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超低温チラー
温度安定性 : ±0.1℃
温度範囲 : -70˚C～+80˚C
冷却能力 : 12kW@-60℃ 8kW@-70℃
産業用コンプレッサーチラー 高品質ブランドのコンプレッサーを備え、優れた安定性を実現。 ±0.1℃ 出口温度安定性を提供 以下の重要な用途に最適：
フォトリソ／エッチング装置の冷却
PVD／CVDツールの熱管理
化学・医薬反応器の温度制御
GMP準拠の医薬プロセス冷却
- 概要
- おすすめ製品
技術説明
Linghengクライオ冷凍機は、-70℃の深冷凍機能により産業用冷却の限界を再定義します。
高効率カスケード冷凍システムと自然冷媒技術（GWP=1）を搭載。
冷却損失を25％削減し、 ±0.1℃の安定性 sECS/GEMプロトコル対応を備えています
カスタムI/O構成を備え、クラス100のクリーンルーム基準を満たしながら、同時に
プロセス上の課題および炭素税の適合性に対応します。
重要な利点
-70℃ 超低温作動
→ 高度な半導体/バイオテクノロジー工程向けに設計
高度なシーリング技術
→ 従来モデルと比較して冷却損失を25％以上低減
カスタムインターフェース統合
→ 設定可能な通信ポートおよび流体接続 
コアコンポーネントおよび運転
構成部品 |
テクノロジー |
コンプレッサー |
液体スラグ保護機能付き密閉インバーターコンプレッサー（±0. 1℃ 制御） |
コンデンサ |
ステンレス鋼、熱損失5％未満 |
蒸発器 |
プレート型設計、効率が35％向上、騒音≤55dB |
ヒーター |
浸漬直接加熱、±0.3℃均一性 |
膨張弁 |
電子弁付き過熱制御±1℃ |
ポンプ |
マグドライブポンプ（フッ素系流体対応）、流量変動<2% |
冷凍原理
適応型PID冷凍サイクル :
1️⃣ 圧縮 → 冷媒加圧
2️⃣ 凝縮 → 放熱および液化
3️⃣ EEV絞り → 低圧生成
4️⃣ 蒸発 → 装置からの高精度熱吸収
5️⃣ インバーターフロー制御 → ±0を維持 1℃ 安定性
| US708 製品仕様 | |
| 製品 | チラー |
| 製品モデル | US708-W-33 |
| 冷却方法 | 水冷式冷却タイプ |
| 制御モード | PID制御 |
| 温度制御範囲 | -70℃~+40℃ |
| 精度 | ±0.1℃ |
| 冷却能力 | 12kW@-60℃ |
| 8kW@-70℃ | |
| 電力 | 6Kw |
| タンク | 15+15L ダブルタンク運転 + 流体補充タンク |
| 循環液体 | 20 L/分 @ 0.7MPa |
| 流量 | |
| PCW 流量 | 50～80L/分@15~25℃ |
| 温度範囲 | 5~35℃ |
| 循環流体の種類 | エチレングリコール混合液、フッ素化液体 |
| 循環液インターフェース | Rc3/4” |
| PCWインターフェース | Rc2” |
| サイズ (mm) | 600W*1370D*1820H |
| 入力電源 | 3相、380-400V、50Hz |
| 機械の電源 | 22KW |
| 本体重量 | 体重650kg |
| 設計基準 | セミ |
