半導体用温度安定化チラーはどのようにして精度を維持するのでしょうか？

半導体製造における製品歩留まりの精度は製造プロセス中の温度変化に大きく依存するため、安定した温度を維持するためのチャillerが必要とされます。12年以上の経験と熱管理分野における専門性により、LIATは半導体用熱管理分野でトップクラスの企業となり、業界をリードする半導体温度安定化チャillerを設計・開発してきました。主要な半導体メーカーの一つとして、LIATが提供する半導体温度安定化チャillerは、業界最高水準の温度安定性を実現しています。これにより、LIATの半導体温度安定化チャillerがなぜすべてにおいて同じレベルの精度と一貫性を実現できるのかという問いに答えています。本ブログでは、高精度な温度安定性を実現する半導体用チャillerに備わった、厳格なテスト体制やコアテクノロジーを含む基盤技術と設計について解説します。

温度制御およびセンサーシステムにおいて

LIATは、温度センサーおよび制御システムを用いて所望の効果を達成する半導体用温度安定化チラーを開発しました。このチラーには高度なセンサーが搭載されており、±0.1?以内の温度差を検出し、リアルタイムでの調整が可能です。統合されたPLC制御システムにより、冷却出力に変化が生じた場合でも即座に補正を行うことができます。このシステムにより、5nmノードチップや先進的な2.5D／3Dパッケージチップを稼働中であっても、許容範囲内での正確な温度維持が可能になります。精密なエンジニアリングが重視されており、個々の構成部品が互いに連携して動作し、カスタムの制御とシステム出力を維持するように設計されています。

業界最高クラスの熱交換性能。

LIATのチャillerは、部品の熱交換効率に依存しています。耐腐食性の高品質部品を用い、均一な放熱を実現することで、エネルギー損失を最小限に抑え、高い運転効率を維持するように設計されています。8kW容量のデュアルチャンネル熱交換器により、半導体製造プロセス中の温度制御に必要な新しい運転レベルへ迅速に切り替えることが可能な、半導体温度安定化チャillerを実現しています。他の熱管理システムでは、半導体製造中に発生する熱を同様の正確さで除去し続けることはできません。

厳格なキャリブレーションおよび試験手順

クーラーは、長期にわたり温度安定性チャillerの精度を維持する必要があります。すべてのチャillerは、簡易的な調整時および広範な試験時に、クリーンルームクラス内で制御精度や冷却速度を測定するために、組み合わせてテストされます。校正済み温度安定性チャillerを出荷する際、LIATは国際規格に準拠して校正を行います。LIATは冷却運転後も長期間にわたり定期的な校正を実施し、チャillerの精度を維持しています。

エネルギー回収および安定性の総合運用設計

エネルギー効率、安定性、および精度は、温度安定型半導体用チラーの特徴です。LIATのチラーは省エネインバーター技術を採用しており、性能を損なうことなくエネルギー消費を削減します。完全金属製のハウジングは強度とEMI耐性を高め、外部からの温度制御への干渉を防ぎます。正確な温度制御範囲は-100～+200°Cであり、エッチングや堆積などの半導体製造に必要なさまざまなプロセスに対応できます。LIATは精度を重視し、定常状態での運転に注力しているため、長時間運転しても精度がずれることなく動作します。

半導体製造プロセスとの互換性  

LIATの温度安定型半導体用チラーは、半導体製造プロセス内の個々の工程に接続し、その精度を高めるように設計されています。これらのチラーは、チップレットや3Dパッケージングといった先進的な製造工程にも対応しており、最先端の半導体製造における熱管理を実現します。また、半導体ファブで一般的に使用されるフッ素系液体および超純水システムとも互換性があり、既存のファブ設備との統合を保証します。LIATは、温度安定型半導体用チラーに独自の通信インターフェースおよび液体循環ポートを設計することで、特定の生産ラインにこれらの装置を適応させ、製造プロセス内の特定工程におけるさらなる高精度化を可能としています。

専門的なR&Dサポートとグローバルサービスネットワーク。LIATが正確な計測を提供するという約束は、同社の専門的な研究開発チームおよびサービスネットワークの従業員によって実現されています。40名の専任スタッフを擁し、同社は常に半導体用温度安定性チャンバーの精度向上に取り組んでいます。全国7か所に点在するサービス拠点により、チャンバーに関するあらゆる技術サポートやメンテナンスを迅速かつ効率的に提供しています。業界内のパートナーシップや展示会への積極的な参加を通じて、同社は温度安定性チャンバー業界において最高の精度を誇るリーディングカンパニーとなっています。

要約すると、LIATは優れた設計により正確性が高い半導体用温度安定化チラーを開発しました。センシングおよび制御システム、熱伝達を管理する部品、システムの較正精度、省エネルギー性を実現し他のシステムとも統合可能な設計、そして専門的なサポート体制に至るまで、その性能は高い水準にあります。温度制御の安定性とより高精度な温度管理の要求に対して、半導体製造におけるプロセスの性能と歩留まりの向上が可能になります。温度制御の安定性を求める半導体メーカーにとって、LIATはその正確性を証明済みであり、高要求性能分野において業界トップの存在です。