Ψύκτης Διπλού Καναλιού

Τεχνική περιγραφή:

Ψύκτες Lingheng με διπλό κύκλωμα παρέχουν διπλό ανεξάρτητο έλεγχο θερμοκρασίας σε μια μονάδα
Που χαρακτηρίζει σταθερότητα ±0,1℃ ανά κύκλωμα , αυτά τα συστήματα έχουν σχεδιαστεί για:

Σύγχρονη ψύξη θαλάμων PVD/CVD

Διαχείριση θερμοκρασίας σε πολλές ζώνες στα εργαλεία διάβρωσης
Με 40% μικρότερο χώρο καταστήματος και επαληθευμένη συμβατότητα στη βιομηχανία (AMAT/LAM/TEL), ορίζουν ξανά την ακριβή ψύξη εξοικονόμησης χώρου.

Βασικά Πλεονεκτήματα:

Αποδοτικότητα Δύο σε Ένα
» Αντικαθιστά διπλά ψυκτικά μηχανήματα με ανεξάρτητα κυκλώματα
→ 40% εξοικονόμηση χώρου στον καθαρό χώρο + 30% μείωση των κεφαλαιουχικών δαπανών

Ακριβής Διπλή Ρύθμιση
» Σταθερότητα ±0,1℃ ανά κύκλωμα (ΔT<0. 2℃)
→ Διασφαλίζει <3% μεταβολή πάχους φιλμ στη CVD/PVD

Ολοκλήρωση Έτοιμης Παραγωγής
» Προ-φορτωμένα πρωτόκολλα AMAT/LAM/TEL
→ 90% συμβατότητα με εργαλεία 300mm, 65% λιγότερη διακοπή λειτουργίας

Energy TwinDrive™
» 35% μειωμένη κατανάλωση ενέργειας σε σχέση με συμβατικά ζεύγη
→ Πιστοποιημένο SEMI S23, ετήσια εξοικονόμηση >$18k

Μηδενική διασταυρούμενη μόλυνση
» Προσαρμοστικές διαδρομές ροής  + αρμοί συγκόλλησης με λέιζερ
→ Συμβατό με UPW/fluorinert/EGW

Βασικά εξαρτήματα & Λειτουργία:

CompoNent	Τεχνολογία
Συμπιεστής	Αεροστεγής συμπιεστής inverter με προστασία από υγρή πληγή (έλεγχος ±0. 1℃)
Συσσωρευτής	Ανοξείδωτος χάλυβας, <5% απώλειες θερμοκρασίας
Εξατμιστής	Σχεδιασμός πλακών, 35% υψηλότερη απόδοση, θόρυβος ≤55dB
Θερμάστρα	Εμβυθισμένη άμεση θέρμανση, ομοιομορφία ±0,3℃
Βαλβίδα επέκτασης	Ηλεκτρονική βαλβίδα με έλεγχο υπερθέρμανσης ±1℃
Η αντλία	Αντλία μαγνητικής κίνησης (έκδοση με φθοριούχο υγρό), <2% διακύμανση ροής

Αρχή λειτουργίας ψύξης:

Προσαρμοστικός θερμοκρασιακός έλεγχος PID :
1️⃣ Συμπίεση → Αύξηση πίεσης του ψυκτικού μέσου
2️⃣ Συμπύκνωση → Απαγωγή θερμότητας & υγροποίηση
3️⃣ Στραγγαλισμός EEV → Δημιουργία χαμηλής πίεσης
4️⃣ Εξάτμιση → Ακριβής απορρόφηση θερμότητας από τον εξοπλισμό
5️⃣ Έλεγχος ροής μεταβλητού στροφών → Διατηρεί ±0. 1℃ σταθερότητα