EN
Īpaši zema temperatūra dzesētājs
Temperatūras stabilitāte : ±0,1℃
4Temperatūras diapazons : -70˚C～+80˚C
Dzesēšanas spēja : 12 kW@-60 ˚C 8 kW@-70 ˚C
Rūpnieciskās klases kompresoru dzesētājs ar augstas kvalitātes kompresoriem izcila stabilitāte. Nodrošina ±0,1℃ izejas temperatūras stabilitāti kritiskām lietojumprogrammām, tostarp:
Fotolitogrāfijas/gravēšanas iekārtu dzesēšana
PVD/CVD rīku siltuma vadība
Ķīmisko un farmācijas reaktoru temperatūras kontrole
GMP atbilstoša farmācijas procesu dzesēšana
- Pārskats
- Ieteiktie produkti
Tehniskais apraksts
Lingheng kriogēniskie dzesētāji pārdefinē rūpnieciskā dzesēšanas robežas ar -70℃ dziļās saldēšanas iespējām,
kas darbojas ar kaskādes dzesēšanas un dabisko dzesētāja tehnoloģiju (GWP=1).
Nodrošinot ±0,1 °C stabilitāti un par 25% samazinātas dzesēšanas zudumiem, Ietverot SECS/GEM protokola atbalstu
un pielāgotām I/O konfigurācijām, tie atbilst klases 100 tīrās telpas standartiem, vienlaikus
risinot procesu problēmas un nodrošinot atbilstību oglekļa nodokļa prasībām.
Galvenie priekšrocības
-70℃ kriogēniska darbība
→ Izstrādāts sarežģītiem pusvadītāju/biotehnoloģiju procesiem
Uzlabota slēģu tehnoloģija
→ Samazina dzesēšanas zudumus par >25% (salīdzinājumā ar parastajiem modeļiem)
Pielāgotas saskarnes integrācija
→ Konfigurējamas komunikācijas atveres un šķidruma pieslēgumi 
Galvenie komponenti un darbība
Komponents |
TEHNOLOĢIJA |
Kompresors |
Hermetisks invertora kompresors ar šķidruma pārplūdes aizsardzību (±0, 1℃ kontrole) |
Kondensators |
Nerūsējošais tērauds, <5% siltuma zudumi |
Izšķīdinātājs |
Plāksnes tips, 35% lielāka efektivitāte, ≤55 dB troksnis |
Sildītājs |
Iegremdētais tiešās sildīšanas princips, ±0,3 ℃ vienmērīgums |
Pletņas vērtis |
Elektroniskā vārsta ar ±1 ℃ pārkarstuma kontroli |
Pumps |
Magnētiskās piedziņas sūknis (fluorēta šķidruma versija), <2% plūsmas svārstības |
Dzesēšanas princips
Adaptīvais PID dzesēšanas cikls :
1️⃣ Kompresija → Ledinātāja pārspiediens
2️⃣ Kondensācija → Siltuma izkliede un šķidrināšana
3️⃣ EEV aizbīdņa regulēšana → Zema spiediena izveide
4️⃣ Izgarošana → Precīza siltuma uzsūkšana no iekārtas
5️⃣ Invertoru plūsmas kontrole → Uztur ±0. 1℃ stabilitāti
| US708 Produktparametri | |
| Produkts | Šildinātājs |
| Produkta modelis | US708-W-33 |
| Dzesēšanas metode | Dzesēšanas veids ar ūdeni |
| Kontroles režīms | PID kontrole |
| Temperatūras kontroles diapazons | -70℃~+40℃ |
| Precizitāte | ±0.1℃ |
| Dzesēšanas jauda | 12 kW@-60 ˚C |
| 8 kW@-70 ˚C | |
| Jauda | 6kw |
| Tvertne | 15+15 L dubultā baseina darbība + šķidruma papildināšanas tvertne |
| Cirkulējošā šķidruma | 20 L/min @ 0,7 MPa |
| Plūsmas ātrums | |
| PCW satiksme | 50~80 L/min @ 15~25 °C |
| Temperatūras diapazons | 5~35℃ |
| Cirkulējošā šķidruma veidi | Etilēnglikola maisījums, fluorēta šķidrums |
| Cirkulējošā šķidruma pieslēgums | Rc3/4” |
| PCW pieslēgums | Rc2” |
| Izmērs (mm) | 600W*1370D*1820H |
| Ievades enerģijas avots | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Mašīnas spēks | 22kw |
| Neto svars | 650 kg |
| Projektēšanas standarti | Semi |
