EN
Mikropiirien valmistusprosessi alkaa tarkoista mittauksista. Mikropiirien tuotannossa pieninkin lämpötilan vaihtelu voi vaikuttaa lopputuotteen laatuun. Yli kymmenen vuoden kokemuksella varustettuna LIAT on erikoistunut mikropiirien tuotannon jäähdytysratkaisuihin, jotka täyttävät mikropiirien tuotannon äärimmäiset lämpötilan säätövaatimukset. LIAT:n mikropiirien tuotannon jäähdytysratkaisut ovat olennainen osa tuotannon ydinteollisia teknologioita. Tässä artikkelissa tarkastellaan, miksi LIAT:n mikropiirien tuotannon jäähdytysratkaisut ovat teollisuudessa parantamattomia ja miksi ne ovat välttämättömiä mikropiirien tuotannossa.
LIAT:n mikropiirien valmistukseen tarkoitetut jäähdytysratkaisut varmistavat prosessin vakauden tarkan lämpötilan säädön avulla. Edistyneet mikropiirien valmistusteknologiat, kuten 2,5D- ja 5 nm -mikropiirien valmistus, voivat aiheuttaa lämpömuodonmuutoksen valmistuslevyssä, jos jäähdytysratkaisujen lämpötilaa ei säädä huolellisesti. Tämä pitää lämpötilan samana kaikissa syövytys-, pinnoitus- ja litografiaprosesseissa ja poistaa prosessin aikana lämpövärinöistä johtuvat viallisuudet. Tämä vähensi lämpövärinöistä johtuvaa hyötysuhdehäviötä alle 10 %:n. Siksi LIAT:n mikropiirien valmistukseen tarkoitetut jäähdytysratkaisut ovat luotettavia.
Tukee uusinta puolijohdeteknologiaa
Haastavat edistyneet valmistusprosessit, kuten chiplet-integraatio ja 3D-pakkaus, vaativat erikoistuneita lämmönhallintaratkaisuja. LIAT:n suunnittelemat järjestelmät integroituvat saumattomasti puolijohdevalmistuksen edistyneisiin prosesseihin sekä monitasoiseen lämmönhallintaan ja ohjausjärjestelmiin – lämpötila-alueella -100 °C–+200 °C. Järjestelmämme on suunniteltu täydentämään korkean tiukkuuden piirisuunnittelujen monimuotoisia ja yksilöllisiä lämpökuormaprofiileja: ne ottavat vastaan ja hajottavat lämmön samalla kun prosessin eheys ja virtaus säilyvät. TSMC:n 5N-määräysten noudattamisesta fluoroidun jäähdytysnesteen vaihtoon ja korkean hyötysuhteen chiplet-valmistukseen annettavaan tukeen saakka LIAT:n puolijohdealan jäähdytysnesteet ovat luotettavimmat. Näin ollen jäähdytysnesteet ovat välttämättömiä valmistajille, jotka kohdistavat toimintaansa edistyneisiin piiriteknologioihin.
Vähentää toimintakustannuksia
Energiäsäästöt piirien valmistuksessa (sekä LIAT:n puolijohdeteollisuuden vaatimukset täyttävät jäähdytysaineet) ulottuvat ympäristöystävällisyyden lisäksi suunnittelussa. Modulaarisilla järjestelmillä varustetut jäähdytysaineet, jotka on suunniteltu optimoimaan lämmönvaihtoa ja joissa on invertteriteknologia, keskittyvät jatkuvan käyttösuorituksen varmistamiseen samalla kun ne vähentävät sähkönkulutusta. LIAT:n puolijohdeteollisuuden vaatimukset täyttävät jäähdytysaineet muuntavat energiansäästöt käyttökustannusten alenemiksi ja, mikä tärkeämpää, tuottavat kestävyyttä suurten määrien piirien valmistukseen. Kun jäähdytysaineita käytetään kohdennetusti, ne parantavat tehokkuutta, pidentävät käyttöikää ja vähentävät huoltovälejä. Suurten piiriteollisuuslaitosten (piirifabrikoiden) osalta jäähdytysaineet muuntavat käyttötehokkuuden optimoiduiksi vuosittaisiksi kustannuksiksi.
Tarjoaa puhtaan ja turvallisen jäähdytysjärjestelmän
Piirilevyjen valmistuksessa tehtaan on pidettävä kontaminaatiota vapaana. LIAT:n puolijohdealuksen jäähdytysjärjestelmät on valmistettu luokan 100 puhdastilassa, ja ne on suunniteltu kontaminaatiota vapaiksi ympäristöiksi. Negatiivisen paineen vuoksi jäähdytysjärjestelmästä ei pääse tehtaaseen hiukkasia. Koska LIAT:n järjestelmä on suljetun silmukan rakenne, jäähdytysjärjestelmä ei aiheuta kontaminaatiota valmistusprosessiin, mikä suojelee piirisilikoja ja piirejä. LIAT:n puolijohdealuksen jäähdytysjärjestelmät on suunniteltu kontaminaatiota vapaiksi ympäristöiksi, ja niissä käytetään jäähdytysaineita, joiden ozonihävityspotentiaali (ODP) on 0 ja ilmastovaikutuspotentiaali (GWP) alhainen, mikä täyttää Kigalin tarkistuksen vaatimukset. Suunnittelun ansiosta LIAT:n jäähdytysjärjestelmiä voidaan käyttää korkean puhdistustason ympäristöissä piirien tuottamiseen.
Tarjoaa mukautettavia ratkaisuja erilaisiin tarpeisiin
Eri piirit vaativat erilaisia muokkauksia jäähdytysjärjestelmään. LIAT:n puolijohdetasoiset jäähdytysjärjestelmät mahdollistavat kaikki tarvittavat muokkaukset. Heidän R&D-tiiminsä tarjoaa muokkauksia, kuten lämpötilan säätöä, valittavia tiedonsiirtoasetuksia ja nesteen kiertoon mukautettuja liitäntöjä. LIAT:n jäähdytysjärjestelmät puolijohteiden valmistukseen, uusien energiakomponenttien testaukseen sekä tietokeskusten infrastruktuuriin ovat myös erinomaisen sopeutuvia. LIAT voi tarjota juuri sinun prosessiisi sopivan ratkaisun, jotta järjestelmäsi on täydellinen sinun prosessisi vaatimuksien mukainen ja voit muokata sekä parantaa prosessisi tuloksia.
Tuettu ammattimaisella R&D:llä ja globaalilla tuella
LIAT:lla on yksi edistyneimmistä R&D-tiimeistä ja globaalista palveluverkostosta puolijohdeastetta käyttävän jäähdytyksen alalla. Yrityksellä on yli 40 omistautunutta tutkijaa ja teknistä asiantuntijaa, ja se sijoittaa merkittäviä summia uusimman sukupolven jäähdytysteknologiaan. LIAT:n palveluverkosto kattaa seitsemän sijaintipaikkaa Yhdysvalloissa, Australiassa ja Venäjällä. Asiakaspalvelutiimi tarjoaa ajoissa suoritettavaa huoltoa ja teknistä tukea jäähdytysjärjestelmiin. LIAT:n suorittama tuki ja huoltotoimet varmistavat valmistajille keskeytymätöntä toimintaa tuotantolinjoillaan.