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싱글 레귤레이션 냉각장치
온도 안정성 : ±0.1℃
온도 범위 : +5℃ ~ +40℃
냉각 용량 : 2kW@20℃ / 3.5kW@20℃ / 9kW@20℃
반도체 포토레지스트 공정 및 식각 장비를 위해 설계되었으며, 인쇄, 레이저, 의료 및 실험실 테스트 응용 분야까지 확장된 호환성을 제공합니다. 정밀 온도 관리를 위한 소형 압축기식 냉각장치입니다.
- 개요
- 추천 제품
기술 설명:
반도체 반응 챔버에서의 정밀 온도 제어를 위한 폐쇄 순환 시스템입니다.
폐쇄 순환 시스템을 통한 반도체 반응 챔버의 정밀 온도 조절
챔버. 열교환기, 순환장치 결합
펌프, 압축기 및 지능형 제어장치
시스템과 예측 및 적응 제어
기술 pID 알고리즘 계층 구조 상위에 적용하여
최고 수준의 공정 안정성 실현
주요 장점:
PCW-Free 콤팩트 디자인 : 설치 공간 30% 감소, 공정 냉각수 의존성 제거
동적 반응 : 에너지 최적화 제어로 온도 안정화 속도 40% 향상
사용자 정의 인터페이스 : 구성 가능한 통신(RS485/Modbus) 및 유체 포트
산업용 견고성 : 풀메탈 케이싱, 25% 낮은 에너지 소비
EMI 내성 제어 : IEC 61000 규격 준수 간섭 저항 특성을 가진 PLC
️ 공냉식 심플함 : 5분 이내 플러그 앤 플레이 설치
핵심 구성품 및 작동:
구성 요소 |
기술 |
압축기 |
액체 슬러깅 보호 기능이 있는 완전 밀폐형 인버터 압축기 (±0.5℃ 제어) |
콘덴서 |
스테인리스강, 열 손실 5% 미만 |
증발기 |
티타늄 플레이트 방식, 효율 35% 향상, 소음 ≤55dB |
히터 |
직접 가열 방식, ±0.3℃ 균일도 |
팽창 밸브 |
±1℃ 과열 조절 기능이 있는 전자 밸브 |
펌프 |
자기구동 펌프(불소계 유체 버전), 유량 변동 2% 미만 |
냉동 원리：
1. 압축 → 냉매 가압
2. 응축 → 방열 및 액화
3. EEV 쓰로틀링 → 저압 미스트 생성
4. 증발 → 장비로부터의 정밀 열 흡수
5. 인버터 유량 제어 → ±0 유지 1℃ 안정성
| LRS 제품 매개변수 | |||||
| 제품 | 냉장고 | ||||
| 모델 | LRS-018 | LRS-030 | LRS-090 | ||
| 냉각 능력(W)@20℃ | 3kW@20℃ | 3.5kW@20℃ | 9kW@20℃ | ||
| 전력 | 1150W | 4300w | 6900W | ||
| 전원 공급 장치 | 1상, 220V, 50Hz | 3상, 220V, 50Hz | |||
| 인터넷 트래픽 | 15LPM | 20LPM | 40LPM | ||
| 정밀도 | ±0.1℃ | ||||
| 냉매 | R410a | R410a | R410a | ||
| 보호 기능 | 모터 과부하, 과열, 누유, 과압, 저압, 유체 부족, 배기 과열 등 보호 기능 | ||||
| 순환 유체의 온도 범위 | +5℃~+40℃ | +5℃~+80℃ | +5℃~+40℃ | ||
| 온도 범위 | 5~35℃ | ||||
| 저장 탱크 용량 | 5L | 10L | 15리터 | ||
| 외부 루프 크기 인터페이스 | Rc1/2" | Rc1/2" | RC1” | ||
| 크기(mm) | 380W X 500D X 655H | 400W X 675D X 800H | 400W X 1000D X 1200H | ||
| 순중량 | 60kg | 70kg | 80kg | ||
