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Heizjacken-System
Temperaturstabilität : ±0. 5℃
Für dieses Produkt stehen je nach Bedarf die folgenden Materialien zur Auswahl:
Silikonschaummaterial
Volles PTFE-Material
PTFE-Beschichtungsmaterial
Expandiertes PTFE-Material
- Überblick
- Empfohlene Produkte
Technische Beschreibung:
Das Heating-Jacket-System hält präzise Temperaturen in Vakuum/Gasleitungen über fortgeschrittene Fertigungsprozesse hinweg aufrecht
leitungen, die für branchenspezifische
anforderungen maßgeschneidert konstruiert sind, verhindern unvollständige Reaktantenkondensation und Ablagerung von Nebenprodukten an den inneren Rohrwänden – entscheidend, um Strömungsbehinderungen und einen Rückgang der Abgas-Effizienz in Halbleiter-Vakuum/Abgas-Systemen zu vermeiden
degradation in semiconductor vacuum/exhaust systems. Comprising three core components:
zusammengesetzt aus drei Kernkomponenten:
Heizjacken (anwendungsspezifische Ausführungen)
PID-Steuerungen (±0,5 °C Stabilität)
HMI-Steuerungsschränke
diese Lösung ermöglicht das Echtzeit-Monitoring von Rohrleitungen und eine thermische Überwachung für Gasleitungen aus Edelstahl.
Heizjacken-Anwendungen :
1. Gasversorgungsleitungen
Gefährliche Prozessgase :
Bor-Trichlorid (BCl₃), Chlor-Trifluorid (ClF₃), Tetraethylorthosilikat (TEOS)
Dichlorsilan (DCS/SiH₂Cl₂), Wolframhexafluorid (WF₆)
Prozessvalidierung gasleitungsheizung zur Taupunktkontrolle und Kondensationsverhinderung
2. CVD-Prozesse
Low-Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD)
Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
Funktion: Stabilisierung der Vorläuferdampftemperatur (±1 °C)
3. Metzgetzen
Plasmabearbeitungssysteme :
Aluminiumätzverfahren (Cl₂/BCl₃-Chemie)
Wolframätzverfahren (SF₆/WF₆-Gemische)
Funktion: Aufrechterhaltung der Gasreaktivitätskonsistenz
Vorteile des Heating Jackets:
Vorteilskategorie |
Technische Merkmale |
Präzisionssteuerung |
±0,5 °C-Stabilität über PID-Regler (ISO 15805 zertifiziert) |
Sicherheitsgarantie<br> |
Doppelte Sicherheitsverriegelungen: |
Eco-Isolierung |
PFAS-freie Isolationsschicht: |
|
Echtzeit-Stromüberwachung: |
PID-Temperaturregler
Das Heating Jacket-System verwendet PID-Temperaturregler für präzise Temperaturregelung. Jeder Regler arbeitet auf einem dedizierten RS485-Busabschnitt mit eindeutiger Netzwerkadressierung. Diese PID-Einheiten funktionieren sowohl als eigenständige Steuerungsmodule als auch als integrierte Knoten in einer verteilten Netzwerkarchitektur. Über RS485-Schnittstellen nutzen alle Regler das Modbus RTU-Protokoll, um bidirektional mit dem zentralen HMI-Steuerungsschrank zu kommunizieren. Dies ermöglicht eine synchronisierte Temperaturregelung in mehreren Zonen und eine Echtzeit-Datenaggregation, ohne dass eine zentrale SPS erforderlich ist.
Hmi kontrolle paneel
Die Installation von beheizten Schutzummantelungen und PID-Temperaturreglern an Vakuum- oder Gasleitungen ist relativ dezentral, wodurch eine effektive Überwachung der Echtzeit-Temperaturen und des Betriebszustands aller Heizummantelungen gleichzeitig nicht möglich ist. Um die Echtzeitüberwachung aller Heizummantelungsbedingungen zu ermöglichen, haben wir ein HMI-Bedienfeld implementiert, das alle Heizummantelungen in einer einheitlichen Plattform zusammenfasst und somit eine zentrale Steuerung und Kommunikationsverwaltung erreicht.
Zentrales Überwachungssystem
Alle Schnittstellen – einschließlich Überwachungsbildschirme, Echtzeit-Alarmanzeigen, historische Alarmprotokolle, Ereignisverläufe, Trendanalysediagramme und Berichtsformulare – können im Host-System konfiguriert werden (unter Verwendung von SCADA-Plattformen wie InTouch oder iFix) zur umfassenden Überwachung des Heizummantelungssystems.
Systemvorteile:
• Erhöhte Managementeffizienz - Verbessert die gesamte Betriebsleistung
• Vereinfachte Wartung - Reduziert den operativen und Wartungsaufwand
• Kostenoptimierung - Reduziert Installations-, Betriebs- und Erweiterungskosten
• Überwachung über mehrere Geräte hinweg - Ermöglicht gegenseitige Überwachung zwischen mehreren Computern
• Ressourcennutzung gemeinsam nutzen - Unterstützt die zentrale Nutzung von Festplattenressourcen
• Redundante Datenspiegelung - Bietet Funktionen zur gegenseitigen Datensicherung
• Mehrkanalige Alarmbenachrichtigung - Unterstützt SMS/Anruf-Benachrichtigungen und E-Mail-Benachrichtigungen
• Umfassende Datenanalyse - Ermöglicht Abfragen von historischen Daten und grafische Darstellung von Trends
• Automatisierte Berichterstattung - Generiert automatisch Systemberichte
• Netzwerkmanagement - Ermöglicht zentrale Überwachung der Systemverwaltung
| Innengewebe | PTFE Teflon Gewebe |
| Heizungselement | PTFE-Nickel-Chrom Eletheizkörper |
| Isolierung | Hochkapazitäts-Schweres Glasfaservlies |
| Außenstoffmaterial | PTFE Teflon Gewebe |
| Fester Gurtverschluss | Flammhemmendes und temperaturbeständiges Klettverschlussband |
