Ακριβής έλεγχος θερμοκρασίας για δυναμική σταθερότητα στην επεξεργασία ημιαγωγών, με σταθερότητα υπο-0,02°C κατά την επεξεργασία προηγμένων κόμβων < 5nm. Για να αποτραπεί η εμφάνιση ελαττωμάτων σε νανοκλίμακα, η προηγμένη επεξεργασία ημιαγωγών υπο-5nm απαιτεί θερμική ...
ΔΕΙΤΕ ΠΕΡΙΣΣΟΤΕΡΑ
Ακριβής Έλεγχος Θερμοκρασίας: Εξάλειψη Μικρο-Ελαττωμάτων στη Λιθογραφία και την Κατεργασία • Γιατί η σταθερότητα ±0,1 °C είναι απαραίτητη για λιθογραφία υπο-7 nm και κατεργασία με υψηλό λόγο ύψους-πλάτους • Σε κόμβους διαδικασίας υπο-7 nm, οι θερμικές μεταβολές που υπερβαίνουν τα &p...
ΔΕΙΤΕ ΠΕΡΙΣΣΟΤΕΡΑ
Γιατί η θερμική σταθερότητα είναι απαραίτητη για την ακρίβεια των δοκιμών και την απόδοση; Πώς οι θερμικές μεταβολές κάτω του 1 βαθμού προκαλούν ψευδείς αποτυχίες και παρέκκλιση των μετρήσεων. Κατά τη διάρκεια ενός μοναδικού κύκλου δοκιμής ενός πλακιδίου ημιαγωγού, οι θερμικές μεταβολές κάτω του 1 βαθμού προκαλούν σημαντικά προβλήματα. ...
ΔΕΙΤΕ ΠΕΡΙΣΣΟΤΕΡΑ
Η Θερμική Αστάθεια Προκαλεί Άμεσα Απώλεια Απόδοσης σε Κόμβους Κάτω των 5 nm. Απώλεια απόδοσης εμπειρικά: μετατόπιση ±0,3 °C – αύξηση 12 έως 18% στον αριθμό των ελαττωμάτων κατά τη λιθογραφία με ακραίο υπεριώδες φως (EUV). Σε κόμβους ημιαγωγών κάτω των 5 νανομέτρων, κατά τη λιθογραφία με ακραίο υπεριώδες φως (EUV)...
ΔΕΙΤΕ ΠΕΡΙΣΣΟΤΕΡΑ
Οι πιο πρόσφατες καινοτομίες στην κατακόρυφη στοίβαση τρισδιάστατων ολοκληρωμένων κυκλωμάτων έχουν δημιουργήσει σοβαρά προβλήματα υπερθέρμανσης σε τρισδιάστατα ολοκληρωμένα κυκλώματα. Οι παραδοσιακές μέθοδοι αερόψυξης ή ψύξης με υγρά δεν είναι επαρκείς. Η μικρορευστική ψύξη σε...
ΔΕΙΤΕ ΠΕΡΙΣΣΟΤΕΡΑ
Κύρια Λειτουργία: Πώς Μειώνουν οι Ψύκτες Μονού Καναλιού τις Δαπανηρές Θερμικές Απώλειες και την Περιττή Κατανάλωση Ενέργειας. Μείωση της Θερμικής Διασύζευξης μέσω Αποκλειστικά Ελεγχόμενων Διαδρομών Ροής. Σε αντίθεση με τα παραδοσιακά συστήματα, οι ψύκτες μονού καναλιού παρέχουν σε κάθε διαδικασία ψύξης ένα u...
ΔΕΙΤΕ ΠΕΡΙΣΣΟΤΕΡΑ
Βασικοί Παράγοντες της Ψύξης Υψηλής Καθαρότητας για Ημιαγωγούς: Θερμικός Έλεγχος στην Κατασκευή Ημιαγωγών κατά τη Φωτολιθογραφία και την Ξηρά Επεξεργασία (Etching). Κατά τις διαδικασίες φωτολιθογραφίας και ξηράς επεξεργασίας δημιουργούνται οι διαμορφώσεις των μικροεπεξεργαστών. Ως εκ τούτου, οι διαδικασίες αυτές απαιτούν να πραγματοποιούνται με...
ΔΕΙΤΕ ΠΕΡΙΣΣΟΤΕΡΑ
Αξιόπιστη Ικανοποίηση Των Θερμικών Απαιτήσεων Ειδικών Εργοστασίων (Fabs): Υπερσταθερός Έλεγχος Θερμοκρασίας (±0,1 °C) για Λιθογραφία EUV και...
ΔΕΙΤΕ ΠΕΡΙΣΣΟΤΕΡΑ
Οι λεπτές αποχρώσεις της Θερμικής Σταθερότητας για Φωτολιθογραφικές Διαδικασίες Κάτω των 7 nm και συσκευές EUV. Για να κατασκευαστούν δομές ημιαγωγών μικρότερες των 7 nm, είναι απαραίτητο να ελέγχεται και να διαχειρίζεται ένα επίπεδο θερμικής μεταβλητότητας που είναι σχεδόν ανέφικτο. Ακραίες ...
ΔΕΙΤΕ ΠΕΡΙΣΣΟΤΕΡΑ
Βασικά θερμοδυναμικά πλεονεκτήματα των μονοσταδίων συστημάτων αμμωνίας: Τα μονοκαναλικά συστήματα ψύξης που χρησιμοποιούνται στη βιομηχανία χρησιμοποιούν αμμωνία ως ψυκτικό και εκμεταλλεύονται τις εξαιρετικές θερμοδυναμικές ιδιότητες της αμμωνίας, συμπεριλαμβανομένης της υψηλής απορρόφησης θερμότητας...
ΔΕΙΤΕ ΠΕΡΙΣΣΟΤΕΡΑ
Με μια μοντάρισματος διάταξη, οι ψυκτικές μονάδες έχουν τη δυνατότητα να δημιουργήσουν ένα κλειστό κύκλωμα χρησιμοποιώντας ξεχωριστές, ανεξάρτητες μονάδες συμπιεστή για κάθε ψυκτικό κύκλωμα, και ως εκ τούτου δεν εξαρτώνται από έναν κεντρικό συμπιεστή. Για διαχειριζόμενες και μη προγραμματισμένες...
ΔΕΙΤΕ ΠΕΡΙΣΣΟΤΕΡΑ
Ο έλεγχος της θερμοκρασίας είναι απαραίτητος για τη βελτίωση της παραγωγής, τη διασφάλιση συνεκτικής παραγωγικότητας και τη διατήρηση της επιχειρηματικής βιωσιμότητας των εγκαταστάσεων κατασκευής σε ένα ανταγωνιστικό περιβάλλον. Βασικές μηχανολογικές έννοιες του ψυκτικού για διαδικασίες σεμιαγωγών: Κλειστό κύκλωμα...
ΔΕΙΤΕ ΠΕΡΙΣΣΟΤΕΡΑ
EN