เครื่องทำน้ำเย็นแบบควบคุมเดี่ยว
ความมั่นคงของอุณหภูมิ : ±0.1℃
ช่วงอุณหภูมิ : +5℃ ถึง +40℃
ความจุในการเย็น : 2kW@20℃ / 3.5kW@20℃ /9KW@20℃
ออกแบบมาเพื่อการประมวลผลโฟโตรีซิสต์ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และเครื่องมือกัดกร่อน พร้อมความสามารถรองรับเพิ่มเติมสำหรับงานพิมพ์ เลเซอร์ การแพทย์ และการทดสอบในห้องปฏิบัติการ มีขนาดกะทัดรัด เหมาะสำหรับเครื่องทำให้เย็นแบบคอมเพรสเซอร์เพื่อควบคุมอุณหภูมิอย่างแม่นยำ
- ภาพรวม
- สินค้าที่แนะนำ
คำอธิบายทางเทคนิค:
ระบบหมุนเวียนแบบปิดเพื่อความแม่นยำ
การควบคุมอุณหภูมิในปฏิกิริยาของเซมิคอนดักเตอร์
ห้องปฏิกิริยา ผสานการทำงานของเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อน การหมุนเวียน
ปั๊ม คอมเพรสเซอร์ และระบบควบคุมอัจฉริยะ
ระบบพร้อม การควบคุมเชิงทำนายและปรับตัวได้
เทคโนโลยี ซ้อนทับอัลกอริทึม PID เพื่อ
ความเสถียรของกระบวนการเหนือระดับ

จุดเด่นหลัก :
ดีไซน์กะทัดรัด ไม่ต้องใช้ PCW : พื้นที่ติดตั้งลดลง 30%, ขจัดการพึ่งพาการใช้น้ำทำความเย็นในกระบวนการ
การตอบสนองแบบไดนามิก : การควบคุมอุณหภูมิเร็วขึ้น 40% พร้อมการใช้พลังงานอย่างมีประสิทธิภาพ
อินเตอร์เฟซแบบกำหนดเอง : การสื่อสารที่กำหนดได้ (RS485/Modbus) และช่องต่อของเหลว
ความแข็งแรงในอุตสาหกรรม : ตัวเครื่องทำจากโลหะทั้งหมด ประหยัดพลังงานได้มากขึ้น 25%
การควบคุมที่ไม่ไวต่อสัญญาณรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้า (EMI-Immune Control) : คอนโทรลเลอร์ PLC ที่มีความต้านทานต่อสัญญาณรบกวนตามมาตรฐาน IEC 61000
️ ความเรียบง่ายของการระบายความร้อนด้วยอากาศ : การติดตั้งแบบปลั๊กแอนด์เพลย์ภายในเวลา ≤5 นาที

ชิ้นส่วนหลักและการทำงาน:
ชิ้นส่วน |
เทคโนโลยี |
เครื่องบด |
คอมเพรสเซอร์แบบอินเวอร์เตอร์ปิดสนิทพร้อมระบบป้องกันการไหลย้อนของของเหลว (ควบคุมอุณหภูมิ ±0.5℃) |
เครื่องปรับความหนา |
สแตนเลสเหล็กกล้า, การสูญเสียความร้อนต่ำกว่า 5% |
ตัวระเหย |
แผ่นแบบไทเทเนียม มีประสิทธิภาพสูงขึ้น 35% เสียงรบกวน ≤55 เดซิเบล |
ฮีตเตอร์ |
การให้ความร้อนโดยตรงแบบจุ่ม ความสม่ำเสมอ ±0.3℃ |
วาล์วขยาย |
วาล์วอิเล็กทรอนิกส์ ควบคุมความร้อนส่วนเกิน ±1℃ |
ปั๊ม |
ปั๊มแม่เหล็กขับเคลื่อน (รุ่นสารละลายฟลูออรีน) การเปลี่ยนแปลงการไหลต่ำกว่า 2% |

หลักการทำงานการทำความเย็น:
1. การอัดอัดอากาศ → การเพิ่มแรงดันสารทำความเย็น
2. การควบแน่น → การระบายความร้อนและการกลายเป็นของเหลว
3. การปรับลดแรงดันด้วย EEV → การผลิตฝอยละอองภายใต้แรงดันต่ำ
4. การระเหย → การดูดซับความร้อนจากอุปกรณ์อย่างแม่นยำ
5. การควบคุมการไหลแบบอินเวอร์เตอร์ → รักษาความเสถียรที่ ±0. 1℃

| พารามิเตอร์ผลิตภัณฑ์ LRS | |||||
| ผลิตภัณฑ์ | เครื่องเย็น | ||||
| รุ่น | LRS-018 | LRS-030 | LRS-090 | ||
| ความจุทำความเย็น(วัตต์)@20℃ | 3 กิโลวัตต์@20℃ | 3.5 กิโลวัตต์@20℃ | 9 กิโลวัตต์@20℃ | ||
| พลังงาน | 1150W | 4300วัตต์ | 6900 วัตต์ | ||
| การให้พลังงาน | 1Ph,220V,50 เฮิรตซ์ | 3Ph,220 V,50 เฮิรตซ์ | |||
| ปริมาณการใช้งานอินเทอร์เน็ต | 15 ลิตรต่อนาที | 20 ลิตรต่อนาที | 40LPM | ||
| ความแม่นยำ | ±0.1℃ | ||||
| สารทำความเย็น | R410a | R410a | R410a | ||
| ฟังก์ชั่นการป้องกัน | มอเตอร์โอเวอร์โหลด อุณหภูมิสูงเกินไป รั่วไหล ความดันสูงเกินไป ความดันต่ำ ขาดของเหลว รั่วไหล ไอเสียร้อนเกินไป และการป้องกันอื่น ๆ | ||||
| ช่วงอุณหภูมิของของเหลวที่ไหลเวียน | +5℃~+40℃ | +5℃~+80℃ | +5℃~+40℃ | ||
| ช่วงอุณหภูมิ | 5~35℃ | ||||
| ความจุของถังเก็บ | 5L | 10L | 15ลิตร | ||
| ขนาดช่องต่อวงจรภายนอก | RC1/2” | RC1/2” | RC1” | ||
| ขนาด (มม) | 380W X 500D X 655H | 400W X 675D X 800H | 400W X 1000D X 1200H | ||
| น้ำหนักสุทธิ | 60 กก | 70 กก | 80กก | ||