Zweikanal-Kühler

Technische Beschreibung:

Lingheng Dualkreis-Kühler bieten in einem Gerät eine doppelte unabhängige Temperaturregelung.
Mit ±0,1 °C Stabilität pro Kreislauf , diese Systeme sind konzipiert für:

Synchronisierte Kühlung von PVD/CVD-Kammern

Mehrzonenthermomanagement in Ätzgeräten
Mit 40 % geringerem Platzbedarf und branchenweit bewährter Kompatibilität (AMAT/LAM/TEL) definieren sie präzise Kühlung neu.

Hauptvorteile:

Zwei-in-Eins-Effizienz
» Ersetzt Kühler mit unabhängigen Kreisläufen durch einen Dualkreis-Kühler
→ 40 % mehr Sauberkeit und 30 % geringere Investitionskosten

Präzisions-Dualregelung
» ±0,1 °C Stabilität pro Kreislauf (ΔT<0, 2℃)
→ Gewährleistung einer Filmstärkenabweichung von <3 % bei CVD/PVD

Fabrikfertige Integration
» Vorinstallierte AMAT/LAM/TEL Protokolle
→ 90 % Kompatibilität mit 300-mm-Werkzeugen, 65 % weniger Stillstandszeit

Energy TwinDrive™
» 35 % geringerer Energieverbrauch im Vergleich zu konventionellen Paaren
→ SEMI S23 zertifiziert, >18.000 $ jährliche Einsparungen

Keine Kreuzkontamination
» Anpassbare Strömungspfade  + lasergeschweißte Verbindungen
→ Kompatibel mit UPW/Fluorinert/EGW

Kernkomponenten & Betrieb:

CompoNent	TECHNOLOGIE
Kompressor	Hermetischer Inverter-Kompressor mit Flüssigkeitsschutz (±0, 1℃-Regelung)
Kondensator	Edelstahl, <5 % Wärmeverlust
Verdampfer	Plattentyp-Design, 35 % höhere Effizienz, ≤55 dB Geräuschpegel
Heizung	Tauchdirektheizung, ±0,3 °C Temperaturgleichmäßigkeit
Expansionsventil	Elektronisches Ventil mit ±1 °C Überhitzungsregelung
Pumpe	Magnetkupplungspumpe (Version mit fluoriniertem Fluid), <2 % Flussfluktuation

Kühlprinzip:

Adaptiver PID-Kreislaufkühlung :
1️⃣ Kompression → Kältemittelverdichtung
2️⃣ Kondensation → Wärmeabfuhr & Verflüssigung
3️⃣ EEV-Drosselung → Unterdruck-Erzeugung
4️⃣ Verdampfung → Präzise Wärmeaufnahme von Geräten
5️⃣ Inverter-Flussregelung → Hält ±0. 1℃ Stabilität