UPW 히터

온도 안정성 : ±0.1℃

온도 범위 : -20˚C～+80˚C

난방 출력 ：48kW-192kW

초순수 (UPW) 가열 모듈 , 반도체 제조 공정에서 정밀 온도 조절을 위해 설계된 이 고급 가열 시스템은 비접촉식 가열을 위해 고순도 석영 캡슐화 할로겐 램프를 사용하여 금속 오염이 전혀 발생하지 않습니다.

반도체 제조 : 실리콘 웨이퍼 또는 복합 소재의 세정

리튬 배터리 및 태양광 PV 산업 : 생산 라인 세정 시스템

디스플레이 패널 산업 : LCD 글래스 기판의 세정

환경 친화적 대안 : 프레온 기반 세정을 초순수 물 세정 솔루션으로 대체

프리미엄 소재 구조

고순도 석영 발열체

플루오로수지 배관 시스템

비접촉 할로겐 램프 가열 기술

공간 최적화 설계

초슬림 프로파일로 설치 공간 최소화

지능형 온도 조절

고출력 할로겐 램프로 빠른 가열 가능

실시간 유량 변화에 따른 자동 온도 조절

성능 및 안전성

95.8% 이상의 가열 효율

다음과 같은 경보 기능이 포함된 종합 보호 시스템:

유량 이상

과열 상태

건식 작동 방지 기능

누출 감지

센서 고장

히터 회로 결함

모델		SWH-48	SWH-72L	SWH-96L	SWH-144L	SWH-192L
가열 방식		적외선 복사 가열 방식 채택
성능	전력	48kw	72kw	96kw	144kW	192kW
	표준 유량(△T55℃)	12LPM	18LPM	24LPM	36LPM	48LPM
	최소 난방 유량	4-6LPM			8-12LPM
	설정 온도 범위	20-100℃
	온도 조절 정확도	±1℃(조건에 따라 다름)
	유량 표시 범위	0-60LPM
구성	히터	할로겐 램프 튜브, 액체와 접촉하지 않는 간접 가열 방식
	히터 재질	고순도 투명 석영
	액체와 접촉하는 부품 및 배관 재질	고순도 투명 석영 및 고순도 PFA 튜브
	보안 응답 기능	불규칙한 유량, 고온, 무부하 운전, 누출, 센서 연결 해제, 할로겐 필라멘트 용융 등
	외부 통신 기능	RS-232C, RS-485, Modbus TCP/IP
	외부 입력/출력 기능	8개 입력, 14개 출력 신호
기타	외면 차원 (mm)	450W900D1625H	450W1000D1725H	700W1000D1725H	700W1000D1850H	800W1000D2000H
	전원 공급 장치	AC 380V 50/60Hz 삼상 오선식