CO2チラー

技術的説明:

リンヘン CO₂ 超純水チャイラ
活用 自然冷媒（GWP=1、ODP=0） を提供する ±0.1℃ 精密温度制御 高度な半導体プロセスに適しています。可能にします -40℃～+100℃ 広範囲運転 超臨界サイクル技術により、ミッションクリティカルアプリケーションと互換性があります：

フォトリソグラフィ

エッチング

原子層堆積（ALD）
完全密閉流路 クラス100のクリーンルーム基準を満たし、 フッ素ガスフリー設計 炭素税負担を軽減しながら、プロセスの卓越性とESGコンプライアンスを同時に実現。

主な利点：

環境持続可能性

GWP=1 - グローバル気候目標に完全整合し、炭素税負担を軽減

天然冷媒 - フッ素化ガスの回収・廃棄の要件を解消

オゾン層破壊係数ゼロ - 国際規格（例：キガリ改正）への準拠

技術的優位性:

±0.1℃ 精度制御 - 高度なノードを実現（TSMC 5nm フッ化物冷媒段階的削減規制への適合）

汚染フリー動作 - CO₂残留量 <1ppb、Class 1000 クリーンルーム認証済み

cOPが30%向上 - トランスクリティカルサイクルインバータ技術（LIAT 1.0 ベースラインとの比較で検証済み）

安全性の性能：

- 無毒・不燃性 - フッ化物冷媒の漏洩リスクを排除

ファブリスク低減 - 環境ハザード指数が68％低減（SEMI S10準拠）

コアコンポーネントおよび動作:

冷凍原理：

1. 圧縮 → 冷媒加圧
2. 凝縮 → 放熱および液化
3. EEV サーモスタット制御 → 低圧霧生成
4. 蒸発 → 装置からの高精度熱吸収
5. インバータ流量制御 → ±0℃を維持 1℃ 安定性