Apkures jakas sistēma

Tehniskais apraksts:

Apkures jakas pielietojums :

1. Gāzes piegādes līnijas

Bīstamas procesa gāzes :
Bora trihlorīds (BCl₃), hlora trifluorīds (ClF₃), tetraetilortosilikāts (TEOS)
Dihlorsilāns (DCS/SiH₂Cl₂), volframa heksafluorīds (WF₆)
Procesa validācija gāzes līniju apkure rasas punkta kontrolei un kondensācijas novēršanai

2. CVD procesi

Zemspiediena ķīmiskā tvaika nogulsnēšanās (LPCVD)
Plazmas papildināta CVD (PECVD)
Funkcija: Precursora tvaika temperatūras stabilizācija (±1℃)

3. Metāla ēdināšana

Plazmas ēdināšanas sistēmas :
Alumīnija ēdināšana (Cl₂/BCl₃ ķīmiskās vielas)
Volframa ēdināšana (SF₆/WF₆ maisījumi)
Funkcija: Saglabāt gāzes reaģētspējas vienmērīgumu

Apkures jakas priekšrocības:

Priekšrocības kategorija	Tehniskie parametri
Precīza kontrole	±0,5℃ stabilitāte ar PID kontrolieriem (ISO 15805 sertificēts)
Drošības nodrošināšana	Dubultā drošības bloķēšana: • KSD30 termostats • Termiskā drosele (atbilst IEC 60691 standartam)
Ekoizolācija	Bez PFAS izolācijas slānis: • Siltuma zudumi <5% (ISO 8301) • Nerūsējošā tērauda gluda apvalks
Pamata monitoringa sistēma	Strāvas reāllaikā monitoringa sistēma: • Strāvas vērtības zonām → HMI/SCADA • MODBUS-TCP datu reģistrēšana

PID temperatūras regulatori

Siltinātās apvalka sistēma izmanto PID temperatūras regulatorus precīzai siltuma regulēšanai, katrs regulators darbojas uz atsevišķa RS485 autobusa segmenta ar unikālu tīkla adresāciju. Šie PID bloki darbojas gan kā autonomi kontroles moduļi, gan kā integrēti mezgli izvietotā tīkla arhitektūrā. Izmantojot Modbus RTU protokolu caur RS485 interfeisiem, visi regulatori komunicē divvirzienā ar centrālo HMI kontroles skapi, lai nodrošinātu sinhronizētu daudzu zonu temperatūras vadību un reāllaikā datu apkopošanu, neizmantojot centrālo PLC.

Hmi kontroļu panelis

Siltināto apvalku un PID temperatūras regulatoru uzstādīšana uz vakuumvadiem vai gāzes cauruļvadiem ir salīdzinoši decentralizēta, tādējādi neļaujot efektīvi kontrolēt visu siltināto apvalku reāllaikā temperatūru un ekspluatācijas statusu vienlaikus. Lai nodrošinātu visu siltināto apvalku reāllaika uzraudzību, mēs esam ieviesuši HMI kontroles paneli, kas visus siltinātos apvalkus apvieno vienotā platformā, īstenojot centralizētu kontroli un sakaru pārvaldību.

Centralizēta uzraudzības sistēma

Visas saskarnes – tostarp monitora ekrāni, reāllaika trauksmes displeji, vēsturiskie trauksmes žurnāli, notikumu vēstures ieraksti, tendenču analīzes diagrammas un ziņojumu veidlapas – var tikt konfigurētas uz galvenās sistēmas (izmantojot SCADA platformas, piemēram, InTouch vai iFix) visaptverošai siltināto apvalku sistēmas uzraudzībai.