EN
CO2 dzesētāji
Temperatūras stabilitāte : ±0,1℃
Temperatūras diapazons : -20 °C～+80 °C
Dzesēšanas spēja : -20 °C@2 kW/20 °C@10 kW
Nodrošinot precīzu siltuma kontroli caur kompaktais kompresoru dzesētājiem :
Pusvadītāju plastīnu izgatavošana un testēšana
Jaunās enerģijas baterijas/e-dzinēja validācija
Precīzās iekārtas dzesēšana
Testu specifiskas gaisa dzesēšanas lietojumi
- Pārskats
- Ieteiktie produkti
Tehniskais apraksts:
Lingheng CO₂ Ultra-Clean dzesētājs
Izmantošana dabiskais dzesēšanas šķidrums (GWP=1, ODP=0) lai nodrošinātu ±0,1 °C precīzas temperatūras kontrole priekš attīstītiem pusvadītāju procesiem. Iespējojot -40 °C līdz +100 °C plaša diapazona darbība caur pārejas cikla tehnoloģiju, savietojams ar kritiskām lietojumprogrammām:
Fotolitogrāfija
Ēšana
Atomu slāņa nogulsnēšana (ALD)
Pilnībā noslēgts plūsmas kanāls atbilst klases 100 tīrības telpas standartiem, kamēr F-gāzes brīva konstrukcija samazina oglekļa nodokļa ietekmi — nodrošinot gan procesu izcilību, gan ESG atbilstību.
Galvenie ieguvumi:
Vides ilgtspēja:
GWP=1 - Pilnībā saskaņota ar globālajiem klimata mērķiem, samazinot oglekļa nodokļa ietekmi
Dabiskais dzesētājs - Novērš fluorētu gāzu atgūšanas/iznīcināšanas prasības
Nulle ODP - Atbilst starptautiskajiem noteikumiem (piemēram, Kiģali grozījumiem)
±0,1 ℃ precīzas kontroles iespēja - Iespējo avanzētus mezglus (TSMC 5 nm fluorētu dzesētāju fāzes izslēgšanas atbilstība)
Bezpiesārņo darbību - CO₂ atlikums <1 ppb, sertificēts klases 1000 tīrām telpām
30% augstāks COP - Transkritiskā cikla invertoru tehnoloģija (apstiprināta salīdzinājumā ar LIAT 1.0 pamatrādītāju)
Drošības veiktspēja:
Nelietojamīgs un neuzliesmojošs - Novērš fluorēto dzesētāja noplūdes risku
Fabriķa riska samazināšana - 68% zemāks vides briesmu indekss (saskaņā ar SEMI S10)
Galvenās sastāvdaļas un darbība:
Komponents |
TEHNOLOĢIJA |
Kompresors |
Hermetisks invertora kompresors ar šķidruma pārslodzes aizsardzību (±0,5 °C regulēšana) |
Kondensators |
Nerūsējošais tērauds, <5% siltuma zudumi |
Izšķīdinātājs |
Titāna plāksnes veida, 35% augstāka efektivitāte, ≤55 dB troksnis |
Sildītājs |
Iegremdētais tiešās sildīšanas princips, ±0,3 ℃ vienmērīgums |
Pletņas vērtis |
Elektroniskā vārsta ar ±1 ℃ pārkarstuma kontroli |
Pumps |
Magnētiskās piedziņas sūknis (fluorēta šķidruma versija), <2% plūsmas svārstības |
Dzesēšanas princips:
1. Kompleksā → Dzesētāja pārspiediens
2. Kondensācija → Siltuma izkliede un šķidrēšana
3. EEV regulēšana → Zema spiediena tvaika veidošanās
4. Izgarošana → Precīza siltuma uzsūkšana no iekārtām
5. Invertora plūsmas kontrole → Nodrošina ±0. 1℃ stabilitāti
| GVS010 Produktparametri | |
| Produkta modelis | GVS010-W-32F |
| Dzesēšanas metode | Dzesēšanas veids ar ūdeni |
| Kontroles režīms | PID kontrole |
| Temperatūras kontroles diapazons | -20℃~+80℃ |
| Precizitāte | ±0.1℃ |
| Dzesēšanas jauda |
-20℃@2 KW -10℃@4 KW 0℃@6 KW 20℃@10 KW 80℃@10 KW |
| Jauda | 3KW |
| Tvertne | 20L |
| Cirkulējošā šķidruma plūsmas ātrums | 20L/min（0.75Mpa） |
| PCW satiksme | 15 L/min@15~25℃ |
| Temperatūras diapazons | 5~35℃ |
| Cirkulējošā šķidruma veidi | Etilēnglikola maisījums, Tīrs ūdens, Fluorēts risinājums |
| Ohrinants | R744 (CO2) |
| Cirkulējošā šķidruma pieslēgums | Rc3/4” |
| PCW pieslēgums | Rc1/2” |
| Ārējie izmēri (mm) | 380W*900D*1250H |
| Ievades enerģijas avots | 3Ph,208-220V,50Hz |
| Mašīnas spēks | 8KW |
| neto svars | 200KG |
| Projektēšanas standarti | Semi |
