfehler
| Modell | SWH-48 | SWH-72L | SWH-96L | SWH-144L | SWH-192L | |
| Heizmethode | Infrarotstrahlungsheizverfahren anwenden | |||||
| Leistung | Leistung | 48 kW | 72kw | 96kw | 144KW | 192kw |
| Standard-Durchflussmenge (△T55℃) | 12LPM | 18LPM | 24LPM | 36LPM | 48LPM | |
| Minimale Heizleistung | 4-6LPM | 8-12LPM | ||||
| Temperaturregelbereich | 20-100℃ | |||||
| Temperaturregelgenauigkeit | ±1℃ (je nach Bedingungen) | |||||
| Durchflussanzeigebereich | 0-60LPM | |||||
| Zusammensetzung | Heizung | Halogenlampenrohr, indirektes Heizverfahren ohne Flüssigkeitsberührung | ||||
| Heizmaterial | Hochreines transparentes Quarzglas | |||||
| Kontakt mit Flüssigkeitsbestandteilen und Rohrmaterialien | Hochreines transparentes Quarzglas und hochwertiges PFA-Rohr | |||||
| Sicherheitsreaktionsfunktion | Abnormaler Durchfluss, hohe Temperatur, Trockenlauf, Leckage, Sensortrennung, Schmelzen des Halogenfaden, etc. | |||||
| Externe Kommunikationsfunktion | RS-232C, RS-485, Modbus TCP/IP | |||||
| Externe Ein-/Ausgabefunktion | 8 Eingänge, 14 Ausgangssignale | |||||
| Andere | Außenabmessungen (mm) | 450W*900T *1625H | 450W*1000T *1725H | 700W*1000T *1725H | 700W*1000T *1850H | 800W*1000T *2000H |
| Stromversorgung | AC 380V 50/60Hz dreiphasiger Fünfleiteranschluss | |||||
