CO2チラー
温度安定性 : ±0.1℃
温度範囲 : -20˚C～+80˚C
冷却能力 : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
コンパクトな圧縮機式冷却装置を通じて高精度の熱管理を提供 :
半導体ウエハ製造およびテスト
新エネルギー電池/e-drive検証
精密機器冷却
試験専用空気冷却装置
- 概要
- おすすめ製品
- 産業用熱管理分野における15年以上の実績
- 厳格な工場品質検査
- 世界規模の技術サポート
01LIAT CO₂チラーを選ぶ理由
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環境に優しい 天然CO₂冷媒 グローバル・ウォーミング・ポテンシャル（GWP）が低く、オゾン破壊係数（ODP）がゼロ |
高精度 ±0.1℃の温度安定性により信頼性の高い性能を実現 |
安全で信頼できる 高圧設計で多重安全保護機能を備える |
コンパクトデザイン 省スペース設計で設置が容易、設置面積を節約 | 設定可能 幅広いモデル展開およびOEM／ODM対応ソリューション |
世界的な支援
24時間365日対応の技術サポートと迅速なサービス対応 |
02 強力なパフォーマンス
業績のハイライト |
業績のハイライト |
パフォーマンスカーブ | 重要な利点 |
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• 環境にやさしい冷凍技術 • 超高温精度 • 高エネルギー効率 • クラス100クリーンルーム対応 • 安定した連続運転 • インテリジェントな遠隔監視 • コンパクトな産業用デザイン • 簡単なメンテナンス |
• 環境にやさしい冷凍技術 |
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構造設計 |
外形寸法（単位：mm） |
コアコンポーネント |
冷却システム |
動作原理 |
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• コンパクトな産業用キャビネット |
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超臨界CO₂冷凍サイクルは、天然冷媒R744を用いて高い冷却効率を実現するとともに、温室効果ガス排出量を最小限に抑え、長期的な規制対応を確保します。
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① コンプレッサがCO₂冷媒を圧縮します。 |
03性能概要
高度な超臨界CO₂冷凍システムは、優れた冷却効率を実現するとともに、環境負荷を大幅に低減します。
智能型PID制御と組み合わせることで、システムは卓越した温度安定性を維持し、半導体製造、研究室での分析・試験、その他の高精度製造環境において一貫した性能を発揮します。
04用途
 半導体ウエハー製造 |
 フォトリソグラフィーシステム |
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エッチング装置 
原子層堆積（ALD） 
バッテリーのテスト 
精密電子機器 
実験室機器
05技術仕様
構造設計 |
コアコンポーネント |
冷却システム |
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• コンパクトな産業用キャビネット • クリーンルーム対応構造 • モジュール式設計 • 保守が容易 • 最適化された空気流管理 |
• 密閉型インバータ式コンプレッサー • ステンレス鋼製コンデンサ • タイタニウム製プレート式熱交換器 • 電子式膨張弁 • 磁気駆動ポンプ • PLC搭載インテリジェントコントローラー |
超臨界CO₂冷凍サイクルは、天然冷媒R744を用いて高い冷却効率を実現するとともに、温室効果ガス排出量を最小限に抑え、長期的な規制対応を確保します。 |
06動作原理
① コンプレッサがCO₂冷媒を圧縮します。
② ガスクーラーを通じて熱が放出されます。
③ 膨張弁が冷媒の流量を精密に制御します。
④ 蒸発器がプロセス熱を吸収します。
⑤ 智能型PID制御により、プロセス温度が継続的に安定して維持されます。
07仕様
| モデル | GVS010-W-32F | GVD010-W-32F | |||
| チャネル | 1 | 2 | |||
| 温度範囲 | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ | ||
| 液体で | フッ素系流体 | ||||
| タンク容量 | 20リットル | 20リットル | 20リットル | ||
| 温度安定性（アイドリング時） | ± 0.1 ℃ | ||||
| 温度管理 | PID制御 | ||||
| コンプレッサー | タイプ | インバーターコンプレッサ | |||
| 電力 | 3 kw | 3 kw | 3 kw | ||
| 冷媒 | CO₂（R744） | ||||
| 交換器 |
冷却 能力 |
-10℃で4kW／+20℃で10kW | -10℃で4kW | +20℃で10kW（チャネルあたり） | |
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PCW 要件 |
15～25℃、0.3～0.4MPa条件下で15L／分 | 15LPM（15～25℃、0.3～0.4MPa、チャネルあたり） | |||
| タイプ | プレート式熱交換機 | プレート式熱交換機 | |||
| ヒーターのパワー | 3KW | 3 kw | 3 kw | ||
| ポンプ | タイプ | 磁気駆動ポンプ（インバータ制御） | 磁気駆動ポンプ（インバータ制御） | ||
| 電力 | 1.5キロワット | 1.5キロワット | 1.5キロワット | ||
| 能力 | 0.7MPaで20LPM | 0.7MPaで20LPM（チャネルあたり） | |||
| 認証 | SEMI S2、S8、CE | SEMI S2、S8、CE | |||
| コミュニケーション | RS485／EtherCAT | ||||
| 定位電源 | 7.7kw | 15.4kW | |||
| 定格電流 | 20.2A | 40.4A | |||
| 稼働電流 | 11.7A※流体温度＋20℃で測定、ヒーター出力約15％ | 23.6A※流体温度＋20℃で測定、ヒーター出力約15％ | |||
| 断片器 | 32A | 63a | |||
| 寸法 | 380W×900D×1250H（mm） | 600W×900D×1300H（mm） | |||
| 電源 | 3相、208～220V、50／60Hz | ||||
08 LIATを選択する理由
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09よく 聞かれる 質問
CO₂チラーとは？ ₂ チラー？
A co 2 について チラーは、天然冷媒R744（CO₂）を用いた冷凍システムであり、環境に配慮し、省エネルギーかつ高精度な産業用冷却を提供します。 2 について 環境にやさしく、省エネルギーで、高精度な産業用冷却を提供するため。
なぜCO₂冷媒を選ぶべきか？
CO₂のGWPはわずか1、ODPはゼロであり、優れた熱伝達性能を備えており、世界中でますます厳格化している環境規制に適合しています。
CO₂チラーはどのような産業で使用されていますか？
半導体製造、バッテリー試験、研究室、医療機器、精密電子機器、光学機器製造、科学研究など。
LIAT社ではシステムのカスタマイズは可能ですか？
はい。冷却能力、運転温度、コントローラー、通信プロトコル、冷媒回路、機械構造のすべてをカスタマイズできます。
このシステムはクリーンルーム用途に適していますか？
はい。完全密閉型の冷凍設計により、半導体製造用クリーンルームなどの汚染に極めて敏感な環境でもご使用いただけます。
見積もりの依頼方法を教えてください。
ご要望の冷却能力、運転温度、用途詳細、設置条件をお知らせください。当社エンジニアが24時間以内に最も適したソリューションをご提案いたします。
