Nákvæm hitastýring fyrir breytilega framleiðslu á halldælum. Stöðugleiki undir 0,02 °C við framleiðslu á nýjum tæknikornum < 5 nm. Til að koma í veg fyrir villa á nanoskalan þarf nákvæm hitastýring við framleiðslu á nýjum tæknikornum undir 5 nm …
SÝA MEIRA
Nákvæm hitastýring: Afþreying á mikilítilum skemmdum í litógrafíu og rífuni. Af hverju er ±0,1°C staðbundin hitastöðugleiki óhjáleitnan fyrir litógrafíu undir 7 nm og rífun með háum hlutfalli á hæð og breidd. Í ferlum undir 7 nm eru hitabreytingar stærri en &p...
SÝA MEIRA
Af hverju er hitastöðugleiki nauðsynlegur fyrir nákvæmni prófunar og framleiðsluútbót? Hvernig valda hitabreytingar undir einum gráðu rangum mistökum og afdrifi mælinga. Innan einnar prófunarferils fyrir hálfleiðarplötu munu hitabreytingar undir einum gráðu valda alvarlegum vandamálum. ...
SÝA MEIRA
Hitastöðugleiki hefur bein áhrif á tap á framleiðslueiningum við undir-5nm hnúta. Tap á framleiðslueiningum á grundvelli reynslu: ±0,3 °C breyting – 12–18% hækkun á fjölda galla í EUV-lithógrafíu. Við semileitara-hnúta undir 5 nanómetrum, í því sérstaka tilvikinu með útterfri ultrafjólubláu (EUV...
SÝA MEIRA
Nýjustu uppfinningarnar á sviði lóðréttar hrökkunar þrívíddar heildar rafrásir hafa leitt til alvarlegra hitavandamála í þrívíddar heildar rafrásir. Hefðbundin aðferða við kælingu með lofti eða vægi eru ónóg. Í mikroflæðikælingu í...
SÝA MEIRA
Aðalfall: Hvernig einnigóðar kælikerfi minnka dýr þermíska tap og óþarfa orkutilgang Minnkað þermískt yfirferð með einangruðum stýrðum flæðisvögum Ólíkt hefðbundnum kerfum veita einnigóðar kælikerfi hverjum kæliprósesi ú...
SÝA MEIRA
Lykilþættir sem ákveða þörfina af kælingu fyrir háþrýstisvæði: Hitastjórn í framleiðslu háþrýstisvæða við ljósmyndun og rífun. Við ljósmyndunar- og rífunarferlið eru myndir chipsanna búin til. Þess vegna þarf að framkvæma þessi ferli með mikilli nákvæmni...
SÝA MEIRA
Áreiðanleg uppfylling á hitastjórnarkröfum sérhvers framleiðslustöðvar (fab): Þyngdarmikil hitastöðugleiki (±0,1°C) fyrir EUV-ljósmyndun og...
SÝA MEIRA
Nákvæmheit varmajafnvægis fyrir undir-7nm ljósmyndun og EUV-tæki. Til þess að byggja halldísastruktúr minni en 7 nm er nauðsynlegt að geta stýrt og stjórnað hitabreytileika á svæði sem er næstum ónáðanlegt. Þróunin á ...
SÝA MEIRA
Aðalþermódýnamískar ávinningar eintegundar ámmóníuskerfanna Ímyndarstofnunarsjávarkælingarkerfi með einni rás, sem eru notuð í iðnaði, nota ámmóníu sem kælimiðil og vísa til mikilla þermódýnamískra eiginleika ámmóníu, svo sem hár hituupptökuvirkni...
SÝA MEIRA
Með módulegri hönnun hafa svalvélarnar getuð að mynda lokaðan hring með því að nota aðskilna, óháða kæliflæðisstöðvar fyrir hvert kælislag og því ekki byggja á einni miðju kæliflæðisstöð. Fyrir stjórnuð og óstjórnuð ...
SÝA MEIRA
Hitastýring er nauðsynleg til að bæta framleiðslu, tryggja samhverf verkefnagildi og halda framleiðslustöðvum áfram ávirkanlegum í keppnisþéttum markaði. Lykilhugmyndir verkfræðinnar í halbreytistofnunarsvalvélinni: Lokaður hringur með ...
SÝA MEIRA
EN