Divkanālu dzesētājs

Tehniskais apraksts:

Lingheng divu kontūru dzesētāji nodrošina divkanālu neatkarīgu temperatūras kontroli vienā ierīcē.
Ar funkciju ±0,1 °C stabilitāti uz katru kontūru , šīs sistēmas ir izstrādātas:

PVD/CVD kameru sinhronizēta dzesēšana

Vairāku zonu siltuma vadība ķīmiskās apstrādes iekārtās
Ar 40% mazāku aizņemto platību un nozares pierādītu savietojamību (AMAT/LAM/TEL), tās pārdefinē precīzu dzesēšanu ar efektīvu platības izmantošanu.

Galvenās priekšrocības:

Divi vienā efektivitātē
» Aizvieto divus dzesētājus ar neatkarīgiem kontūriem
→ 40% tīrākas telpas vietas ietaupījums + 30% CAPEX samazinājums

Precīzijas divkāršā kontrole
» ±0,1℃ stabilitāte uz katru ķēdi (ΔT<0. 2℃)
→ Nodrošina <3% plēves biezuma svārstības CVD/PVD procesā

Gatavība ražošanai integrācijai
» Iepriekš ielādēti AMAT/LAM/TEL protokoli
→ 90% 300mm rīku savietojamība, 65% mazāk pārtraukumu

Energy TwinDrive™
» Par 35% zemāku enerģijas patēriņu salīdzinājumā ar tradicionālām ierīcēm
→ SEMI S23 sertificēts, >18 000 USD gadā ietaupījums

Nulle šķērsvielošanās
» Pielāgojami plūsmas ceļi  + ar lāzeru metināti savienojumi
→ Savietojams ar UPW/fluorinert/EGW

Galvenās sastāvdaļas un darbība:

Komponents	TEHNOLOĢIJA
Kompresors	Hermetisks invertora kompresors ar šķidruma pārplūdes aizsardzību (±0, 1℃ kontrole)
Kondensators	Nerūsējošais tērauds, <5% siltuma zudumi
Izšķīdinātājs	Plāksnes tips, 35% lielāka efektivitāte, ≤55 dB troksnis
Sildītājs	Iegremdētais tiešās sildīšanas princips, ±0,3 ℃ vienmērīgums
Pletņas vērtis	Elektroniskā vārsta ar ±1 ℃ pārkarstuma kontroli
Pumps	Magnētiskās piedziņas sūknis (fluorēta šķidruma versija), <2% plūsmas svārstības

Dzesēšanas princips:

Adaptīvais PID dzesēšanas cikls :
1️⃣ Kompresija → Ledinātāja pārspiediens
2️⃣ Kondensācija → Siltuma izkliede un šķidrināšana
3️⃣ EEV aizbīdņa regulēšana → Zema spiediena izveide
4️⃣ Izgarošana → Precīza siltuma uzsūkšana no iekārtas
5️⃣ Invertoru plūsmas kontrole → Uztur ±0. 1℃ stabilitāti