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싱글 채널 냉각기
온도 안정성 : ±0.1℃
온도 범위 : -40˚C～+80˚C
냉각 용량 : -40℃@6 KW/20℃@25 KW
소재 인버터 기반 온도 제어 , 이 시스템은 에너지 효율성을 향상시키면서 전력 소비를 줄입니다. 출력 ±0.1℃ 안정성 정밀도가 중요한 적용 분야에는 다음이 포함됩니다.
반도체 에칭 장비 및 CMP(화학 기계적 연마)
실험실 기기 및 고정밀 시험 장비
미용 의료 기기 및 고상 레이저
금형 온도 조절 시스템
- 개요
- 추천 제품
기술 설명:
링헝 싱글 채널 냉각장치는 통합형 소형 설계로 집중적인 열관리를 제공합니다.
위해 설계된 독립형 장비의 정밀 냉각 ±0.1℃ PID 제어 및
인버터 컴프레서 기술을 적용하여 핵심 응용 분야에 적합합니다.
반도체 계측 도구
레이저 가공 시스템
의료 분석 장비
시험 벤치 설치
격리된 유체 회로는 교차 오염을 방지하며, PCW가 없는 설계는 설치 비용을 30% 절감합니다.
주요 장점:
극저온 기술 우수성 : -40℃에서 작동하며 온도 전환 시간이 3분 미만
제로로스 순환 : 레이저 용접 파이프, 연간 유체 손실 <0.1%
인버터 효율성 : 고정속도 모델 대비 35% 에너지 절약 (SEMI S23 인증)
동적 램프 성능 : ±5℃/분의 온도 변화율 달성
멀티 프로토콜 통합 : ASML/TEL/LAM 장비 통합을 위한 SECS/GEM 및 OPC-UA 지원 
핵심 구성 요소 및 작동
구성 요소 |
기술 |
압축기 |
액체 슬러깅 보호 기능이 있는 밀폐형 인버터 컴프레서 (±0. 1℃ 제어) |
콘덴서 |
스테인리스강, 열 손실 5% 미만 |
증발기 |
플레이트형 설계, 효율성이 35% 높음, 소음 ≤55dB |
히터 |
직접 가열 방식, ±0.3℃ 균일도 |
팽창 밸브 |
±1℃ 과열 조절 기능이 있는 전자 밸브 |
펌프 |
자기구동 펌프(불소계 유체 버전), 유량 변동 2% 미만 |
냉동 원리
적응형 PID 냉동 사이클 :
1️⃣ 압축 → 냉매 가압
2️⃣ 응축 → 열 방출 및 액화
3️⃣ EEV 쓰로틀링 → 저압 생성
4️⃣ 증발 → 장비에서의 정밀한 열 흡수
5️⃣ 인버터 유량 제어 → ±0 유지 1℃ 안정성
| VS100/407/020 제품 사양 | |||
| 제품 모델 | VS100-W-32 | VS020-W-32 | VS407-W-33 |
| 냉각 방법 | 수냉식 | ||
| 제어 모드 | PID 제어 | ||
| 온도 제어 범위 | -20℃~+80℃ | -40℃~+80℃ | |
| 정밀도 | ±0.1℃ | ||
| 냉장 용량 |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-20℃@5 KW -10℃@10 KW 0℃@15 KW 20℃@25 KW 40℃@25 KW |
-40℃@6 KW -20℃@12 KW 0℃@25 KW 20℃@25 KW 40℃ @25 KW |
| 전력 | 3KW | ||
| Tank | 20L | 25L | |
| 순환액 유량 | 20L/min(0.75MPa) | 20L/min(0.7MPa) | |
| PCW 교통 | 15L/min@15~25℃ | 30L/min@15~25℃ | 50 L/min@15~25℃ |
| 온도 범위 | 5~35℃ | ||
| 순환 유체 종류 | 에틸렌 글리콜 혼합액, 순수, 불소화 액체 | 순수한 물, 에틸렌 글리콜 혼합액, 증류수, 불소화 용액 | 에틸렌 글리콜 혼합액, 불소화 액체 |
| 냉매 | R410a | / | / |
| 순환 유체 인터페이스 | Rc3/4“ | ||
| PCW 인터페이스 | Rc1/2" | Rc3/4" | Rc1-1/4" |
| 외형 치수(mm) | 380W*900D*1300H | 420W*900D*1250H | 500W*1150D*1500H |
| 입력 전원 공급 | 3상, 208-220V, 50Hz | 3상, 208-220V, 50Hz | 3Ph,380-400V,50Hz |
| 기계의 전력 | 8KW | 9.7KW | 14kw |
| 순중량 | 200KG | 210KG | 360kg |
| 설계 표준 | 반도체 | ||
