EN
チップの製造プロセスは、正確な計測から始まります。マイクロチップの生産においては、わずかな温度変化であっても最終製品の品質に影響を及ぼす可能性があります。LIAT社は、マイクロチップ生産における極めて厳しい温度制御要件に対応する冷却ソリューションの分野で、10年以上にわたる実績と専門知識を有しています。LIAT社のマイクロチップ生産用冷却ソリューションは、生産工程の核となる先進技術と密接不可分です。本稿では、LIAT社が提供するマイクロチップ生産用冷却ソリューションが業界随一である理由、およびそれがなぜマイクロチップ生産において不可欠であるのかについて考察します。
LIAT社のマイクロチップ製造用冷却ソリューションは、精密な温度制御を通じてプロセスの安定性を確保します。2.5Dや5nmといった最先端のマイクロチップ製造技術では、冷却ソリューションの温度が厳密に管理されない場合、製造用ウェーハの熱変形が生じる可能性があります。本ソリューションにより、エッチング、堆積、リソグラフィーなどの各工程において温度を一定に保つことが可能となり、工程中の熱的揺動（サーマル・ジョストル）によって引き起こされる欠陥を排除します。その結果、熱的揺動による歩留まりロスを10％未満まで低減しました。そのため、LIAT社のマイクロチップ製造用冷却ソリューションは、業界から高い信頼を得ています。
最先端チップ製造をサポート
チップレット統合や3Dパッケージングといった先進製造プロセスは、高度な熱管理ソリューションを必要とします。LIATでは、半導体製造における先進プロセスにシームレスに統合可能なシステムを設計しており、-100°C～+200°Cの広範囲にわたる精密な熱管理および制御機能を備えています。当社のシステムは、高集積度チップ設計に固有の多様で複雑な熱負荷プロファイルに対応するよう設計されており、プロセスの整合性および流動性を維持しつつ、熱を吸収・放散します。TSMC 5N準拠からフロン系冷媒の段階的削減への対応、さらには高収率チップレット製造の支援に至るまで、LIATの半導体グレード冷媒は最も信頼性の高い選択肢です。したがって、最先端チップ技術を追求するメーカーにとって、冷媒は不可欠な要素です。
運用コストを削減します
チップ製造における省エネルギー（およびLIATの半導体グレード冷媒）は、設計段階での持続可能性を越えて広がります。熱交換を最適化するようモジュラー構成で設計され、インバータ技術を採用した冷媒は、安定した運用性能を維持しつつ電力消費を低減することに重点を置いています。LIATの半導体グレード冷媒は、省エネルギー効果を運用コスト削減へと直接変換し、さらに重要なことに、大量生産におけるチップ製造の持続可能性を実現します。特定の用途で集中して使用された場合、これらの冷媒は効率性をもたらし、運用寿命の延長および保守サイクルの短縮を実現します。大規模なチップ製造施設（ファブ）においては、これらの冷媒が運用効率を年間費用の最適化へと変換します。
清潔で安全な冷凍・冷蔵システムを提供します
チップ製造工程において、工場内を汚染物質から常に清潔に保つ必要があります。LIAT社の半導体グレード冷凍システムはクラス100のクリーンルームで製造されており、不純物の混入がない環境向けに設計されています。負圧構造により、冷凍システムから工場内へ微粒子が漏出することはありません。また、LIAT社の閉ループ式システム設計により、冷凍システムから製造プロセスへの汚染が一切発生せず、ウエハーおよびチップを確実に保護します。LIAT社の半導体グレード冷凍システムは、不純物の混入がない環境向けに設計されており、オゾン破壊係数（ODP）が0かつ地球温暖化係数（GWP）が低い冷媒を採用しており、キガリ修正議定書の要件を満たしています。この設計により、LIAT社の冷凍システムは高純度精製環境においてもチップ製造に使用可能です。
多様なニーズに対応したカスタマイズ可能なソリューションを提供
異なるチップには、冷却システムに対する要件や改修が異なります。LIAT社の半導体グレード冷却装置は、こうした必要なすべての改修を実現可能です。同社のR&Dチームでは、温度制御、選択可能な通信設定、液体循環用のカスタマイズポートなど、多様な改修を提供しています。LIAT社の半導体製造向け、新エネルギー部品の試験向け、およびデータセンター基盤インフラ向け冷却システムも、非常に高い適応性を備えています。LIAT社は、お客様のプロセスに最適なシステムを実現し、プロセスの出力を改修・向上させるために、必要となる特定のソリューションを提供できます。
専門的なR&Dとグローバルサポートを背景に
LIAT社は、半導体グレードの冷却技術分野において、世界でも最も先進的なR&Dチームおよびグローバルサービスネットワークの一つを有しています。同社には、専任の研究者および技術専門家が40名以上在籍しており、最先端の冷却技術開発に多額の投資を行っています。LIAT社のサービスネットワークは、米国、オーストラリア、ロシアの7か所に展開されています。アフターサービス支援チームは、冷却システムに対して迅速な保守および技術サポートを提供します。LIAT社が実施するこれらの支援および保守活動により、メーカー各社は生産ラインを中断することなく継続的に稼働させることができます。