EN
Trīskanāla dzesētāja iekārta
Temperatūras stabilitāte : ±0,1℃
Temperatūras diapazons : -40˚C～+80˚C
Dzesēšanas spēja : -40℃@6 kW /20℃@25 kW
Rūpnieciskās klases kompresoru dzesētājs ar augstas kvalitātes kompresoriem izcila stabilitāte. Nodrošina ±0,1℃ izejas temperatūras stabilitāti kritiskām lietojumprogrammām, tostarp:
Fotolitogrāfijas/gravēšanas iekārtu dzesēšana
PVD/CVD rīku siltuma vadība
Ķīmisko un farmācijas reaktoru temperatūras kontrole
GMP atbilstoša farmācijas procesu dzesēšana
- Pārskats
- Ieteiktie produkti
Tehniskais apraksts:
Lingheng trīskāršās ķēdes dzesētāji nodrošina daudzu slodžu precīzu dzesēšanu (±0,1 ℃) vienā ierīcē. Ar konfigurējamām izejām stabilam vides nodrošinājumam, tie nodrošina:
✅ Intelektuālais kontrole : Grafikā paredzēta darbība, automātiska kompensācija, pašdiagnostika
✅ Trijkāršā drošība : Pārkaršanas/pārslogojuma/ūdens trūkuma brīdinājumi
✅ Industriālā pieslēgšanās : I/O, RS232/RS485, Ethernet/IP
Izstrādāts pusvadītāju klastertīkliem un PV ražošanas līnijām ar 30% enerģijas ietaupījumu.
Galvenās priekšrocības:
TripleSync™ integrācija
» 3 neatkarīgas ķēdes vienā korpusā
→ 55% tīrās telpas platības samazinājums
Klastertīpas precizitāte
» ±0,1 °C stabilitāte ar <±0,03 °C starpību starp ķēdēm
→ Ļauj sinhronizēt procesus vairākās kamerās
Dinamiskā slodzes balansēšana
» Intelekta dzesēšanas sadale (kopējā jauda 30 kW)
→ 28 % enerģijas ietaupījums mainīgās slodzes apstākļos
Vairāku rīku savietojamība
» Ātra pievienošanās ar ASML/AMAT/TEL klastertīkliem
→ Atbalsta 300 mm fabrikas un PV TOPCon līnijas
Ultratīra titāna ekosistēma
» Konfigurējamas plūsmas ar modulāru noslēgšanu
→ <0,1 ppb šķidruma atlikumi (atbilstošs 10. klasei)
Galvenās sastāvdaļas un darbība:
Komponents |
TEHNOLOĢIJA |
Kompresors |
Hermetisks invertora kompresors ar šķidruma pārplūdes aizsardzību (±0, 1℃ kontrole) |
Kondensators |
Nerūsējošais tērauds, <5% siltuma zudumi |
Izšķīdinātājs |
Plāksnes tips, 35% lielāka efektivitāte, ≤55 dB troksnis |
Sildītājs |
Iegremdētais tiešās sildīšanas princips, ±0,3 ℃ vienmērīgums |
Pletņas vērtis |
Elektroniskā vārsta ar ±1 ℃ pārkarstuma kontroli |
Pumps |
Magnētiskās piedziņas sūknis (fluorēta šķidruma versija), <2% plūsmas svārstības |
Dzesēšanas princips:
Adaptīvais PID dzesēšanas cikls :
1️⃣ Kompresija → Ledinātāja pārspiediens
2️⃣ Kondensācija → Siltuma izkliede un šķidrināšana
3️⃣ EEV aizbīdņa regulēšana → Zema spiediena izveide
4️⃣ Izgarošana → Precīza siltuma uzsūkšana no iekārtas
5️⃣ Invertoru plūsmas kontrole → Uztur ±0. 1℃ stabilitāti
| VT410 produkta parametri | |
| Produkta nosaukums | Šildinātājs |
| Produkta modelis | VT410-W-33 |
| Dzesēšanas metode | Ūdens-dzesējums |
| Kontroles režīms | PID kontrole |
| Temperatūras kontroles diapazons | CH1:-45~+60℃ |
| CH2:+30~+90℃ | |
| CH3:+10~+55℃ | |
| Precizitāte | ±0.1℃ |
| Dzesēšanas spēja | CH1:6 kW@-40 °C |
| CH2:30 kW@+30 °C | |
| CH3:28 kW@+20 °C | |
| Jauda | CH1:4 kW |
| CH2:14 kW | |
| CH3:4 kW | |
| Tvertne | CH1 / CH2 kopīgs izplešanās tvertne 30L + karstā ūdens tvertne 25L |
| Cirkulējošā šķidruma plūsma | CH1:17 L/min @ 0,9MPa |
| CH2:17 L/min @ 0,9MPa | |
| CH3:25 L/min @ 0,76MPa | |
| PCW satiksme | CH1: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa |
| CH2: 20 L/min@15~25℃@0,3MPa | |
| CH3: 50 L/min@15~25℃@0,3MPa | |
| Temperatūras diapazons | 5~35 ℃ |
| Cirkulējošā šķidruma tips | FC3283 |
| Cirkulējošā šķidruma pieslēgums | CH1/CH2/CH3: Rc 3/4" |
| PCW pieslēgums | CH1/CH2/CH3: Rc1" |
|
Ārējās dimensijas （mm） |
600W*1370D*2000H |
| Ievades enerģijas avots | 3Ph,380-400V,50Hz |
| Visas mašīnas spēks | 41,1 KW |
| Neto svars | 600 kg |
| Projektēšanas standarti | Semi |
