EN
Моноблок чилър с единичен контур
Стабилност при температура : ±0,1℃
Температурен диапазон : от +5°C до +40°C
Охлаждаща способност : 2 kW@20°C / 3,5 kW@20°C / 9 kW@20°C
Проектиран за оборудване за обработка и травене на фотолитографски резисти в полупроводниците, с разширена съвместимост за приложения в печат, лазерна техника, медицината и лабораторни изпитвания. Компактен компресорен чилър за прецизна термична управление.
- Преглед
- Препоръчани продукти
Техническо описание:
Система за циркулация в затворен цикъл за прецизно
контролиране на температурата в полупроводникови реакционни
камери. Комбинира топлообменници, циркулационни
помпи, компресори и интелигентна система за управление
с предиктивен & адаптивен контрол
технологии в слоеве върху PID алгоритми за
непревзойдена стабилност на процеса.
Основни предимства:
Компактно изпълнение без използване на процесна вода : 30% по-малка заета площ, елиминира зависимостта от процесната вода за охлаждане
Динамичен отговор : 40% по-бързо стабилизиране на температурата с енергийно оптимизирано управление
Персонализирани интерфейси : Конфигурируема комуникация (RS485/Modbus) и флуидни портове
Промишлено отбраност : Метален корпус, 25% по-ниско енергопотребление
Устойчиво на електромагнитни смущения управление : PLC със съпротивление към смущения, съответстващо на IEC 61000
️ Охлаждане с въздух – прости решения : Настройка тип "plug-and-play" за ≤5 минути
Основни компоненти и работа:
Компонент |
ТЕХНОЛОГИЯ |
Компресор |
Херметичен инверторен компресор с защита от течна ударна вълна (контрол ±0,5℃) |
Кондензор |
Неръждаема стомана, <5% топлинни загуби |
Евапоратор |
Титанов пластина, с 35% по-висока ефективност, шум ≤55 dB |
Подогревател |
Потопено директно загряване, равномерност ±0,3℃ |
Дифференциращ клапан |
Електронен клапан с контрол на прегряване ±1℃ |
Помпа |
Магнитен насос (версия за флуорирани течности), <2% пулсация на потока |
Принцип на охлаждането:
1. Компресия → Повишаване на налягането на охлаждащата течност
2. Кондензация → Отдаване на топлина и превръщане в течност
3. Тротлинг чрез EEV → Генериране на нисконатиснчна мъгла
4. Изпарение → Прецизно абсорбиране на топлина от оборудването
5. Контрол на потока чрез инвертор → Поддържа ±0. 1℃ стабилност
| Параметри на продукта LRS | |||||
| Продукт | Хладилник | ||||
| Модел | LRS-018 | LRS-030 | LRS-090 | ||
| Охлаждаща мощност (W)@20℃ | 3 kW@20℃ | 3,5 kW@20℃ | 9 kW@20℃ | ||
| Мощност | 1150W | 4300 W | 6900 W | ||
| Енергиен източник | 1Ph, 220 V, 50 Hz | 3Ph, 220 V, 50 Hz | |||
| Интернет трафик | 15 LPM | 20 LPM | 40LPM | ||
| Пределна точност | ±0.1℃ | ||||
| Хладен агент | R410A | R410A | R410A | ||
| Защитна функция | Преобръщане на двигателя, прегряване, теч, налягане, недостатъчно налягане, липса на течност, теч, прегряване на изпускателната система и други защити | ||||
| Температурен диапазон на циркулиращата течност | +5℃~+40℃ | +5℃~+80℃ | +5℃~+40℃ | ||
| Температурен диапазон | 5~35℃ | ||||
| Капацитет на резервоара за съхранение | 5 л | 10 л | 15 л | ||
| Външна връзка с размерен интерфейс | Rc1/2” | Rc1/2” | RC1” | ||
| размер(mm) | 380W X 500D X 655H | 400W x 675D x 800H | 400W x 1000D x 1200H | ||
| нетно тегло | 60кг | 70кг | 80кг | ||
