Precise na Kontrol sa Temperatura para sa Dinamikong Estabilidad ng Pagsasaproseso ng Semiconductor: Katumpakan na Hanggang sa Sub-0.02°C sa Pagsasaproseso ng Advanced Nodes na < 5nm. Upang maiwasan ang pagkakaroon ng mga depekto sa nanoscale, ang advanced na pagsasaproseso ng semiconductor na may sukat na < 5nm ay nangangailangan ng kontrol sa thermal...
TIGNAN PA
Precise na Kontrol ng Temperatura: Pag-alis ng Micro-Defects sa Lithography at Etching Bakit ang ±0.1°C na katatagan ay hindi pwedeng balewalain para sa sub-7nm lithography at high-aspect-ratio etching Sa sub-7nm process nodes, ang mga pagbabago ng temperatura na higit sa &p...
TIGNAN PA
Bakit Mahalaga ang Termal na Estabilidad para sa Katiyakan ng Pagsusuri at Yield: Paano nagdudulot ang mga pagbabago sa temperatura na mas mababa sa isang degree ng mga pekeng pagkabigo at pagkalugmok sa pagsukat. Sa loob ng isang siklo ng pagsusuri para sa isang semiconductor wafer, ang mga pagbabago sa temperatura na mas mababa sa isang degree ay magdudulot ng malalang problema. ...
TIGNAN PA
Ang Di-estabilidad sa Init ay Direktang Nagpapadala ng Pagkawala ng Yield sa mga Node na Nasa Ilalim ng 5nm. Ang pagkawala ng yield ay empirikal: ±0.3 °C na pagbabago – 12 hanggang 18% na pagtaas sa mga depekto habang ginagamit ang EUV lithography. Sa mga semiconductor node na nasa ilalim ng 5 nanometro, habang ginagamit ang extreme ultraviolet (EUV...
TIGNAN PA
Ang pinakabagong mga inobasyon sa vertical stacking ng 3D integrated circuits ay nagdulot ng matitinding hamon sa pag-init sa loob ng mga 3D integrated circuits. Ang mga tradisyonal na paraan ng air cooling o liquid cooling solutions ay hindi sapat. Ang microfluidic cooling sa...
TIGNAN PA
Pangunahing Gamit: Paano Binabawasan ng mga Single Channel Chiller ang Mahal na Pagkawala ng Init at Pag-aaksaya ng Enerhiya sa Pamamagitan ng Pagbawas ng Thermal Cross-Talk sa pamamagitan ng mga Landas ng Daloy na Kontrolado nang eksklusibo. Hindi tulad ng tradisyonal na mga sistema, ang mga single channel chiller ay nagbibigay sa bawat proseso ng pagpapalamig ng isang u...
TIGNAN PA
Mga Pangunahing Pampagana ng Refrigeration na may Kalidad na Pang-Semiconductor: Pagkontrol sa Temperatura sa Pagmamanupaktura ng Semiconductor sa Photolithography at Etching. Sa mga prosesong photolithography at etching, nililikha ang mga disenyo ng chip. Kaya naman, kailangan ng mga prosesong ito na isagawa nang...
TIGNAN PA
Pangangalaga nang Maaasahan sa mga Tiyak na Pangangailangan sa Temperatura ng Fab. Ultra-Estabil na Pagkontrol sa Temperatura (±0,1°C) para sa EUV Lithography at ...
TIGNAN PA
Ang mga pagkakaiba-iba ng Thermal Stability para sa Photolithography na may sukat na nasa ilalim ng 7nm at mga Device na EUV. Upang makabuo ng mga istrukturang semiconductor na mas maliit kaysa 7nm, kinakailangan ang kakayahang kontrolin at pangasiwaan ang antas ng pagbabago ng init na halos hindi maisasagawa. Extreme ...
TIGNAN PA
Pangunahing Mga Benepisyo sa Thermodynamics ng mga Single-Stage na Sistema ng Ammonia Ang mga sistema ng refrigeration na may isang channel na matatagpuan sa mga industriya ay gumagamit ng ammonia bilang refrigerant at tumutukoy sa mahusay na mga katangian nito sa thermodynamics, kabilang ang mataas na pag-absorb ng init...
TIGNAN PA
Sa pamamagitan ng isang modular na disenyo, ang mga yunit ng chiller ay may kakayahang magbuo ng isang saradong sistema gamit ang hiwalay at independiyenteng mga yunit ng compressor para sa bawat circuit ng refrigeration, at dahil dito, hindi ito umaasa sa isang sentral na yunit ng compressor. Para sa pinamamahalaan at di-nakaplanong...
TIGNAN PA
Ang pagkontrol sa temperatura ay mahalaga upang mapabuti ang output, matiyak ang pare-parehong produksyon, at panatilihin ang kahusayan ng mga halaman sa paggawa upang manatiling kumikitang operasyon sa kompetitibong merkado. Mga Pangunahing Konsepto sa Inhinyerya ng Semiconductor Process Chiller: Saradong Circuit Te...
TIGNAN PA
EN