Precizna kontrola temperature za dinamičku obradu poluprovodnika Stabilnost ispod 0,02\u00b0C pri obradi naprednih čvorova < 5nm Da bi se sprečilo pojavljivanje defekta na nanoskali, napredna obrada poluprovodnika ispod 5nm zahtijeva toplotnu...
POGLEDAJ VIŠE
Precizna kontrola temperature: Uklanjanje mikro-defekta u litografiji i graviranju Zašto je stabilnost od ± 0,1 °C neprikosnovena za litografiju ispod 7 nm i graviranje visokog omjera aspekata U čvorovima procesa ispod 7 nm, toplotne varijacije veće od &p...
POGLEDAJ VIŠE
Zašto je toplotna stabilnost od suštinske važnosti za tačnost i prinos ispitivanja Kako toplotne promene ispod stepena uzrokuju lažne neuspehe i pomak merenja U jednom ciklusu ispitivanja za poluprovodnički oblak, toplotne promene ispod 1 stepena će uzrokovati značajne probleme....
POGLEDAJ VIŠE
Termalna nestabilnost direktno pogoni gubitak prinosa na čvorovima ispod 5 nm Gubitak prinosa empirijski: ±0,3 °C pomak 12 do 18% povećanje defekata tokom EUV litografije Na poluprovodničkim čvorovima ispod 5 nanometara, tokom ekstremne ultraljubičaste (
POGLEDAJ VIŠE
Najnovije inovacije u vertikalnom postavljanju 3D integrisanih kola su dovele do ozbiljnih toplotnih izazova u 3D integrisanim krugovima. Tradicionalne metode hlađenja vazduhom ili rastvora za hlađenje tečnosti nisu dovoljne. Mikrofluidno hlađenje u...
POGLEDAJ VIŠE
Primarna funkcija: Kako jednokanalni hladnjači smanjuju skupe toplotne gubitke i gubitak energije Smanjena toplotna prekogranična komunikacija putem isključivo kontrolisanih putanja Za razliku od tradicionalnih sistema, jednokanalni hladnjači pružaju svakom procesu hlađenja...
POGLEDAJ VIŠE
Ključni pokretači hladnjače u poluvodičnoj klasi: Termalna kontrola proizvodnje poluprovodnika u fotolitografiji i graviranju Zato, ovi procesi moraju biti sprovedeni...
POGLEDAJ VIŠE
Pouzdano zadovoljenje specifičnih toplotnih zahtjeva fabrike Ultra-stabilna kontrola temperature (± 0,1°C) za EUV litografiju i...
POGLEDAJ VIŠE
Suptilnosti termičke stabilnosti za fotolitografiju ispod 7nm i EUV uređaje. Da bi se izgradile poluprovodničke strukture manje od 7 nm, potrebno je da se može kontrolisati i upravljati nivoom varijabilnosti toplote koji je gotovo nedostižan. Ekstremno...
POGLEDAJ VIŠE
Primarne termodinamičke prednosti jednoklopnih amonijak sistema Jednokanala rashladnih sistema prisutnih u industriji koriste amonijak kao rashladno sredstvo i odnose se na amonijak velike termodinamičke svojstva uključujući visoku apsorpciju toplote w...
POGLEDAJ VIŠE
S modulskim dizajnom, jedinice za hlađenje imaju mogućnost da konstruiraju zatvoreni sistem sa odvojenim, nezavisnim kompresorskim jedinicama za svaki krug hlađenja i kao takvi ne zavise od jednog centralnog kompresora. Za upravljane i neplanizirane...
POGLEDAJ VIŠE
Kontrola temperature je od suštinskog značaja za poboljšanje proizvodnje, garantovanje konstantne produktivnosti i održavanje proizvodnih postrojenja profitabilnim na konkurentnom tržištu. Ključni inženjerski koncepti poluprovodničkog procesa hladnjaka zatvorenog kola...
POGLEDAJ VIŠE
EN