EN
Тримесан охладител
Стабилност при температура : ±0,1℃
Температурен диапазон : -40°C～+80°C
Охлаждаща способност : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Промишлен компресорен чилър с компресори на висок клас за изключителна стабилност. Доставя ±0,1 ℃ стабилност на температурата на изхода за критични приложения, включващи:
Охлаждане на оборудване за фотолитография/травене
Термичен мениджмънт на инструменти за PVD/CVD
Контрол на температурата на химични и фармацевтични реактори
Фармацевтично охлаждане на процеси, съответстващо на GMP
- Преглед
- Препоръчани продукти
Техническо описание:
Уреди за охлаждане Lingheng с три вериги осигуряват прецизно охлаждане с много натоварвания (±0,1℃) в единичен агрегат. С възможност за конфигуриране на изходите за стабилна среда, осигуряват:
✅ Умен контрол : Запланувана работа, автоматично компенсиране, самодиагностика
✅ Три нива на безопасност : Тревога за прегряване/претоварване/недостиг на вода
✅ Индустриална свързаност : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Проектирани за полупроводникови клъстерни машини и производствени линии за PV с 30% икономия на енергия.
Основни предимства:
Интеграция TripleSync™
» 3 независими вериги в един шаси
→ 55% намаление на заетата площ в чисти помещения
Прецизност на клъстера
» Стабилност ±0,1℃ с градиент между веригите <±0,03℃
→ Възможност за синхронизиране на процеси в няколко камери
Динамично разпределение на теглото
» Интелигентно разпределение на охлаждането (общ капацитет 30 kW)
→ 28% икономия на енергия при променливи натоварвания
Съвместимост с много инструмента
» Готово за употреба с ASML/AMAT/TEL кластерни машини
→ Поддържа фабрики за 300mm пластина и PV TOPCon линии
Ултрачиста титанова екосистема
» Персонализируеми канали за поток с модулно уплътняване
→ <0,1ppb остатъчна течност (съответстващ на клас 10)
Основни компоненти и работа:
Компонент |
ТЕХНОЛОГИЯ |
Компресор |
Герметичен инверторен компресор с защита от течност (±0. 1℃ контрол) |
Кондензор |
Неръждаема стомана, <5% топлинни загуби |
Евапоратор |
Плочово изпълнение, 35% по-висока ефективност, шум ≤55dB |
Подогревател |
Потопено директно загряване, равномерност ±0,3℃ |
Дифференциращ клапан |
Електронен клапан с контрол на прегряване ±1℃ |
Помпа |
Магнитен насос (версия за флуорирани течности), <2% пулсация на потока |
Принцип на охлаждане:
Адаптивен PID охладителен цикъл :
1️⃣ Компресия → Натискове на хладилния агент
2️⃣ Конденсация → Отдаване на топлина и течнеене
3️⃣ EEV дроселиране → Генериране на ниско налягане
4️⃣ Испарение → Прецизно абсорбиране на топлина от оборудването
5️⃣ Контрол на потока на инвертора → Запазва стабилност ±0. 1℃ стабилност
| Параметри на продукта VT410 | |
| Име на продукта | Хладилник |
| Модел на продукта | VT410-W-33 |
| Метод за охлаждане | Воден охлаждател |
| Режим на управление | PID управление |
| Обхват на температурния контрол | CH1:-45~+60℃ |
| CH2:+30~+90℃ | |
| CH3:+10~+55℃ | |
| Пределна точност | ±0.1℃ |
| Охлаждаща способност | CH1:6 KW при -40 ˚C |
| CH2:30 KW при +30 ℃ | |
| CH3:28 KW при +20 ℃ | |
| Мощност | CH1:4 KW |
| CH2:14 KW | |
| CH3:4 KW | |
| Резервоар | Споделен разширителен резервоар за CH1 / CH2 30 L + резервоар за гореща вода 25 L |
| Поток на циркулиращата течност | CH1:17 L/min @ 0,9 MPa |
| CH2:17 L/min @ 0,9 MPa | |
| CH3:25 L/min @ 0,76 MPa | |
| PCW трафик | CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3 MPa |
| CH2: 20 L/мин@15~25℃@0,3 MPa | |
| CH3: 50 L/мин@15~25℃@0,3 MPa | |
| Температурен диапазон | 5~35 ℃ |
| Тип на циркулиращата течност | FC3283 |
| Интерфейс за циркулираща течност | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| Интерфейс за PCW | CH1/CH2/CH3: Rc1" |
|
Външни размери (mm) |
600W*1370D*2000H |
| Входно захранване | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Цялостна мощност | 41,1 kW |
| Нетно тегло | 600 кг |
| Стандартни стандарти за проектиране | Семи |
