EN
Едноканали охладители
Стабилност при температура : ±0,1℃
Температурен диапазон : -40 ˚C～+80 ˚C
Охлаждаща способност : -40 ℃@6 kW/20 ℃@25 kW
С участието на инверторно управление на температурата , тази система повишава енергийната ефективност, докато намалява потреблението на електроенергия. Доставя ±0,1℃ стабилност за приложения, изискващи прецизност, включително:
Полупроводникови етчинг инструменти и CMP (химико-механично полиране)
Лабораторни инструменти и високоточна изпитвателна апаратура
Естетически медицински устройства и твърдотелни лазери
Системи за управление температурата на формите
- Преглед
- Препоръчани продукти
Техническо описание:
Lingheng едноканални чилъри осигуряват целенасочено термично управление с интегрирано компактно изпълнение.
Проектиран за прецизно охлаждане на автономни съоръжения , нашите устройства разполагат с PID контрол при ±0,1℃ и
инверторен компресор за критични приложения, включително:
Средства за метрология в полупроводниците
Лазерни обработващи системи
Медицински анализатори
Тестващи инсталации
Изолирана флуидна схема предотвратява замърсяване, докато конструкция без охлаждаща вода намалява разходите за монтаж с 30%.
Основни предимства:
Криогенно изкуство : Работи при -40℃ с преход на температурата за <3 минути
Циркулация без загуби : Тръбопроводи с лазерно заваряване с годишни загуби на течност <0,1%
Ефективност на инвертора : Спестяване на енергия с 35% спрямо модели с фиксирана скорост (СЕМИ S23 сертифицирано)
Динамични възходящи/низходящи режими : Постига скорост на промяна на температурата ±5℃/мин
Интеграция с множество протоколи : Готово за SECS/GEM и OPC-UA за интеграция към оборудване на ASML/TEL/LAM 
Основни компоненти и работа
Компонент |
ТЕХНОЛОГИЯ |
Компресор |
Герметичен инверторен компресор с защита от течност (±0. 1℃ контрол) |
Кондензор |
Неръждаема стомана, <5% топлинни загуби |
Евапоратор |
Плочово изпълнение, 35% по-висока ефективност, шум ≤55dB |
Подогревател |
Потопено директно загряване, равномерност ±0,3℃ |
Дифференциращ клапан |
Електронен клапан с контрол на прегряване ±1℃ |
Помпа |
Магнитен насос (версия за флуорирани течности), <2% пулсация на потока |
Принцип на охлаждане
Адаптивен PID охладителен цикъл :
1️⃣ Компресия → Натискове на хладилния агент
2️⃣ Конденсация → Отдаване на топлина и течнеене
3️⃣ EEV дроселиране → Генериране на ниско налягане
4️⃣ Испарение → Прецизно абсорбиране на топлина от оборудването
5️⃣ Контрол на потока на инвертора → Запазва стабилност ±0. 1℃ стабилност
| Параметри на продукта VS100/407/020 | |||
| Модел на продукта | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| Метод за охлаждане | Воден охлаждател | ||
| Режим на управление | PID управление | ||
| Обхват на температурния контрол | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| Пределна точност | ±0.1℃ | ||
| Рефрижераторен капацитет |
-20℃@2 KW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
-20℃@5 KW -10℃@10 KW 0℃@15 KW 20℃@25 KW 40℃@25 KW |
-40℃@6 KW -20℃@12 KW 0℃@25 KW 20℃@25 KW 40℃ @25 KW |
| Мощност | 3 kW | ||
| Резервоар | 20 л | 25л | |
| Поток на циркулиращата течност | 20 L/min (0.75 MPa) | 20L/мин (0.7Mpa) | |
| PCW трафик | 15 л/мин @ 15~25°C | 30L/мин @15~25℃ | 50 L/мин @15~25℃ |
| Температурен диапазон | 5~35℃ | ||
| Видове циркулираща течност | Смес от етиленгликол, чиста вода, флуорирана течност | Чиста вода, Смес от етиленгликол, Дестилирана вода, Флуориран разтвор | Етиленгликолна смес, флуорирана течност |
| Хладен агент | R410A | / | / |
| Интерфейс за циркулираща течност | Rc3/4“ | ||
| Интерфейс за PCW | Rc1/2” | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| Външни размери (мм) | 380W*900D*1300H | 420W*900D*1250H | 500W*1150D*1500H |
| Входно захранване | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Мощност на машината | 8КВ | 9.7КВт | 14KW |
| нетно тегло | 200KG | 210 кг | 360кг |
| Стандартни стандарти за проектиране | Семи | ||
