EN
CO2 dzesētāji
Temperatūras stabilitāte : ±0,1℃
Temperatūras diapazons : -20 °C～+80 °C
Dzesēšanas spēja : -20 °C@2 kW/20 °C@10 kW
Nodrošinot precīzu siltuma kontroli caur kompaktais kompresoru dzesētājiem :
Pusvadītāju plastīnu izgatavošana un testēšana
Jaunās enerģijas baterijas/e-dzinēja validācija
Precīzās iekārtas dzesēšana
Testu specifiskas gaisa dzesēšanas lietojumi
- Pārskats
- Ieteiktie produkti
Tehniskais apraksts:
Lingheng CO₂ Ultra-Clean dzesētājs
Izmantošana dabiskais dzesēšanas šķidrums (GWP=1, ODP=0) lai nodrošinātu ±0,1 °C precīzas temperatūras kontrole priekš attīstītiem pusvadītāju procesiem. Iespējojot -40 °C līdz +100 °C plaša diapazona darbība caur pārejas cikla tehnoloģiju, savietojams ar kritiskām lietojumprogrammām:
Fotolitogrāfija
Ēšana
Atomu slāņa nogulsnēšana (ALD)
Pilnībā noslēgts plūsmas kanāls atbilst klases 100 tīrības telpas standartiem, kamēr F-gāzes brīva konstrukcija samazina oglekļa nodokļa ietekmi — nodrošinot gan procesu izcilību, gan ESG atbilstību.
Galvenie ieguvumi:
Vides ilgtspēja:
GWP=1 - Pilnībā saskaņota ar globālajiem klimata mērķiem, samazinot oglekļa nodokļa ietekmi
Dabiskais dzesētājs - Novērš fluorētu gāzu atgūšanas/iznīcināšanas prasības
Nulle ODP - Atbilst starptautiskajiem noteikumiem (piemēram, Kiģali grozījumiem)
±0,1 ℃ precīzas kontroles iespēja - Iespējo avanzētus mezglus (TSMC 5 nm fluorētu dzesētāju fāzes izslēgšanas atbilstība)
Bezpiesārņo darbību - CO₂ atlikums <1 ppb, sertificēts klases 1000 tīrām telpām
30% augstāks COP - Transkritiskā cikla invertoru tehnoloģija (apstiprināta salīdzinājumā ar LIAT 1.0 pamatrādītāju)
Drošības veiktspēja:
Nelietojamīgs un neuzliesmojošs - Novērš fluorēto dzesētāja noplūdes risku
Fabriķa riska samazināšana - 68% zemāks vides briesmu indekss (saskaņā ar SEMI S10)
Galvenās sastāvdaļas un darbība:
Komponents |
TEHNOLOĢIJA |
Kompresors |
Hermetisks invertora kompresors ar šķidruma pārslodzes aizsardzību (±0,5 °C regulēšana) |
Kondensators |
Nerūsējošais tērauds, <5% siltuma zudumi |
Izšķīdinātājs |
Titāna plāksnes veida, 35% augstāka efektivitāte, ≤55 dB troksnis |
Sildītājs |
Iegremdētais tiešās sildīšanas princips, ±0,3 ℃ vienmērīgums |
Pletņas vērtis |
Elektroniskā vārsta ar ±1 ℃ pārkarstuma kontroli |
Pumps |
Magnētiskās piedziņas sūknis (fluorēta šķidruma versija), <2% plūsmas svārstības |
Dzesēšanas princips:
1. Kompleksā → Dzesētāja pārspiediens
2. Kondensācija → Siltuma izkliede un šķidrēšana
3. EEV regulēšana → Zema spiediena tvaika veidošanās
4. Izgarošana → Precīza siltuma uzsūkšana no iekārtām
5. Invertora plūsmas kontrole → Nodrošina ±0. 1℃ stabilitāti
| GVS010 Produktparametri | GVS405 produkta parametri | ||
| Produkta modelis | GVS010-W-32F | GVS405-W-32F | GVD010-W-32F |
| Dzesēšanas metode |
Dzesēšanas veids ar ūdeni |
||
| Kontroles režīms |
PID kontrole |
||
| Temperatūras kontroles diapazons | -20℃~+90℃ | -40℃~+90℃ | -20 ℃ līdz +90 ℃ |
| Precizitāte |
±0.1℃ |
||
| Dzesēšanas jauda |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
-40℃@4KW |
4 kW pie -10 ℃ 10 kW pie +20 ℃ |
| Jauda | 3KW | 3KW | |
| Tvertne | 20L | 20L | |
| Cirkulējošā šķidruma plūsmas ātrums | 20L/min（0.75Mpa） | 20 l/min (0,5 MPa) | 20 L/min (0,7 MPa) |
| PCW satiksme | 15 L/min@15~25℃ | 15 L/min pie 15–25 ℃, 0,3–0,4 MPa | |
| Temperatūras diapazons | 5~35℃ | ||
| Cirkulējošā šķidruma veidi | Etilēnglikola maisījums, Tīrs ūdens, Fluorēts risinājums | ||
| Ohrinants | R744 (CO2) | ||
| Cirkulējošā šķidruma pieslēgums |
Rc3/4” |
||
| PCW pieslēgums | Rc1/2” | Rc1–1/4″ | Rc1/2” |
| Ārējie izmēri (mm) | 380W*900D*1250H | 500 mm × 1160 mm × 1650 mm |
600 P × 900 D × 1300 A (mm) |
| Ievades enerģijas avots | 3Ph,208-220V,50Hz | 3 fāzes, 208–220 V, 50/60 Hz | |
| Mašīnas spēks | 8KW | 15,4 kW | |
| neto svars | 200KG | ||
| Projektēšanas standarti | Semi | Semi | SEMI S2, F47 |
