Contrôle précis de la température pour une stabilité dynamique des procédés semi-conducteurs, avec une stabilité de ±0,02 °C lors du traitement de nœuds avancés < 5 nm. Afin d'éviter l'apparition de défauts à l'échelle nanométrique, le traitement avancé des semi-conducteurs inférieur à 5 nm exige une régulation thermique…
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Contrôle précis de la température : élimination des micro-défauts en lithographie et en gravure. Pourquoi une stabilité de ±0,1 °C est indispensable pour la lithographie sub-7 nm et la gravure à grand rapport hauteur/largeur. Aux nœuds de procédé sub-7 nm, les variations thermiques supérieures à &p...
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Pourquoi la stabilité thermique est-elle essentielle à la précision des tests et au rendement ? Comment des variations thermiques inférieures à un degré provoquent-elles des échecs erronés et une dérive des mesures. Au cours d’un seul cycle de test d’une plaquette de semi-conducteur, des variations thermiques inférieures à 1 degré entraîneront des problèmes importants. ...
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L’instabilité thermique entraîne directement une perte de rendement aux nœuds inférieurs à 5 nm. Perte de rendement empirique : dérive de ±0,3 °C → augmentation de 12 à 18 % des défauts lors de la lithographie à rayons ultraviolets extrêmes (EUV)…
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Les innovations les plus récentes en matière d'empilement vertical de circuits intégrés 3D ont engendré des défis thermiques sévères dans les circuits intégrés 3D. Les méthodes traditionnelles de refroidissement par air ou par liquide sont insuffisantes. Le refroidissement microfluidique dans...
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Fonction principale : Comment les refroidisseurs à canal unique réduisent-ils les pertes thermiques coûteuses et le gaspillage énergétique. Réduction de la crosstalk thermique grâce à des trajets d’écoulement entièrement contrôlés. Contrairement aux systèmes traditionnels, les refroidisseurs à canal unique fournissent à chaque processus de refroidissement un u...
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Principaux facteurs de la réfrigération de qualité semi-conducteur : Contrôle thermique dans la fabrication des semi-conducteurs lors de la photolithographie et de la gravure. Lors des procédés de photolithographie et de gravure, les motifs des puces sont créés. Ces procédés doivent donc être menés de façon…
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Satisfaction fiable des exigences thermiques spécifiques aux usines de fabrication (fabs) — Contrôle ultra-stable de la température (±0,1 °C) pour la lithographie à illumination extrême ultraviolette (EUV) et…
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Les subtilités de la stabilité thermique pour la photolithographie sous 7 nm et les dispositifs à rayonnement extrême ultraviolet (EUV). Pour fabriquer des structures semi-conductrices inférieures à 7 nm, il est nécessaire de pouvoir contrôler et gérer un niveau de variabilité thermique quasi inaccessible. Extrême ...
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Principaux avantages thermodynamiques des systèmes à ammoniac monocycle : Les systèmes de réfrigération monochaine présents dans les industries utilisent l’ammoniac comme fluide frigorigène et tirent parti des excellentes propriétés thermodynamiques de ce dernier, notamment son fort pouvoir d’absorption de chaleur…
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Grâce à une conception modulaire, les unités de refroidissement sont capables de constituer un système en boucle fermée en utilisant des unités de compresseur séparées et indépendantes pour chaque circuit frigorifique, et ne dépendent donc pas d’un compresseur central unique. Pour une gestion planifiée et imprévue…
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Le contrôle de la température est essentiel pour améliorer le rendement, garantir une productivité constante et assurer la rentabilité des usines de fabrication sur un marché concurrentiel. Concepts techniques clés du refroidisseur pour procédés semi-conducteurs : circuit fermé…
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