Двуканален охладител

Техническо описание:

Двуциркулационни охладители Lingheng осигуряват двойно независим контрол на температурата в единичен агрегат.
С участието на стабилност от ±0,1°C на верига , тези системи са проектирани за:

Синхронизирано охлаждане на PVD/CVD камери

Мултизоново термично управление в инструменти за травене
С 40% по-малка заета площ и доказана съвместимост в индустрията (AMAT/LAM/TEL), те преопределят прецизното охлаждане с икономия на пространство.

Основни предимства:

Ефективност в единичен агрегат
» Замества двойни охладители с независими вериги
→ 40% по-чисто пространство спестено + 30% намаление на капиталовите разходи

Точен двоен контрол
» ±0,1℃ стабилност на веригата (ΔT<0. 2℃)
→ Гарантира <3% вариация в дебелината на филма при CVD/PVD

Готовност за интеграция в производството
» Предварително заредени протоколи AMAT/LAM/TEL
→ 90% съвместимост с 300mm инструменти, 65% по-малко простои

Energy TwinDrive™
» 35% по-ниско енергопотребление в сравнение с конвенционални двойки
→ SEMI S23 сертифициран, над 18 000 долара годишни спестявания

Нулево кръстосано замърсяване
» Персонализируеми канали за поток  + Заварени с лазер връзки
→ Съвместим с UPW/флуоринерт/EGW

Основни компоненти и работа:

Компонент	ТЕХНОЛОГИЯ
Компресор	Герметичен инверторен компресор с защита от течност (±0. 1℃ контрол)
Кондензор	Неръждаема стомана, <5% топлинни загуби
Евапоратор	Плочово изпълнение, 35% по-висока ефективност, шум ≤55dB
Подогревател	Потопено директно загряване, равномерност ±0,3℃
Дифференциращ клапан	Електронен клапан с контрол на прегряване ±1℃
Помпа	Магнитен насос (версия за флуорирани течности), <2% пулсация на потока

Принцип на охлаждане:

Адаптивен PID охладителен цикъл :
1️⃣ Компресия → Натискове на хладилния агент
2️⃣ Конденсация → Отдаване на топлина и течнеене
3️⃣ EEV дроселиране → Генериране на ниско налягане
4️⃣ Испарение → Прецизно абсорбиране на топлина от оборудването
5️⃣ Контрол на потока на инвертора → Запазва стабилност ±0. 1℃ стабилност