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シングルレギュレーションチラー
温度安定性 : ±0.1℃
温度範囲 : +5℃ ～ +40℃
冷却能力 : 2kW@20℃ / 3.5kW@20℃ / 9kW@20℃
半導体用フォトレジスト処理およびエッチング装置向けに設計され、印刷、レーザー、医療、およびラボテスト用途にも拡張互換性があります。コンパクトな圧縮機式冷却装置による高精度の熱管理を実現。
- 概要
- おすすめ製品
技術的説明:
半導体反応装置における精密な温度制御のための
閉回路循環システム。熱交換器、循環ポンプ、
コンプレッサー、インテリジェント制御を組み合わせた
システムです。
システムに 予測・適応制御
テクノロジー pIDアルゴリズムに重ねた
他に類を見ないプロセス安定性。
主な利点 :
PCWフリーコンパクト設計 ：プロセス冷却水の依存度を解消する小型設計（30％省スペース）
動的応答 ：エネルギー最適化制御により温度安定化が40％高速化
カスタムインターフェース ：通信（RS485/Modbus）および流体ポートを構成可能
工業用ロブスタネス ：フルメタルエンクロージャー、消費エネルギーを25％削減
EMI耐性制御 ：IEC 61000準拠の妨害耐性を備えたPLC
️ 空冷のシンプルさ ：5分以内でプラグアンドプレイのセットアップ
コアコンポーネントおよび動作:
構成部品 |
テクノロジー |
コンプレッサー |
液体スラグ保護機能付き密閉型インバータコンプレッサー（±0.5℃制御） |
コンデンサ |
ステンレス鋼、熱損失5％未満 |
蒸発器 |
チタンプレート式、効率が35％向上、騒音≤55dB |
ヒーター |
浸漬直接加熱、±0.3℃均一性 |
膨張弁 |
電子弁付き過熱制御±1℃ |
ポンプ |
マグドライブポンプ（フッ素系流体対応）、流量変動<2% |
冷凍原理：
1. 圧縮 → 冷媒加圧
2. 凝縮 → 放熱および液化
3. EEV サーモスタット制御 → 低圧霧生成
4. 蒸発 → 装置からの高精度熱吸収
5. インバータ流量制御 → ±0℃を維持 1℃ 安定性
| LRS 製品パラメータ | |||||
| 製品 | チラー | ||||
| モデル | LRS-018 | LRS-030 | LRS-090 | ||
| 冷凍能力(W)@20℃ | 3KW@20℃ | 3.5KW@20℃ | 9kW@20℃ | ||
| 電力 | 1150W | 4300W | 6900W | ||
| 電源 | 1相220V50Hz | 3相220V50Hz | |||
| インターネット通信量 | 15LPM | 20LPM | 40LPM | ||
| 精度 | ±0.1℃ | ||||
| 冷媒 | R410a | R410a | R410a | ||
| 保護機能 | モーターオーバーロード、過温度、漏電、過圧、低圧、作動液不足、排気過熱などの保護機能 | ||||
| 循環流体の温度範囲 | +5℃~+40℃ | +5℃~+80℃ | +5℃~+40℃ | ||
| 温度範囲 | 5~35℃ | ||||
| 貯蔵タンク容量 | 5L | 10L | 15L | ||
| 外部循環系サイズインターフェース | Rc1/2" | Rc1/2" | RC1” | ||
| サイズ(mm) | 380W X 500D X 655H | 400W X 675D X 800H | 400W X 1000D X 1200H | ||
| 本体重量 | 60キログラム | 70kg | 80kg | ||
