EN
Ψύκτες Τριπλού Καναλιού
Σταθερότητα θερμοκρασίας : ±0,1℃
Εύρος θερμοκρασίας : -40˚C～+80˚C
Ικανότητα ψύξης : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Βιομηχανικός συμπιεστής ψύξης με συμπιεστές πολυτελείας για εξαιρετική σταθερότητα. Παρέχει σταθερότητα θερμοκρασίας εξόδου ±0,1℃ για κρίσιμες εφαρμογές όπως:
Ψύξη εξοπλισμού φωτολιθογραφίας/ξήλωσης
Διαχείριση θερμοκρασίας εργαλείων PVD/CVD
Έλεγχος θερμοκρασίας χημικών και φαρμακευτικών αντιδραστήρων
Συμμορφούμενη με τους κανονισμούς GMP φαρμακευτική ψύξη διεργασιών
- Επισκόπηση
- Προτεινόμενα Προϊόντα
Τεχνική περιγραφή:
Ψύκτες Τριπλού Κυκλώματος Lingheng παρέχουν ακριβή ψύξη πολλαπλών φορτίων (±0,1℃) σε μια μονάδα. Με ρυθμιζόμενες εξόδους για σταθερά περιβάλλοντα, παρέχουν:
✅ ΕΛΕΓΧΟΣ SMART : Προγραμματισμένη λειτουργία, αυτόματη αντιστάθμιση, αυτοδιάγνωση
✅ Τριπλή Ασφάλεια : Συναγερμοί υπερθέρμανσης/υπερφόρτωσης/έλλειψης νερού
✅ Βιομηχανική Διασύνδεση : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Σχεδιασμένοι για εργαλειοθήκες ημιαγωγών και γραμμές παραγωγής φωτοβολταϊκών με εξοικονόμηση ενέργειας 30%.
Βασικά Πλεονεκτήματα:
Ενσωμάτωση TripleSync™
» 3 ανεξάρτητα κυκλώματα σε ενιαίο πλαίσιο
→ Μείωση κατά 55% της απαραίτητης επιφάνειας αίθουσας καθαρότητας
Ακρίβεια Επιπέδου Συστοιχίας
» Σταθερότητα ±0,1℃ με διακύκλωμα βαθμίδα <±0,03℃
→ Δυνατοποιεί τη συγχρονισμένη διαδικασία πολλαπλών θαλάμων
Δυναμικό Ισορροπισμός Φορτίου
» Έξυπνη διανομή ψύξης (συνολική ισχύς 30kW)
→ Εξοικονόμηση ενέργειας 28% σε μεταβλητά φορτία
Πολυσυμβατότητα Εργαλείων
» Plug-and-play με εργαλεία συστοιχίας ASML/AMAT/TEL
→ Υποστηρίζει γραμμές 300mm fabs & PV TOPCon
Οικοσύστημα Υπερκαθαρού Τιτανίου
» Προσαρμοστικές διαδρομές ροής με μοντουλική στεγανοποίηση
→ <0,1 ppb υπολειμματικής ύλης (σύμφωνα με το πρότυπο Class 10)
Βασικά εξαρτήματα & Λειτουργία:
CompoNent |
Τεχνολογία |
Συμπιεστής |
Αεροστεγής συμπιεστής inverter με προστασία από υγρή πληγή (έλεγχος ±0. 1℃) |
Συσσωρευτής |
Ανοξείδωτος χάλυβας, <5% απώλειες θερμοκρασίας |
Εξατμιστής |
Σχεδιασμός πλακών, 35% υψηλότερη απόδοση, θόρυβος ≤55dB |
Θερμάστρα |
Εμβυθισμένη άμεση θέρμανση, ομοιομορφία ±0,3℃ |
Βαλβίδα επέκτασης |
Ηλεκτρονική βαλβίδα με έλεγχο υπερθέρμανσης ±1℃ |
Η αντλία |
Αντλία μαγνητικής κίνησης (έκδοση με φθοριούχο υγρό), <2% διακύμανση ροής |
Αρχή λειτουργίας ψύξης:
Προσαρμοστικός θερμοκρασιακός έλεγχος PID :
1️⃣ Συμπίεση → Αύξηση πίεσης του ψυκτικού μέσου
2️⃣ Συμπύκνωση → Απαγωγή θερμότητας & υγροποίηση
3️⃣ Στραγγαλισμός EEV → Δημιουργία χαμηλής πίεσης
4️⃣ Εξάτμιση → Ακριβής απορρόφηση θερμότητας από τον εξοπλισμό
5️⃣ Έλεγχος ροής μεταβλητού στροφών → Διατηρεί ±0. 1℃ σταθερότητα
| Παράμετροι Προϊόντος VT410 | |
| Όνομα προϊόντος | Χειροκροτητή |
| Μοντέλο προϊόντος | VT410-W-33 |
| Μέθοδος Ψύξης | Ψύξη με νερό |
| Λειτουργικός τρόπος ελέγχου | Έλεγχος PID |
| Περιοχή ελέγχου θερμοκρασίας | CH1:-45~+60℃ |
| CH2:+30~+90℃ | |
| CH3:+10~+55℃ | |
| Ακρίβεια | ±0.1℃ |
| Ικανότητα ψύξης | CH1:6 KW @ -40℃ |
| CH2:30 KW @ +30℃ | |
| CH3:28 KW@+20℃ | |
| Δύναμη | CH1:4 KW |
| CH2:14 KW | |
| CH3:4 KW | |
| Tank | Δεξαμενή διαστολής CH1 / CH2 30L + δεξαμενή ζεστού νερού 25L |
| Ροή κυκλοφορούντος υγρού | CH1:17 L/min @ 0,9MPa |
| CH2:17 L/min @ 0,9MPa | |
| CH3:25 L/min @ 0,76MPa | |
| Κυκλοφορία PCW | CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa |
| CH2: 20 L/min@15~25℃@0,3MPa | |
| CH3: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa | |
| Εύρος θερμοκρασίας | 5~35 ℃ |
| Τύπος περιστρεφόμενου υγρού | FC3283 |
| Διεπαφή Κυκλοφορούμενου Υγρού | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| Διεπαφή PCW | CH1/CH2/CH3: Rc1" |
|
Εξωτερικές διαστάσεις (μμ) |
600W*1370D*2000H |
| Εισαγωγή ρεύματος | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Συνολική δύναμη μηχανής | 41,1 KW |
| Καθαρό βάρος | 600 κιλά |
| Πρότυπα σχεδιασμού | Μεσαίος |
