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CO2-Kühlanlagen
Temperaturstabilität : ±0,1 °C
Temperaturbereich : -20 °C bis +80 °C
Kühlkapazität : -20 °C@2 kW/20 °C@10 kW
Präzise Temperaturregelung durch kompakte Kompressor-Kühlgeräte für :
Halbleiterwaferfertigung & -prüfung
Validierung von Batterien/Antrieben der neuen Energietechnologie
Präzisionsgeräte-Kühlung
Testspezifische Luftkühlanwendungen
- Überblick
- Empfohlene Produkte
Technische Beschreibung:
Lingheng CO₂ Ultra-Clean Kühlanlage
Verwendung natürliches Kühlmittel (GWP=1, ODP=0) um zu liefern ±0,1 °C präzise Temperaturregelung für fortschrittliche Halbleiterprozesse. Ermöglicht -40 °C bis +100 °C breiter Betriebsbereich mittels transkritischer Zyklustechnologie, kompatibel mit sicherheitskritischen Anwendungen:
Photolithografie
Gravur
Atomic Layer Deposition (ALD)
Vollständig abgedichteter Strömungspfad erfüllt die Reinraumstandards der Klasse 100, während F-Gas-freies Design das Risiko von Kohlenstoffabgaben minimiert – sowohl Prozessexzellenz als auch ESG-Konformität sicherstellend.
Hauptvorteile：
Nachhaltigkeit der Umwelt:
GWP=1 - Vollständig abgestimmt auf globale Klimaziele, minimiert Kohlenstoffabgaben
Natürlicher Kältemittel - Entfällt die Erfordernis zur Rückgewinnung/Entsorgung von fluorierten Gasen
Null ODP - Konform mit internationalen Vorschriften (z. B. Kigali-Änderung)
±0,1 °C Präzisionssteuerung - Ermöglicht fortschrittliche Nodes (TSMC 5nm, fluoridfreies Kältemittel-Auslaufprogramm konform)
Kontaminationsfreier Betrieb - CO₂-Rückstand <1 ppb, zertifiziert für Reinräume der Klasse 1000
30 % höherer COP - Transkritischer Kreislauf-Innoverdichtertechnologie (bestätigt im Vergleich zum LIAT 1.0-Basiswert)
Sicherheitsleistung:
Nichtgiftig und nicht brennbar - Beseitigt Risiken durch Leckage von fluoridhaltigen Kältemitteln
Fab-Risikominderung - 68 % geringerer Umweltgefahrenindex (gemäß SEMI S10)
Kernkomponenten & Betrieb:
CompoNent |
TECHNOLOGIE |
Kompressor |
Hermetischer Inverterverdichter mit Flüssigkeitsschutz (±0,5-°C.-Steuerung) |
Kondensator |
Edelstahl, <5 % Wärmeverlust |
Verdampfer |
Titanplattenart, 35 % höhere Effizienz, Geräuschpegel ≤55 dB |
Heizung |
Tauchdirektheizung, ±0,3 °C Temperaturgleichmäßigkeit |
Expansionsventil |
Elektronisches Ventil mit ±1 °C Überhitzungsregelung |
Pumpe |
Magnetkupplungspumpe (Version mit fluoriniertem Fluid), <2 % Flussfluktuation |
Kühlprinzip:
1. Kompression → Kältemittelverdichtung
2. Kondensation → Wärmeabfuhr & Verflüssigung
3. EEV-Drosselung → Erzeugung feiner Sprühnebel bei niedrigem Druck
4. Verdampfung → Präzise Wärmeaufnahme von Geräten
5. Inverter-Flussregelung → Hält ±0. 1℃ Stabilität
| GVS010 Produktparameter | GVS405-Produktparameter | ||
| Produktmodell | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Kühlmethode |
Wassergekühlte Kühlart |
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| Steuerungsmodus |
PID-Regelung |
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| Temperaturreglerbereich | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | -20 °C bis +90 °C |
| Präzision |
±0.1℃ |
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| Kühlleistung |
-20 °C@2 kW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
-40℃@4KW |
4 kW bei -10 °C 10 kW bei +20 °C |
| Leistung | 3KW | 3KW | |
| Tank | 20L | 20L | |
| Durchflussmenge des zirkulierenden Fluids | 20 L/min (0,75 MPa) | 20 l/min (0,5 MPa) | 20 L/min (0,7 MPa) |
| PCW Verkehr | 15 L/min@15~25 °C | 15 L/min bei 15–25 °C und 0,3–0,4 MPa | |
| Temperaturbereich | 5~35℃ | ||
| Arten des Kühlmittels | Ethylenglykol-Mischung, Reines Wasser, Fluorierte Lösung | ||
| Kältemittel | R744 (CO2) | ||
| Kreislaufmedium-Anschluss |
Rc3/4” |
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| PCW-Anschluss | RC1/2” | Rc1¼" | RC1/2” |
| Äußere Abmessungen (mm) | 380B*900T*1250H | 500 B × 1160 T × 1650 H |
600 B × 900 T × 1300 H (mm) |
| Eingangsnetzteil | 3Ph, 208-220V, 50Hz | drehstrom, 208–220 V, 50/60 Hz | |
| Maschinenleistung | 8KW | 15,4 kW | |
| nettogewicht | 200KG | ||
| Konstruktionsnormen | Semi | Semi | SEMI S2, F47 |
