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超純水加熱器
温度安定性 : ±0.1℃
温度範囲 : -20˚C～+80˚C
加熱電力 ：48KW-192KW
超純水（UPW）加熱モジュール 半導体製造プロセスの重要な工程において、高精度の温度管理を実現するように設計されたこの加熱システムは、非接触加熱を実現する高純度石英封入ハロゲンランプを採用しており、金属汚染がまったく発生しません。
- 概要
- おすすめ製品
適用範囲
半導体製造の ：シリコンウエハーや化合物材料の洗浄
リチウム電池および太陽光発電産業 ：生産ライン洗浄システム
ディスプレイパネル産業 ：LCDガラス基板の洗浄
環境に優しい代替品 ：フロン系洗浄を超純水ソリューションに置き換え
主な特徴
プレミアム素材の構造
高純度石英加熱要素
フッ素樹脂配管システム
非接触式ハロゲンランプ加熱技術
スペース最適化デザイン
超スリムプロファイルで設置面積を最小限に抑える
知的温度制御
高出力ハロゲンランプにより急速加熱を実現
リアルタイムでの流量変動に基づいた自動温度調整
性能と安全性
加熱効率 ≥95.8%
以下に関する包括的な安全対策とアラーム機能:
流量異常
過温度状態
ドライファイア保護
漏れ検出
センサー故障
ヒーターサーキット異常
| モデル | SWH-48 | SWH-72L | SWH-96L | SWH-144L | SWH-192L | |
| 加熱方法 | 赤外線放射加熱方式を採用 | |||||
| パフォーマンス | 電力 | 48キロワット | 72kw | 96kw | 144kW | 192kW |
| 標準流量（△T55℃） | 12LPM | 18LPM | 24LPM | 36LPM | 48LPM | |
| 最小暖房流量 | 4-6LPM | 8-12LPM | ||||
| 設定温度範囲 | 20-100℃ | |||||
| 温度制御の精度 | ±1℃（条件によって異なります） | |||||
| 流量表示範囲 | 0-60LPM | |||||
| 構成 | ヒーター | ハロゲンランプ管、液体に接触しない間接加熱方式 | ||||
| ヒータ材質 | 高純度透明石英 | |||||
| 液体に接触する部分および配管材質 | 高純度透明石英および高純度PFAチューブ | |||||
| セキュリティ応答機能 | 異常流量、高温、乾焼、漏電、センサー切断、ハロゲンフィラメント溶融など | |||||
| 外部通信機能 | RS-232C、RS-485、Modbus TCP/IP | |||||
| 外部入出力機能 | 8入力、14出力信号 | |||||
| その他 | 外形寸法(mm) | 450W*900D *1625H | 450W*1000D *1725H | 700W*1000D *1725H | 700W*1000D *1850H | 800W*1000D *2000H |
| 電源 | AC 380V 50/60Hz 三相五線 | |||||
