EN
Система за отоплителна яка
Стабилност при температура : ±0. 5℃
Този продукт има следните материали за избор според действителните нужди:
Силиконов пяна Материал
Пълно PTFE Материал
PTFE Покритие Материал
Разширено PTFE Материал
- Преглед
- Препоръчани продукти
Техническо описание:
Системата с поддържане на температурата на газовите/вакуумни тръбопроводи осигурява прецизно регулиране на температурата
през процесите на напреднали производствени технологии. Проектирана по поръчка за специфични изисквания на индустрията,
тя предотвратява кондензирането на непълни реактиви и отлагането на странични продукти
по вътрешните стени на тръбите – което е критично за избягване на затруднено течение и загуба на ефективност на
изпускателната система във вакуум/изпускателните системи на полупроводникови производства. Състои се от три основни компонента:
Отоплителни яки (специфични за следите)
Контролатори за PID (±0.5℃ стабилност)
Конзоли за управление с HMI
това решение осигурява наблюдение в реално време на тръбопроводите и термичен контрол за газопроводи от неръждаема стомана.
Приложения за греещи обвивки :
1. Газови тръбопроводи
Опасни технологични газове :
Борен трихлорид (BCl₃), Хлорен трифлуорид (ClF₃), Тетраетилортосиликат (TEOS)
Дихлорсилан (DCS/SiH₂Cl₂), Волфрамов хексафлуорид (WF₆)
Валидиране на процесите контрол на влажността и предпазване от конденз чрез подгряване на газовите тръбопроводи
2. CVD процеси
Химично отлагане на пара при ниско налягане (LPCVD)
Плазмено-усилена CVD (PECVD)
Функция: Стабилизиране на температурата на прекурсорната пара (±1℃)
3. Метално изтравяне
Системи за плазмено етчингване :
Изтравяне на алуминий (Cl₂/BCl₃ химия)
Изтравяне на волфрам (SF₆/WF₆ смеси)
Функция: Поддържане на постоянство на газовата реактивност
Предимства на системата с подгряване:
Категория предимства |
Технически характеристики |
Прецизен контрол |
±0,5℃ стабилност чрез PID контролери (сертифицирано по ISO 15805) |
Гаранция за безопасност |
Двойни предпазни блокировки: |
Еко-изолация |
Слой за изолация, без PFAS: |
|
Наблюдение на тока в реално време: |
Температурни контролери с PID регулиране
Системата Heating Jacket използва PID контролери за температура за прецизна терморегулация, като всеки контролер работи на отделен сегмент от шината RS485 с уникален мрежови адрес. Тези PID устройства функционират както като самостоятелни модули за управление, така и като интегрирани възли в рамките на разпределена мрежова архитектура. Използвайки протокола Modbus RTU чрез RS485 интерфейси, всички контролери осъществяват двупосочно комуникиране с централното HMI табло, за да се осигни синхронизирано управление на температурата в няколко зони и събиране на данни в реално време, без нуждата от централен PLC.
Панел за контрол с ХМИ
Инсталирането на обгръщащи греещи якета и PID контролери за температура върху вакуумни или газови тръбопроводи е сравнително децентрализирано, което прави невъзможно ефективния мониторинг на реално време на температурите и работното състояние на всички греещи якета едновременно. За да се осигури мониторинг в реално време на състоянието на всички греещи якета, ние сме изградили система с HMI панел за управление, която обединява всички греещи якета в единна платформа, постигайки централизирано управление и комуникационен мениджмънт.
Система за централизирано наблюдение
Всички интерфейси – включително екрани за наблюдение, дисплеи на аларми в реално време, архиви на исторически аларми, записи на събития, графики за анализ на тенденции и форми за отчети – могат да бъдат конфигурирани в главната система (използвайки SCADA платформи като InTouch или iFix) за изчерпателно наблюдение на системата с греещи якета.
Преимущества на системата:
• Подобрена ефективност в управлението - Подобрява общата оперативна ефективност
• Упростен поддръжка - Намалява сложността на експлоатацията и поддръжката
• Оптимизация на разходите - Намалява разходите за инсталиране, експлоатация и разширване
• Надзор с няколко устройства - Възможност за взаимен надзор между няколко компютъра
• Споделяне на ресурси - Осигурява централизирано използване на дискови ресурси
• Резервно копиране - Предоставя функция за взаимно резервиране
• Известяване за аларма чрез няколко канала - Поддържа известия чрез SMS/обаждане и по имейл
• Всестранен анализ на данни - Позволява справки за исторически данни и графично визуализиране на тенденции
• Автоматизирано отчитане - Генерира системни отчети автоматично
• Управление на мрежата - Позволява централизирано наблюдение на системната администрация
| Вътрешна тъкан | PTFE Тefлонова тъкан |
| Елемент за отопляне | PTFE никел-хромов нагревателен елемент |
| Изолиране | Стъклено влакно с висока плътност |
| Външен тъканен материал | PTFE Тefлонова тъкан |
| Фиксирана закопчалка | Антипожарна и термостойка лепкава лента |
