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초저온 냉각장치
온도 안정성 : ±0.1℃
온도 범위 : -70˚C～+80˚C
냉각 용량 : 12kW@-60˚C 8KW@-70˚C
산업용 등급 압축기 냉각 장치 뛰어난 안정성을 자랑하는 프리미엄 브랜드 압축기를 탑재. 제공 ±0.1℃ 출구 온도 안정성 다음과 같은 핵심 응용 분야를 포함하여:
광결정식/에칭 장비 냉각
PVD/CVD 장비 열 관리
화학 및 제약 반응기 온도 조절
GMP 규정 준수 제약 공정 냉각
- 개요
- 추천 제품
기술 설명
링청 초저온 냉각기는 -70℃의 초저온 기능으로 산업용 냉각의 한계를 새롭게 정의합니다.
캐스케이드 냉동 및 천연 냉매 기술(GWP=1)을 적용한 제품입니다.
제공 ±0.1℃ 안정성 및 25% 감소된 냉각 손실, SECS/GEM 프로토콜 지원
및 사용자 정의 I/O 구성으로 Class 100 청정실 규격을 충족하면서 동시에
공정상의 과제 해결 및 탄소세 규정 준수를 실현합니다.
주요 장점
-70℃ 초저온 작동
→ 첨단 반도체/바이오 공정을 위해 설계됨
첨단 밀폐 기술
→ 냉각 손실 25% 이상 감소(기존 모델 대비)
사용자 정의 인터페이스 통합
→ 구성 가능한 통신 포트 및 유체 연결부 
핵심 구성 요소 및 작동
구성 요소 |
기술 |
압축기 |
액체 슬러깅 보호 기능이 있는 밀폐형 인버터 컴프레서 (±0. 1℃ 제어) |
콘덴서 |
스테인리스강, 열 손실 5% 미만 |
증발기 |
플레이트형 설계, 효율성이 35% 높음, 소음 ≤55dB |
히터 |
직접 가열 방식, ±0.3℃ 균일도 |
팽창 밸브 |
±1℃ 과열 조절 기능이 있는 전자 밸브 |
펌프 |
자기구동 펌프(불소계 유체 버전), 유량 변동 2% 미만 |
냉동 원리
적응형 PID 냉동 사이클 :
1️⃣ 압축 → 냉매 가압
2️⃣ 응축 → 열 방출 및 액화
3️⃣ EEV 쓰로틀링 → 저압 생성
4️⃣ 증발 → 장비에서의 정밀한 열 흡수
5️⃣ 인버터 유량 제어 → ±0 유지 1℃ 안정성
| US708 제품 매개변수 | |
| 제품 | 냉장고 |
| 제품 모델 | US708-W-33 |
| 냉각 방법 | 수냉식 냉각 타입 |
| 제어 모드 | PID 제어 |
| 온도 제어 범위 | -70℃~+40℃ |
| 정밀도 | ±0.1℃ |
| 냉장 용량 | 12kW@-60˚C |
| 8KW@-70˚C | |
| 전력 | 6Kw |
| Tank | 15+15L 이중 탱크 운전 + 유체 보충 탱크 |
| 순환 액체 | 20 L/min @ 0.7MPa |
| 유동률 | |
| PCW 교통 | 50～80L/min@15~25℃ |
| 온도 범위 | 5~35℃ |
| 순환 유체 종류 | 에틸렌 글리콜 혼합물, 불소화 액체 |
| 순환 유체 인터페이스 | Rc3/4” |
| PCW 인터페이스 | Rc2” |
| 크기（mm） | 600W*1370D*1820H |
| 입력 전원 공급 | 3Ph,380-400V,50Hz |
| 기계의 전력 | 22KW |
| 순중량 | 650kg |
| 설계 표준 | 반도체 |
