Ψύκτες CO2

Τεχνική περιγραφή:

Ψύκτης Lingheng CO₂ Ultra-Clean
Αξιοποίηση φυσικό ψυκτικό μέσο (GWP=1, ODP=0) για να παράσχουμε ακριβής θερμική ρύθμιση ±0,1℃ για προηγμένες διεργασίες ημιαγωγών. Δυνατοποιεί λειτουργία ευρείας περιοχής από -40℃ έως +100℃ μέσω τεχνολογίας κυκλικής μεταφοράς, συμβατή με εφαρμογές ζωτικής σημασίας:

Φωτολιθογραφία

Γλυφισμός

Εναπόθεση Ατομικής Στιβάδας (ALD)
Πλήρως στεγανή διαδρομή ροής πληροί τα πρότυπα αίθουσας καθαρότητας Class 100, ενώ Σχεδίαση χωρίς F-αέριο μειώνει την έκθεση στον φόρο άνθρακα — επιτυγχάνοντας τόσο αριστοποίηση διαδικασιών όσο και συμμόρφωση με τα ESG.

Βασικά Πλεονεκτήματα：

Περιβαλλοντική βιωσιμότητα:

GWP=1 - Πλήρως ευθυγραμμισμένος με τους παγκόσμιους στόχους για το κλίμα, μειώνοντας την έκθεση στο φόρο ανθρακικών εκπομπών

Φυσικό ψυκτικό υγρό - Εξαλείφει τις απαιτήσεις ανάκτησης/διάθεσης υπερχλωριούχων αερίων

Μηδενική ODP - Συμμορφωμένος με διεθνείς κανονισμούς (π.χ., Τροποποίηση της Κιγκάλι)

Τεχνική προνομιακότητα:

ακρίβεια ±0,1℃ - Δυνατοποιεί προηγμένους κόμβους (TSMC 5nm συμμορφωμένος με την κατάργηση υπερχλωριούχων ψυκτικών υγρών)

Λειτουργία χωρίς μόλυνση - Υπολείμματα CO₂ <1ppb, πιστοποιημένο για καθαρές αίθουσες κατηγορίας 1000

30% υψηλότερος COP - Τεχνολογία αντιστροφέα κυκλώματος σε υπέρ-κρίσιμη κατάσταση (επαληθευμένη σε σχέση με τη βασική έκδοση LIAT 1.0)

Απόδοση ασφάλειας:

Μη τοξικό και μη εύφλεκτο - Εξαλείφει τους κινδύνους διαρροής των ψυκτικών με φθόριο

Μείωση κινδύνου στο εργοστάσιο - 68% χαμηλότερος δείκτης περιβαλλοντικού κινδύνου (σύμφωνα με το πρότυπο SEMI S10)

Βασικά εξαρτήματα & Λειτουργία:

Αρχή λειτουργίας ψύξης:

1. Συμπίεση → Αύξηση πίεσης του ψυκτικού μέσου
2. Συμπύκνωση → Απαγωγή θερμότητας και υγροποίηση
3. Περιορισμός EEV → Δημιουργία ψεκασμού υπό χαμηλή πίεση
4. Εξάτμιση → Ακριβής απορρόφηση θερμότητας από τον εξοπλισμό
5. Έλεγχος ροής μετατροπέα → Διατηρεί σταθερότητα ±0, 1℃ σταθερότητα