急速に変化する半導体業界においてトップを維持するには、企業が効率を向上させ、品質を維持する方法を見つける必要があります。OEMチラーは、製造時に必要とされるチップの冷却を適切な温度で行うためのものです。10年以上の経験を持つLIATは、OEM向け半導体チラーに特化したサプライヤーです。オーストラリア、ロシア、アメリカ合衆国に顧客を持つLIATのチラーは、デバイスの温度管理を支援し、顧客が市場で求められる半導体デバイスを安定して供給できるようにしています。この記事では、半導体OEMチラーのメリットとLIATの特徴的な提供内容について説明します。
半導体が構成された後、2.5D/3Dアセンブリ内にパッケージ化し、5nm以下のチップを搭載するプロセスは、システム内の温度制御が安定していなければならないため、非常に繊細な工程です。LIATのOEMチャillerは、温度を±0.1°Cの範囲内で制御します。このレベルの安定性は必須です。制御にわずかな不規則性があっても、歩留まりに大きな損失が生じます。これは5nmノードデバイスが高利益率であることを考えると特に重要です。温度制御による影響要因を排除することで、OEMチャillerは複数の装置にわたり一貫した製造温度を確保し、生産の一様性を高め、損失を低減します。エッチング、パッケージング、テストのすべての工程において、高品質な出力が得られます。このような制御レベルは、製造施設における業界標準です。
LIATは、半導体製造の持続可能で環境に配慮した運用に対して現代的なソリューションを特定し実施することで、企業のステークホルダーを支援することを一般的な目的としています。LIATの半導体OEM用チラーは、GWP=1かつODPがゼロのCO2チラーを採用しています。これにより、キガリ改正などの国際法規に準拠しており、将来の炭素税負担を相殺できる可能性がある環境に優しい設計となっています。本装置は、OEM向け半導体チラーの製造に関わる国際法および条約に適合するように設計されています。LIATの半導体OEM用チラーは、カーボンニュートラル達成を目指すファブの製造ニーズに対応するためにバランスよく設計されています。高GWP冷媒の使用を回避することは、顧客にとって前向きな経済的選択であることを、LIATの半導体OEM用チラーは示しています。
半導体エコシステムで使用されるチラーには、設計および性能において大きな違いがあり、LIATの半導体OEM用チラーの設計およびレイアウトも例外ではありません。LIATは、通信、接続、および出口循環設計を含む高度でカスタマイズ可能なソリューションを提供することで、個々の顧客の特定ニーズに対応できます。デュアルサーキット設計のモデルは最適な設置面積を実現しており、1つのOEMユニットを同一装置上の複数の半導体チラーと統合することが可能となり、最小限の設置面積で強化された運用機能を提供します。LIATの半導体OEM用チラーは、半導体製造装置またはテスト装置のいずれにおいても、複数の空間的および性能的構成に適応可能です。この装置の運用柔軟性は、生産の停止を回避し、生産における継続的な運転機能をサポートすることに重点が置かれています。
半導体の製造においては、生産設備が常に継続的に稼働する必要があり、そのような設備は信頼性が極めて重要です。LIATの半導体用OEMチラーは、すべて金属製のパネルやPLC制御システムなど、最高品質の部品を採用しており、優れた安定性と電磁干渉(EM)に対する卓越した耐性を提供します。半導体製造環境に不可欠な高い製品純度を実現するために、汚染制御された作業場およびクラス100のクリーンルームでの生産環境に対応しています。長時間にわたる連続運転時でさえ、あらかじめ定義された緩和アルゴリズムと細密な制御精度調整機能により、信頼性の高い制御を維持します。LIATの研究および技術スタッフは40名以上おり、設計の継続的な更新を通じて、運用上の故障リスクを低減することを目指しています。
半導体製造におけるコストの主な発生源はエネルギーです。LIATは、デュアルチャンネルチラーに搭載された完全に設定可能な省電力モードにより、この課題に対応しています。デュアルチャンネルチラーは変数を使用してシステムを自動化し、これによりシステム制御が強化され、過冷却の回避やより適切に制御された温度変動の維持を通じて、最終的にエネルギー消費量を削減します。ただし、強化されたエネルギー消費制御は、製品の歩留まりロスを増加させることなく機能します。ファブでのLIAT半導体OEMチラーの使用により、熱関連の歩留まりロスが37%削減されており、これは生産性の向上に直接つながっています。全国規模のサービスおよびサポートネットワーク
半導体OEM用チラーを選定する際、生産の継続的運転を確保するためには、強力なアフターサービスが不可欠です。LIATは北京、上海、深センを含む7つのサービスセンターからなる全国的なサービスネットワークを運営しており、複数の国にわたるお客様をサポートしています。同社はメンテナンスサービスおよび予備部品を提供し、問題を迅速かつ効率的に解決できます。LIATは半導体ファブおよび自動車設備分野の大手企業と長期にわたり協力関係を築いており、これは同社がアフターサービスへの取り組みを重視していることを示しています。研究開発サービスに加え、専門的なオンサイトサポートを組み合わせることで、LIATの半導体OEM用チラーは重要な半導体製造プロセスにおいて安全な選択肢となっています。
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