Точное регулирование температуры для обеспечения стабильности динамической полупроводниковой обработки: стабильность менее 0,02 °C при обработке передовых техпроцессов < 5 нм. Чтобы предотвратить возникновение дефектов в наномасштабе, передовая полупроводниковая обработка по техпроцессам менее 5 нм требует термического ...
Просмотреть больше
Точное регулирование температуры: устранение микродефектов при литографии и травлении. Почему стабильность ±0,1 °C является обязательным требованием для литографии с технологическим узлом менее 7 нм и травления с высоким соотношением глубины к ширине. На технологических узлах менее 7 нм тепловые колебания свыше &p...
Просмотреть больше
Почему термостабильность критически важна для точности испытаний и выхода годных изделий. Как изменения температуры менее чем на 1 градус приводят к ложным сбоям и дрейфу измерений. В рамках одного цикла испытаний полупроводниковой пластины изменения температуры менее чем на 1 градус вызовут значительные проблемы. ...
Просмотреть больше
Термическая нестабильность напрямую приводит к снижению выхода годных изделий на технологических узлах с размером менее 5 нм. Эмпирически зафиксированное снижение выхода: смещение температуры на ±0,3 °C — рост количества дефектов на 12–18 % в процессе литографии с использованием излучения экстремального ультрафиолета (EUV). На полупроводниковых узлах с размером менее 5 нанометров в ходе литографии с использованием излучения экстремального ультрафиолета (EUV)…
Просмотреть больше
Самые последние инновации в области вертикального стекирования трёхмерных интегральных схем породили серьёзные проблемы перегрева в трёхмерных интегральных схемах. Традиционные методы воздушного охлаждения или жидкостного охлаждения оказываются недостаточными. Микрожидкостное охлаждение в...
Просмотреть больше
Основная функция: как одноканальные чиллеры снижают дорогостоящие тепловые потери и неэффективное потребление энергии. Снижение теплового перекрестного взаимодействия за счёт исключительно контролируемых потоковых путей. В отличие от традиционных систем, одноканальные чиллеры обеспечивают каждый процесс охлаждения у...
Просмотреть больше
Ключевые факторы, определяющие применение рефрижераторов для полупроводниковой промышленности: термоконтроль в процессах изготовления полупроводниковых приборов — фотолитография и травление. На этапах фотолитографии и травления формируются структуры микросхем. Поэтому данные процессы требуют проведения...
Просмотреть больше
Надёжное удовлетворение тепловых требований, специфичных для конкретного завода-изготовителя (fab). Ультрастабильный контроль температуры (±0,1 °C) для литографии с использованием экстремального ультрафиолета (EUV) и...
Просмотреть больше
Тонкости термостабильности при фотолитографии с разрешением менее 7 нм и в устройствах с использованием экстремального ультрафиолета (EUV). Для создания полупроводниковых структур размером менее 7 нм необходимо обеспечить контроль и управление уровнем тепловых колебаний, практически недостижимым. Экстремальные ...
Просмотреть больше
Основные термодинамические преимущества одноступенчатых аммиачных систем. Промышленные одноканальные холодильные системы используют в качестве хладагента аммиак, что обусловлено отличными термодинамическими свойствами аммиака, включая высокую теплоёмкость при поглощении тепла...
Просмотреть больше
Благодаря модульной конструкции чиллеры способны формировать замкнутую систему охлаждения с использованием отдельных независимых компрессорных блоков для каждой холодильной цепи и, таким образом, не зависят от одного центрального компрессора. Для управляемых и незапланированных...
Просмотреть больше
Контроль температуры имеет решающее значение для повышения выхода продукции, обеспечения стабильной производительности и поддержания рентабельности производственных предприятий в условиях конкурентной среды. Ключевые инженерные принципы полупроводникового технологического чиллера: замкнутая холодильная цепь...
Просмотреть больше
EN