加熱ジャケットシステム

技術的説明:

ヒーティングジャケットの適用 :

1. ガス供給ライン

危険プロセスガス :
三塩化ホウ素 (BCl₃)、三フッ化塩素 (ClF₃)、テトラエチルオルトシリケート (TEOS)
ジクロロシラン (DCS/SiH₂Cl₂)、六フッ化タングステン (WF₆)
プロセスバリデーション : 露点制御と凝縮防止のためのガス管の加熱

2. CVDプロセス

低圧化学気相堆積 (LPCVD)
プラズマ増強CVD (PECVD)
機能：前駆体蒸気温度の安定化（±1℃）

3. メタルエッチング

プラズマエッチングシステム :
アルミニウムエッチング（Cl₂/BCl₃ ケミストリ）
タングステンエッチング（SF₆/WF₆ 混合ガス）
機能：ガス反応性の一貫性を維持

暖房ジャケットの利点:

利点のカテゴリ	技術的特徴
精度制御	pIDコントローラーによる±0.5℃の安定性（ISO 15805 認定）
安全保証	ダブルセーフティインタロック： • KSD30 サーモスタット • サーマルヒューズ（IEC 60691 適合）
エコ断熱	PFAS不使用断熱層： • 熱損失 <5% (ISO 8301) • ステンレススチール製スリムエンクロージャー
スマートモニタリング	リアルタイム電流監視： • ゾーン別電流値 → HMI/SCADA • MODBUS-TCP データ記録

PID温度制御装置

ヒーティングジャケットシステムは、高精度の温度調節を行うためのPID温度コントローラーを採用しており、各コントローラーは専用のRS485バスセグメント上で動作し、ユニークなネットワークアドレスを備えています。これらのPIDユニットは、スタンドアロンの制御モジュールとしてだけでなく、分散型ネットワーク構成内の統合ノードとしても機能します。RS485インターフェースを介してModbus RTUプロトコルを使用し、すべてのコントローラーが中央HMI制御キャビネットと双方向通信を行い、中央のPLCを必要とすることなく、同期されたマルチゾーン温度管理およびリアルタイムでのデータ集約を実現しています。

Hmi コントロール パネル

真空またはガス配管にブランケットヒータージャケットおよびPID温度コントローラを設置する場合、その配置が比較的分散的であるため、すべてのヒータージャケットのリアルタイム温度および運転状態を同時に効果的に監視することが不可能になります。すべてのヒータージャケットの状態をリアルタイムで監視可能にするために、すべてのヒータージャケットを統一されたプラットフォームに統合し、集中制御および通信管理を実現するHMI制御パネルを導入しました。

集中監視システム

監視画面、リアルタイムアラーム表示、過去のアラームログ、イベント履歴記録、トレンド分析チャート、および報告書フォームを含むすべてのインターフェースは、SCADAプラットフォーム（InTouchやiFixなど）を使用してホストシステム上で構成可能であり、ヒータージャケットシステムの包括的な監視が可能です。