Proses pembuatan chip dimulai dengan pengambilan pengukuran yang presisi. Dalam produksi mikrochip, variasi suhu sekecil apa pun dapat memengaruhi kualitas produk akhir. Dengan pengalaman lebih dari satu dekade, LIAT mengkhususkan diri dalam solusi pendinginan untuk produksi mikrochip yang memenuhi kebutuhan pengendalian suhu ekstrem dalam proses produksi mikrochip. Solusi pendinginan LIAT untuk produksi mikrochip tak terpisahkan dari teknologi canggih inti dalam proses produksi. Artikel ini membahas mengapa solusi pendinginan untuk produksi mikrochip dari LIAT tak tertandingi di industri ini serta mengapa solusi tersebut merupakan komponen integral dalam produksi mikrochip.
Solusi pendinginan untuk produksi mikrochip dari LIAT menjamin stabilitas proses melalui pengendalian suhu yang presisi. Teknologi canggih dalam produksi mikrochip, seperti produksi mikrochip 2,5D dan 5 nm, dapat menyebabkan deformasi termal pada wafer produksi apabila suhu solusi pendingin tidak dikendalikan secara cermat. Hal ini mempertahankan suhu yang konsisten sepanjang proses etsa, deposisi, dan litografi serta menghilangkan cacat yang disebabkan oleh goncangan termal selama proses. Akibatnya, kehilangan hasil (yield loss) akibat goncangan termal berkurang hingga kurang dari 10%. Oleh karena itu, solusi pendinginan untuk produksi mikrochip dari LIAT dipercaya.
Mendukung Manufaktur Chip Terkini
Proses manufaktur canggih yang menantang—seperti integrasi chiplet dan pengemasan 3D—memerlukan solusi manajemen termal khusus. Di LIAT, kami merancang sistem kami agar terintegrasi secara mulus dengan proses canggih dalam manufaktur semikonduktor, dilengkapi manajemen termal canggih serta sistem kontrol dalam kisaran suhu −100°C hingga +200°C. Sistem kami dirancang untuk melengkapi profil beban termal yang beragam dan unik pada desain chip berkepadatan tinggi, menyerap serta menghilangkan panas tanpa mengganggu integritas dan aliran proses. Dari sudut pandang kepatuhan terhadap standar TSMC 5N, penghapusan bertahap refrigeran berfluorinasi, serta dukungan terhadap fabrikasi chiplet berhasil tinggi, refrigeran kelas semikonduktor dari LIAT merupakan yang paling andal. Oleh karena itu, refrigeran sangat penting bagi produsen yang menargetkan teknologi chip canggih.
Mengurangi biaya operasional
Penghematan energi dalam manufaktur chip (dan refrigeran kelas semikonduktor LIAT) melampaui keberlanjutan dalam desain. Refrigeran dengan sistem modular yang dirancang untuk mengoptimalkan pertukaran panas serta mengintegrasikan teknologi inverter berfokus pada kinerja operasional yang konsisten sekaligus mengurangi konsumsi daya. Refrigeran kelas semikonduktor LIAT menerjemahkan penghematan energi menjadi penghematan biaya operasional, dan yang lebih penting lagi, keberlanjutan dalam manufaktur chip dalam volume tinggi. Setelah digunakan secara terfokus, refrigeran tersebut meningkatkan efisiensi, memperpanjang masa pakai operasional, serta mengurangi frekuensi pemeliharaan. Bagi fasilitas manufaktur chip skala besar (fabrikasi chip), refrigeran tersebut menerjemahkan efisiensi operasional menjadi optimalisasi pengeluaran tahunan.
Menyediakan Sistem Pendingin yang Bersih dan Aman
Saat memproduksi chip, pabrik harus dijaga bebas dari kontaminan. Sistem pendingin kelas semikonduktor LIAT diproduksi di ruang bersih kelas 100 dan dirancang khusus untuk lingkungan bebas kontaminasi. Berkat tekanan negatif, tidak ada partikel yang lolos dari sistem pendingin ke dalam pabrik. Karena desain sistem sirkulasi tertutup (closed loop) LIAT, tidak akan terjadi kontaminasi dari sistem pendingin ke proses manufaktur, sehingga melindungi wafer dan chip. Sistem pendingin kelas semikonduktor LIAT dirancang untuk lingkungan bebas kontaminasi serta menggunakan refrigeran dengan nilai ODP nol dan GWP rendah, yang sesuai dengan Amandemen Kigali. Berkat desain tersebut, sistem pendingin LIAT dapat digunakan di lingkungan pemurnian tinggi untuk memproduksi chip.
Menyediakan Solusi yang Dapat Disesuaikan untuk Beragam Kebutuhan
Chip yang berbeda memiliki persyaratan modifikasi sistem pendinginan yang berbeda pula. Sistem pendinginan kelas semikonduktor dari LIAT memungkinkan semua modifikasi yang diperlukan. Tim R&D mereka menyediakan modifikasi seperti pengendalian suhu, pengaturan komunikasi yang dapat dipilih, serta port khusus untuk sirkulasi cairan. Sistem pendinginan LIAT untuk manufaktur semikonduktor, pengujian komponen energi baru, dan infrastruktur pusat data juga sangat adaptif. LIAT mampu menyediakan solusi spesifik yang Anda butuhkan guna memastikan bahwa sistem Anda benar-benar sesuai dengan proses Anda, sehingga proses tersebut dapat dimodifikasi dan hasil keluarannya ditingkatkan.
Didukung oleh R&D Profesional dan Dukungan Global
LIAT memiliki salah satu tim R&D dan jaringan layanan global paling canggih di bidang pendinginan kelas semikonduktor. Perusahaan ini memiliki lebih dari 40 peneliti dan spesialis teknis yang berdedikasi serta mengalokasikan dana besar untuk teknologi pendinginan mutakhir. LIAT memiliki jaringan layanan di 7 lokasi di Amerika Serikat, Australia, dan Rusia. Tim dukungan purna-jual menyediakan pemeliharaan dan dukungan teknis yang tepat waktu untuk sistem pendingin. Kegiatan dukungan dan pemeliharaan yang dilakukan LIAT memungkinkan produsen menjalankan lini produksi mereka tanpa gangguan.