Однорегулируемый чиллер
Стабильность температуры : ±0,1 ℃
Диапазон температур : от +5 до +40 °C
Мощность охлаждения : 2 кВт@20 °C / 3,5 кВт@20 °C /9 кВт@20 °C
Создан для обработки и травления полупроводниковых фоторезистов, совместим с печатным, лазерным, медицинским и лабораторным оборудованием. Компактный чиллер с компрессором для точного теплового контроля.
- Обзор
- Рекомендуемые продукты
Техническое описание:
Система циркуляции замкнутого типа для точного
контроля температуры в реакционных камерах полупроводников
камеры. Комбинирует теплообменники, циркуляцию
насосы, компрессоры и интеллектуальное управление
система с предиктивное и адаптивное управление
технологии слоистая структура поверх алгоритмов ПИД для
непревзойденной стабильности процесса.

Ключевые преимущества:
Компактная конструкция без использования ПКВ : занимает на 30% меньше пространства, исключает зависимость от охлаждающей воды в процессе
Динамическая реакция : стабилизация температуры на 40% быстрее благодаря энергооптимизированному управлению
Пользовательские интерфейсы : Настраиваемая связь (RS485/Modbus) и подключения для жидкостей
Промышленная надежность : Металлический корпус, на 25% меньшее энергопотребление
Управление, устойчивое к электромагнитным помехам : ПЛК с помехоустойчивостью в соответствии с IEC 61000
️ Простота воздушного охлаждения : Простая настройка за ≤5 минут

Основные компоненты и принцип работы:
Компонент |
ТЕХНОЛОГИЯ |
Компрессор |
Герметичный инверторный компрессор с защитой от гидроудара (управление ±0,5℃) |
Конденсатор |
Нержавеющая сталь, <5% потерь тепла |
Испаритель |
Пластинчатый теплообменник из титана, эффективность на 35% выше, уровень шума ≤55 дБ |
Обогреватель |
Погружной прямой нагрев, однородность ±0,3 ℃ |
Расширительный клапан |
Электронный клапан с контролем перегрева ±1 ℃ |
Насос |
Магнитоприводной насос (версия с фторированным теплоносителем), колебание потока <2% |

Принцип охлаждения:
1. Сжатие → Повышение давления хладагента
2. Конденсация → Отвод тепла и сжижение
3. Дросселирование EEV → Образование низкодавленческого тумана
4. Испарение → Точное поглощение тепла от оборудования
5. Инверторное регулирование потока → Поддерживает ±0. 1℃ стабильность

| Параметры продукта LRS | |||||
| Продукт | Чиллер | ||||
| Модель | LRS-018 | LRS-030 | LRS-090 | ||
| Холодопроизводительность (Вт)@20℃ | 3 кВт@20℃ | 3,5 кВт@20℃ | 9 кВт@20℃ | ||
| Мощность | 1150W | 4300 вт | 6900 Вт | ||
| Источник питания | 1Ph,220 В,50 Гц | 3Ph,220 В,50 Гц | |||
| Интернет-трафик | 15 л/мин | 20 л/мин | 40 л/мин | ||
| Прецизионный | ±0.1℃ | ||||
| Хладагент | R410a | R410a | R410a | ||
| Защитная функция | Защита от перегрузки двигателя, перегрева, утечки, избыточного давления, низкого давления, недостатка жидкости, утечки, перегрева выхлопных газов и другие виды защиты | ||||
| Диапазон температур циркулирующей жидкости | +5℃~+40℃ | +5℃~+80℃ | +5℃~+40℃ | ||
| Диапазон температур | 5~35℃ | ||||
| Емкость бака хранения | 5 л | 10Л | 15л | ||
| Внешний интерфейс размера петли | Rc1/2” | Rc1/2” | RC1” | ||
| размер(mm) | 380W X 500D X 655H | 400W X 675D X 800H | 400W X 1000D X 1200H | ||
| вес без упаковки | 60 кг | 70кг | 80кг | ||