EN
Ψύκτες CO2
Σταθερότητα θερμοκρασίας : ±0,1℃
Εύρος θερμοκρασίας : -20˚C～+80˚C
Ικανότητα ψύξης : -20℃@2 KW/20℃@10 KW
Παρέχοντας ακριβή θερμική ρύθμιση μέσω συμπαγών εναλλακτών ψύξης με συμπιεστή για :
Κατασκευή & δοκιμή πλακών ημιαγωγών
Επιβεβαίωση μπαταρίας νέας ενέργειας/e-drive
Ψύξη ακριβείας εξοπλισμού
Εφαρμογές ψύξης με αέρα για συγκεκριμένες δοκιμές
- Επισκόπηση
- Προτεινόμενα Προϊόντα
Τεχνική περιγραφή:
Ψύκτης Lingheng CO₂ Ultra-Clean
Αξιοποίηση φυσικό ψυκτικό μέσο (GWP=1, ODP=0) για να παράσχουμε ακριβής θερμική ρύθμιση ±0,1℃ για προηγμένες διεργασίες ημιαγωγών. Δυνατοποιεί λειτουργία ευρείας περιοχής από -40℃ έως +100℃ μέσω τεχνολογίας κυκλικής μεταφοράς, συμβατή με εφαρμογές ζωτικής σημασίας:
Φωτολιθογραφία
Γλυφισμός
Εναπόθεση Ατομικής Στιβάδας (ALD)
Πλήρως στεγανή διαδρομή ροής πληροί τα πρότυπα αίθουσας καθαρότητας Class 100, ενώ Σχεδίαση χωρίς F-αέριο μειώνει την έκθεση στον φόρο άνθρακα — επιτυγχάνοντας τόσο αριστοποίηση διαδικασιών όσο και συμμόρφωση με τα ESG.
Βασικά Πλεονεκτήματα：
Περιβαλλοντική βιωσιμότητα:
GWP=1 - Πλήρως ευθυγραμμισμένος με τους παγκόσμιους στόχους για το κλίμα, μειώνοντας την έκθεση στο φόρο ανθρακικών εκπομπών
Φυσικό ψυκτικό υγρό - Εξαλείφει τις απαιτήσεις ανάκτησης/διάθεσης υπερχλωριούχων αερίων
Μηδενική ODP - Συμμορφωμένος με διεθνείς κανονισμούς (π.χ., Τροποποίηση της Κιγκάλι)
ακρίβεια ±0,1℃ - Δυνατοποιεί προηγμένους κόμβους (TSMC 5nm συμμορφωμένος με την κατάργηση υπερχλωριούχων ψυκτικών υγρών)
Λειτουργία χωρίς μόλυνση - Υπολείμματα CO₂ <1ppb, πιστοποιημένο για καθαρές αίθουσες κατηγορίας 1000
30% υψηλότερος COP - Τεχνολογία αντιστροφέα κυκλώματος σε υπέρ-κρίσιμη κατάσταση (επαληθευμένη σε σχέση με τη βασική έκδοση LIAT 1.0)
Απόδοση ασφάλειας:
Μη τοξικό και μη εύφλεκτο - Εξαλείφει τους κινδύνους διαρροής των ψυκτικών με φθόριο
Μείωση κινδύνου στο εργοστάσιο - 68% χαμηλότερος δείκτης περιβαλλοντικού κινδύνου (σύμφωνα με το πρότυπο SEMI S10)
Βασικά εξαρτήματα & Λειτουργία:
CompoNent |
Τεχνολογία |
Συμπιεστής |
Ηρμετικός συμπιεστής αντιστροφέα με προστασία από υγρή πληγή (έλεγχος ±0,5℃) |
Συσσωρευτής |
Ανοξείδωτος χάλυβας, <5% απώλειες θερμοκρασίας |
Εξατμιστής |
Πλακοειδές από τιτάνιο, 35% υψηλότερη απόδοση, θόρυβος ≤55dB |
Θερμάστρα |
Εμβυθισμένη άμεση θέρμανση, ομοιομορφία ±0,3℃ |
Βαλβίδα επέκτασης |
Ηλεκτρονική βαλβίδα με έλεγχο υπερθέρμανσης ±1℃ |
Η αντλία |
Αντλία μαγνητικής κίνησης (έκδοση με φθοριούχο υγρό), <2% διακύμανση ροής |
Αρχή λειτουργίας ψύξης:
1. Συμπίεση → Αύξηση πίεσης του ψυκτικού μέσου
2. Συμπύκνωση → Απαγωγή θερμότητας και υγροποίηση
3. Περιορισμός EEV → Δημιουργία ψεκασμού υπό χαμηλή πίεση
4. Εξάτμιση → Ακριβής απορρόφηση θερμότητας από τον εξοπλισμό
5. Έλεγχος ροής μετατροπέα → Διατηρεί σταθερότητα ±0, 1℃ σταθερότητα
| Παράμετροι Προϊόντος GVS010 | Παράμετροι Προϊόντος GVS405 | ||
| Μοντέλο προϊόντος | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Μέθοδος Ψύξης |
Ψύξη με ψυκτικό υγρό |
||
| Λειτουργικός τρόπος ελέγχου |
Έλεγχος PID |
||
| Περιοχή ελέγχου θερμοκρασίας | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | -20℃ έως +90℃ |
| Ακρίβεια |
±0.1℃ |
||
| Ικανότητα ψύξης |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-40℃@4KW |
4 kW @ -10℃ 10 kW @ +20℃ |
| Δύναμη | 3ΚW | 3ΚW | |
| Tank | 20L | 20L | |
| Παροχή κυκλοφορούντος υγρού | 20L/min (0,75Mpa) | 20 L/min (0,5 MPa) | 20 L/min (0,7 MPa) |
| Κυκλοφορία PCW | 15L/min@15~25℃ | 15 L/min @ 15–25 ℃ @ 0,3–0,4 MPa | |
| Εύρος θερμοκρασίας | 5~35℃ | ||
| Τύποι Κυκλοφορούμενου Υγρού | Μίγμα Αιθυλενογλυκόλης, Καθαρό Νερό, Υγρό Φθορίου | ||
| Ψυκτικό μέσο | R744 (CO2) | ||
| Διεπαφή Κυκλοφορούμενου Υγρού |
Rc3/4" |
||
| Διεπαφή PCW | Rc1/2” | Rc1-1/4” | Rc1/2” |
| Εξωτερικές διαστάσεις (mm) | 380W*900D*1250H | 500 W × 1160 D × 1650 H |
600 P × 900 B × 1300 Y (mm) |
| Εισαγωγή ρεύματος | 3Ph,208-220V,50Hz | τριφασικό, 208–220 V, 50/60 Hz | |
| Ισχύς μηχανής | 8KW | 15,4 kW | |
| καθαρό βάρος | 200ΚΓ | ||
| Πρότυπα σχεδιασμού | Μεσαίος | Μεσαίος | SEMI S2, F47 |
