Ψύκτες Τριπλού Καναλιού

Σταθερότητα θερμοκρασίας : ±0,1℃

Εύρος θερμοκρασίας : -40˚C～+80˚C

Ικανότητα ψύξης : -40℃@6 KW /20℃@25 KW
Βιομηχανικός συμπιεστής ψύξης με συμπιεστές πολυτελείας για εξαιρετική σταθερότητα. Παρέχει σταθερότητα θερμοκρασίας εξόδου ±0,1℃ για κρίσιμες εφαρμογές όπως:

Ψύξη εξοπλισμού φωτολιθογραφίας/ξήλωσης

Διαχείριση θερμοκρασίας εργαλείων PVD/CVD

Έλεγχος θερμοκρασίας χημικών και φαρμακευτικών αντιδραστήρων

Συμμορφούμενη με τους κανονισμούς GMP φαρμακευτική ψύξη διεργασιών

Επισκόπηση
Προτεινόμενα Προϊόντα

Τεχνική περιγραφή:

Ψύκτες Τριπλού Κυκλώματος Lingheng παρέχουν ακριβή ψύξη πολλαπλών φορτίων (±0,1℃) σε μια μονάδα. Με ρυθμιζόμενες εξόδους για σταθερά περιβάλλοντα, παρέχουν:
✅ ΕΛΕΓΧΟΣ SMART : Προγραμματισμένη λειτουργία, αυτόματη αντιστάθμιση, αυτοδιάγνωση
✅ Τριπλή Ασφάλεια : Συναγερμοί υπερθέρμανσης/υπερφόρτωσης/έλλειψης νερού
✅ Βιομηχανική Διασύνδεση : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Σχεδιασμένοι για εργαλειοθήκες ημιαγωγών και γραμμές παραγωγής φωτοβολταϊκών με εξοικονόμηση ενέργειας 30%.

原理图5-英.png

Βασικά Πλεονεκτήματα:

Ενσωμάτωση TripleSync™
» 3 ανεξάρτητα κυκλώματα σε ενιαίο πλαίσιο
→ Μείωση κατά 55% της απαραίτητης επιφάνειας αίθουσας καθαρότητας

Ακρίβεια Επιπέδου Συστοιχίας
» Σταθερότητα ±0,1℃ με διακύκλωμα βαθμίδα <±0,03℃
→ Δυνατοποιεί τη συγχρονισμένη διαδικασία πολλαπλών θαλάμων

Δυναμικό Ισορροπισμός Φορτίου
» Έξυπνη διανομή ψύξης (συνολική ισχύς 30kW)
→ Εξοικονόμηση ενέργειας 28% σε μεταβλητά φορτία

Πολυσυμβατότητα Εργαλείων
» Plug-and-play με εργαλεία συστοιχίας ASML/AMAT/TEL
→ Υποστηρίζει γραμμές 300mm fabs & PV TOPCon

Οικοσύστημα Υπερκαθαρού Τιτανίου
» Προσαρμοστικές διαδρομές ροής με μοντουλική στεγανοποίηση
→ <0,1 ppb υπολειμματικής ύλης (σύμφωνα με το πρότυπο Class 10)

结构图.png

Βασικά εξαρτήματα & Λειτουργία:

CompoNent	Τεχνολογία
Συμπιεστής	Αεροστεγής συμπιεστής inverter με προστασία από υγρή πληγή (έλεγχος ±0. 1℃)
Συσσωρευτής	Ανοξείδωτος χάλυβας, <5% απώλειες θερμοκρασίας
Εξατμιστής	Σχεδιασμός πλακών, 35% υψηλότερη απόδοση, θόρυβος ≤55dB
Θερμάστρα	Εμβυθισμένη άμεση θέρμανση, ομοιομορφία ±0,3℃
Βαλβίδα επέκτασης	Ηλεκτρονική βαλβίδα με έλεγχο υπερθέρμανσης ±1℃
Η αντλία	Αντλία μαγνητικής κίνησης (έκδοση με φθοριούχο υγρό), <2% διακύμανση ροής

Αρχή λειτουργίας ψύξης:

Προσαρμοστικός θερμοκρασιακός έλεγχος PID :
1️⃣ Συμπίεση → Αύξηση πίεσης του ψυκτικού μέσου
2️⃣ Συμπύκνωση → Απαγωγή θερμότητας & υγροποίηση
3️⃣ Στραγγαλισμός EEV → Δημιουργία χαμηλής πίεσης
4️⃣ Εξάτμιση → Ακριβής απορρόφηση θερμότητας από τον εξοπλισμό
5️⃣ Έλεγχος ροής μεταβλητού στροφών → Διατηρεί ±0. 1℃ σταθερότητα

Παράμετροι Προϊόντος VT410		VT210-W-32
Όνομα Προϊόντος	Χειροκροτητή
Μοντέλο προϊόντος	VT410-W-33	VT210-W-33
Μέθοδος Ψύξης	Ψύξη με νερό
Λειτουργικός τρόπος ελέγχου	Έλεγχος PID
Περιοχή ελέγχου θερμοκρασίας	CH1:-45~+60℃	Κανάλι 1: +10℃ έως +80℃

	CH2:+30~+90℃	Κανάλι 2: +30℃ έως +90℃

	CH3:+10~+55℃	Κανάλι 3: +30℃ έως +90℃
Ακρίβεια	±0.1℃
Ικανότητα ψύξης	CH1:6 KW @ -40℃	Κανάλι 1: 15 kW @20°C

	CH2:30 KW @ +30℃	Κανάλι 2: 20 kW @+60°C

	CH3:28 KW@+20℃	Κανάλι 3: 20 kW @+60°C
Δύναμη	CH1:4 KW

	CH2:14 KW

	CH3:4 KW
Tank	Δεξαμενή διαστολής CH1 / CH2 30L + δεξαμενή ζεστού νερού 25L
Ροή κυκλοφορούντος υγρού	CH1:17 L/min @ 0,9MPa	25 L–30 L/min @0,65 MPa

	CH2:17 L/min @ 0,9MPa

	CH3:25 L/min @ 0,76MPa
Κυκλοφορία PCW	CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa

	CH2: 20 L/min@15~25℃@0,3MPa

	CH3: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa
Εύρος θερμοκρασίας	5~35 ℃
Τύπος περιστρεφόμενου υγρού	FC3283
Διεπαφή Κυκλοφορούμενου Υγρού	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"	CH1/CH2/CH3: Rc 3/4"
Διεπαφή PCW	CH1/CH2/CH3: Rc1"	Κανάλι 1/Κανάλι 2/Κανάλι 3: Rc1-1/4″
Εξωτερικές διαστάσεις (μμ)	600W1370D2000H	1100W1400D1600H
Εισαγωγή ρεύματος	3Ph,380-400V,50Hz
Συνολική δύναμη μηχανής	41,1 KW
Καθαρό βάρος	600 κιλά
Πρότυπα σχεδιασμού	Μεσαίος