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シングルチャネルチラー
温度安定性 : ±0.1℃
温度範囲 :-40˚C～+80˚C
冷却能力 :-40℃@6 KW／20℃@25 KW
特集 インバーター式温度制御 , このシステムはエネルギー効率を高めながら消費電力を削減します。提供 ±0.1℃の安定性 高精度が要求される以下の用途に適用：
半導体エッチング装置およびCMP（化学機械的研磨）
実験室機器および高精度試験装置
美容医療機器および固体レーザー
金型温度管理システム
- 概要
- おすすめ製品
技術的説明:
リンヘン シングルチャンネルチラー コンパクトな統合設計により、的確な熱管理を実現します。
のために設計された 独立型装置の高精度冷却 、当社の装置は±0.1℃のPID制御と
インバーターコンプレッサー技術を備え、次のような重要な用途に最適です：
半導体計測装置
レーザー加工システム
医療用分析装置
試験機のセットアップ
隔離された流体回路によりクロスコンタミネーションを防止し、PCW不要の構造により設置コストを30%削減します。
主な利点：
極低温技術 -40℃で動作し、温度遷移時間が3分未満
ゼロロス循環 レーザー溶接配管により年間流体損失が0.1%未満
インバーター効率 固定速度モデルと比較して35%のエネルギー削減（SEMI S23認証）
ダイナミックランプ性能 ±5℃/分の温度変化速度を実現
マルチプロトコル統合 aSML/TEL/LAMツールとの統合に備えたSECS/GEMおよびOPC-UA対応 
コアコンポーネントおよび運転
構成部品 |
テクノロジー |
コンプレッサー |
液体スラグ保護機能付き密閉インバーターコンプレッサー（±0. 1℃ 制御） |
コンデンサ |
ステンレス鋼、熱損失5％未満 |
蒸発器 |
プレート型設計、効率が35％向上、騒音≤55dB |
ヒーター |
浸漬直接加熱、±0.3℃均一性 |
膨張弁 |
電子弁付き過熱制御±1℃ |
ポンプ |
マグドライブポンプ（フッ素系流体対応）、流量変動<2% |
冷凍原理
適応型PID冷凍サイクル :
1️⃣ 圧縮 → 冷媒加圧
2️⃣ 凝縮 → 放熱および液化
3️⃣ EEV絞り → 低圧生成
4️⃣ 蒸発 → 装置からの高精度熱吸収
5️⃣ インバーターフロー制御 → ±0を維持 1℃ 安定性
| VS100/407/020 製品パラメータ | |||
| 製品モデル | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| 冷却方法 | 水冷 | ||
| 制御モード | PID制御 | ||
| 温度制御範囲 | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| 精度 | ±0.1℃ | ||
| 冷却能力 |
-20℃@2 KW -10℃@4 kW 0℃@6 kW 20℃@10 kW 80℃@10 kW |
-20℃@5 KW -10℃@10 KW 0℃@15 KW 20℃@25 KW 40℃@25 KW |
-40℃@6 KW -20℃@12 KW 0℃@25 KW 20℃@25 KW 40℃ @25 KW |
| 電力 | 3KW | ||
| タンク | 20L | 25L | |
| 循環液体流量 | 20L/min（0.75MPa） | 20L/min(0.7Mpa) | |
| PCW 流量 | 15L/分＠15〜25℃ | 30L/min@15~25℃ | 50 L/min@15~25℃ |
| 温度範囲 | 5~35℃ | ||
| 循環流体の種類 | エチレングリコール混合液、純水、フッ素系液体 | 清水、エチレングリコール混合液、純水、フッ素系溶液 | エチレングリコール混合液、フッ素系液体 |
| 冷媒 | R410a | / | / |
| 循環液インターフェース | Rc3/4“ | ||
| PCWインターフェース | Rc1/2" | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| 外形寸法（mm） | 380W*900D*1300H | 420W*900D*1250H | 500W*1150D*1500H |
| 入力電源 | 3Ph,208-220V,50Hz | 3Ph,208-220V,50Hz | 3相、380-400V、50Hz |
| 機械の電源 | 8KW | 9.7KW | 14kw |
| 本体重量 | 200KG | 210kg | 360kg |
| 設計基準 | セミ | ||
