EN
CO2 охладители
Стабилност при температура : ±0,1℃
Температурен диапазон : -20˚C～+80˚C
Охлаждаща способност : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Осигуряване на прецизно термично управление чрез компактни компресорни чилъри за :
Изработка и тестване на полупроводникови пластина
Валидиране на батерии и електродвигатели за нови енергийни източници
Прецизно оборудване за охлаждане
Специфични за теста приложения за въздушно охлаждане
- Преглед
- Препоръчани продукти
Техническо описание:
Lingheng CO₂ ултрачист чилър
Използване на естествен хладилен агент (GWP=1, ODP=0) да доставим прецизно термично управление ±0,1℃ за напреднали полупроводникови процеси. Осигурява работа в широк диапазон от -40℃ до +100℃ чрез технология на транскритичен цикъл, съвместима с критични приложения:
Фотолитография
Гравировка
Атомно-слоева депозиция (ALD)
Пълно уплътнен път на потока отговаря на стандартите на чиста стая клас 100, докато Конструкция без F-газове минимизира риска от данъчен товар върху въглеродния диоксид – постигайки както процесно изcellence, така и съответствие с ESG стандарти.
Основни предимства:
Екологична устойчивост:
GWP=1 - Напълно съответства на глобалните климатични цели, намалява риска от данъчен товар върху въглеродния диоксид
Естествен хладагент - Елиминира необходимостта от възстановяване/унищожаване на флуорни газове
Нулев ODP - Съответства на международни регулации (напр. Поправка Кигали)
±0,1℃ прецизен контрол - Поддържа напреднали нодове (TSMC 5nm, съответства на регулацията за флуорни хладилни среди)
Работа без замърсяване - Остатъчен CO₂ <1ppb, сертифициран за чисти помещения клас 1000
30% по-висок COP - Транскритичен инверторен цикъл (потвърдено спрямо LIAT 1.0 база)
Сигурност и производителност:
Безопасен и незапалим - Няма риск от изтичане на флуорни хладилни среди
Фабрично намаляване на риска - 68% по-нисък индекс на екологичен риск (според SEMI S10)
Основни компоненти и работа:
Компонент |
ТЕХНОЛОГИЯ |
Компресор |
Херметичен инверторен компресор с защита от течна ударна вълна (контрол ±0,5℃) |
Кондензор |
Неръждаема стомана, <5% топлинни загуби |
Евапоратор |
Титанов пластина, с 35% по-висока ефективност, шум ≤55 dB |
Нагревател |
Потопено директно загряване, равномерност ±0,3℃ |
Дифференциращ клапан |
Електронен клапан с контрол на прегряване ±1℃ |
Помпа |
Магнитен насос (версия за флуорирани течности), <2% пулсация на потока |
Принцип на охлаждане:
1. Компресия → Повишаване на налягането на охлаждащата течност
2. Кондензация → Отдаване на топлина и превръщане в течност
3. Тротлинг чрез EEV → Генериране на нисконатиснчна мъгла
4. Изпарение → Прецизно абсорбиране на топлина от оборудването
5. Контрол на потока чрез инвертор → Поддържа ±0. 1℃ стабилност
| Параметри на продукта GVS010 | Параметри на продукта GVS405 | ||
| Модел на продукта | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Метод за охлаждане |
Водно охлаждане |
||
| Режим на управление |
PID управление |
||
| Обхват на температурния контрол | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | -20℃ до +90℃ |
| Пределна точност |
±0.1℃ |
||
| Рефрижераторен капацитет |
-20℃@2 KW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
-40℃@4KW |
4 kW при -10℃ 10 kW при +20℃ |
| Мощност | 3 kW | 3 kW | |
| Резервоар | 20 л | 20 л | |
| Поток на циркулиращата течност | 20 L/min (0.75 MPa) | 20 л/мин (0,5 МРа) | 20 л/мин (0,7 MPa) |
| PCW трафик | 15 л/мин @ 15~25°C | 15 л/мин при 15–25 ℃ и 0,3–0,4 MPa | |
| Температурен диапазон | 5~35℃ | ||
| Видове циркулираща течност | Смес от етиленгликол, чиста вода, флуориран разтвор | ||
| Хладен агент | R744 (CO2) | ||
| Интерфейс за циркулираща течност |
Rc3/4” |
||
| Интерфейс за PCW | Rc1/2” | Rc1–1/4″ | Rc1/2” |
| Външни размери (мм) | 380W*900D*1250H | 500 Ш × 1160 Д × 1650 В |
600 Ш × 900 Д × 1300 В (мм) |
| Входно захранване | 3Ph,208-220V,50Hz | трите фази, 208–220 V, 50/60 Hz | |
| Мощност на машината | 8КВ | 15,4 kW | |
| нетно тегло | 200 кг | ||
| Стандартни стандарти за проектиране | Семи | Семи | SEMI S2, F47 |
