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칩 제조 과정은 정밀한 측정에서 시작됩니다. 마이크로칩 생산 과정에서는 가장 미세한 온도 변화조차도 최종 제품의 품질에 영향을 줄 수 있습니다. 10년 이상의 경험을 바탕으로, LIAT는 마이크로칩 생산에 필요한 극한 수준의 온도 조절 요구사항을 충족시키는 냉각 솔루션 분야를 전문으로 합니다. LIAT의 마이크로칩 생산 냉각 솔루션은 생산 공정의 핵심 고급 기술과 불가분의 관계를 맺고 있습니다. 본 기사에서는 LIAT의 마이크로칩 생산 냉각 솔루션이 왜 업계 최고 수준인지, 그리고 왜 마이크로칩 생산에 필수적인지에 대해 살펴봅니다.
LIAT의 마이크로칩 생산 냉각 솔루션은 정밀한 온도 제어를 통해 공정 안정성을 보장합니다. 2.5D 및 5nm 마이크로칩 생산과 같은 첨단 마이크로칩 제조 기술의 경우, 냉각 솔루션의 온도가 세심하게 관리되지 않으면 웨이퍼의 열 변형이 발생할 수 있습니다. 이 솔루션은 식각(Etching), 증착(Deposition), 리소그래피(Lithography) 공정 전반에 걸쳐 동일한 온도를 유지함으로써 공정 중 열 요동(thermal jostles)으로 인해 발생하는 결함을 제거합니다. 이를 통해 열 요동으로 인한 수율 손실을 10% 미만으로 감소시켰습니다. 따라서 LIAT의 마이크로칩 생산 냉각 솔루션은 신뢰받고 있습니다.
첨단 칩 제조 지원
칩릿 통합 및 3D 패키징과 같은 고난도 반도체 제조 공정은 특화된 열 관리 솔루션을 요구합니다. LIAT는 반도체 제조 분야의 첨단 공정에 원활하게 통합될 수 있도록, -100°C에서 +200°C 범위에 걸친 정교한 열 관리 및 제어 시스템을 갖춘 자체 시스템을 설계합니다. 당사 시스템은 고집적 칩 설계의 다양하고 독특한 열 부하 프로파일을 보완하도록 설계되어, 공정 무결성과 유량을 유지하면서 열을 흡수하고 확산시킵니다. TSMC 5N 규격 준수 관점에서부터 불소계 냉매 단계적 퇴출 대응, 그리고 고효율 칩릿 제조 지원에 이르기까지, LIAT의 반도체 등급 냉매는 가장 신뢰할 수 있습니다. 따라서 첨단 칩 기술을 목표로 하는 제조사들에게 냉매는 필수적입니다.
운영 비용을 줄입니다
칩 제조 공정에서의 에너지 절약(및 LIAT의 반도체 등급 냉매)은 설계 단계의 지속가능성 차원을 넘어서는 의미를 갖습니다. 열교환 효율을 최적화하도록 설계된 모듈식 시스템과 인버터 기술을 적용한 냉매는 일관된 운영 성능을 유지하면서 전력 소비를 줄이는 데 중점을 둡니다. LIAT의 반도체 등급 냉매는 에너지 절약 효과를 직접적인 운영 비용 절감으로 전환시킬 뿐 아니라, 대량 생산 환경에서 칩 제조의 지속가능성을 실현하는 데에도 기여합니다. 집중적으로 활용될 경우, 이러한 냉매는 효율성을 높이고, 운영 수명을 연장하며 정비 주기를 단축시킵니다. 대규모 칩 제조 시설(칩 팹)에서는 이 냉매가 운영 효율성을 연간 운영 비용의 최적화로 전환시킵니다.
청결하고 안전한 냉각 시스템을 제공합니다
칩 제조 시 공장은 오염 물질로부터 철저히 차단되어야 합니다. LIAT의 반도체 등급 냉각 시스템은 클래스 100 정화실에서 제조되며, 오염이 없는 환경을 위해 설계되었습니다. 음압 구조로 인해 냉각 시스템 내부의 미세 입자가 공장으로 유출되지 않습니다. LIAT의 폐쇄 루프 시스템 설계 덕분에 냉각 시스템으로부터 제조 공정으로의 오염이 발생하지 않아 웨이퍼 및 칩을 보호합니다. LIAT의 반도체 등급 냉각 시스템은 오염이 없는 환경을 위해 설계되었으며, 오존 파괴 계수(ODP)가 0이고 지구온난화지수(GWP)가 낮은 냉매를 사용하여 키갈리 수정안(Kigali Amendment)을 준수합니다. 이러한 설계 덕분에 LIAT의 냉각 시스템은 고순도 정화 환경에서 칩 생산에 사용될 수 있습니다.
다양한 요구 사항에 맞춘 맞춤형 솔루션을 제공합니다
다양한 칩은 냉각 시스템에 대해 서로 다른 요구 사항과 개조 사양을 필요로 합니다. LIAT의 반도체 등급 냉각 시스템은 이러한 모든 필요한 개조를 가능하게 합니다. LIAT의 R&D 팀은 온도 제어, 선택 가능한 통신 설정, 액체 순환을 위한 맞춤형 포트 등 다양한 개조 서비스를 제공합니다. 또한 LIAT의 반도체 제조용 냉각 시스템, 신에너지 부품 테스트용 냉각 시스템, 그리고 데이터센터 인프라용 냉각 시스템은 매우 유연하게 적용 가능합니다. LIAT는 귀사 공정에 완벽하게 적합한 시스템을 보장하기 위해, 공정의 출력을 개선하고 최적화할 수 있는 구체적인 솔루션을 제공할 수 있습니다.
전문 R&D 역량 및 글로벌 지원 기반
LIAT는 반도체 등급 냉각 분야에서 가장 첨단 수준의 R&D 팀과 글로벌 서비스 네트워크를 보유하고 있습니다. 이 회사는 전담 연구원 및 기술 전문가 40명 이상을 고용하고 있으며, 최첨단 냉각 기술 개발에 막대한 자금을 투입하고 있습니다. LIAT는 미국, 호주, 러시아 등 7개 지역에 걸쳐 서비스 네트워크를 운영하고 있습니다. 애프터세일즈 지원 팀은 냉각 시스템에 대한 신속한 정비 및 기술 지원을 제공합니다. LIAT가 수행하는 이러한 지원 및 정비 활동은 제조업체의 생산 라인 가동을 중단 없이 지속적으로 유지할 수 있도록 합니다.